رقائق الماس
رقائق الماس من PAM-XIAMEN هي منتجات على نطاق الرقاقات تُستخدم للاستفادة من الإمكانات الهائلة لمواد الماس، مثل الاختبارات الاحتكاكية وتطبيقات المعالجة الفريدة على نطاق النانو وتطوير الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة. في سوق رقائق الألماس الحالي، هناك ثلاث درجات من رقائق الألماس، ورقاقة من الألماس من درجة الإلكترونيات الدقيقة، ورقائق وشرائح من الألماس من الدرجة الحرارية، ورقائق من الألماس من الدرجة البصرية:
1. رقاقة الماس الصف الالكترونيات الدقيقة ل دبليوبعد Fالانجرار
يمكن إجراء التجارب على الرقاقات باستخدام الخصائص الرائعة للماس، وتتوافق المواصفات، مثل اتساق الأداء والقوس والسمك، مع تلك الخاصة بمستوى الرقاقة الأساسي، والتي يمكن أن تجعل تقطيع الرقاقة ذات الأسلاك الماسية يتم إدراجها مباشرة في عملية صب MEMS.
إن الركيزة المركبة المحضرة بواسطة طبقة الماس الرقيقة / الركيزة غير المتجانسة لا تتمتع بأداء التوصيل الحراري العالي للماس فحسب، بل تقلل أيضًا من تكلفة طبقة الماس السميكة، والتي يمكن استخدامها مباشرة للركيزة الفوقي لمواد أشباه الموصلات ذات فجوة النطاق الواسعة و نمو المواد. يتم اعتبار عامل تبديد الحرارة مباشرة من المادة الفوقي نفسها، وهو أيضًا اتجاه تطوير رئيسي لأجهزة أشباه الموصلات في المستقبل. يتم تطوير جميع مواد الرقاقة شبه الموصلة في الرقاقات كبيرة الحجم، الأمر الذي يتطلب أن تكون مادة الرقاقة البلورية المفردة الماسية ذات حجم كبير وجودة عالية. وفي الوقت نفسه، يمكن لأداء تبديد الحرارة الممتاز أن يؤدي إلى أداء أفضل للجهاز.
1.1 مواصفات رقاقة الماس من فئة الإلكترونيات الدقيقة
رقم 1 رقاقة الماس متعدد البلورات
| رقاقة الماس | الماس متعدد البلورات |
| طريقة النمو | MPCVD |
| سمك الرقاقة | 0 ~ 500um+/-25um |
| حجم الويفر | 1 سم * 1 سم؛ 2 بوصة؛ مخصص |
| خشونة السطح | رع <1 نانومتر |
| إف دبليو إتش إم (D111) | 0.354 |
| معامل التمدد الحراري | 1.3×10^-6 ك^-1 |
| توصيل حراري | > 1000 واط/م ك |
| بند | رقاقة مقياس الماس | |
| سماكة | 100um | 300um |
| طريقة النمو | MPCVD | MPCVD |
| حجم | 2 بوصة | 2 بوصة |
| خشونة سطح سطح النمو | <1 نانومتر را | <1 نانومتر را |
| اعوجاج | 50um | 30um |
| فوم (D111) | 0.354 (D111) | 0.354 (D111) |
| معامل التمدد الحراري | 1.3 (10-6ك-1) | 1.3 (10-6ك-1) |
| الموصلية الحرارية (TC)
طريقة الكشف عن TDTR |
1500±200 وات/م ك
(13 عملية مسح بأحجام موضعية مختلفة) |
1500±200 وات/م ك
(13 عملية مسح بأحجام موضعية مختلفة) |
1.2 تدفق تصنيع الرقاقة الماسية من فئة الإلكترونيات الدقيقة
1.3 XRD Spectra من رقاقة الماس CVD مقاس 2 بوصة
اتجاه الجوانب البلورية الأساسية لأفلام الماس CVD هو (111) مستوى.
1.4 رامان سبكترا من رقاقة الماس CVD مقاس 2 بوصة
هناك قمة ألماسة واحدة فقط يبلغ ارتفاعها 1333.48 سم-1.
1.5 صورة مجهرية SEM (× 1 كيلو) للرقاقة الماسية مقاس 2 بوصة بعد التلميع الخشن
1.6 صورة مجهرية AFM لرقاقة الماس مقاس 2 بوصة بعد التلميع الخشن
Image Ra = 137 نانومتر بمساحة مسح 5 × 5 ميكرومتر.
1.7 صورة مجهرية SEM (× 1 كيلو) لرقاقة الماس متعددة البلورات مقاس 2 بوصة بعد الانتهاء من التلميع
1.8 صورة مجهرية AFM لرقاقة الماس مقاس 2 بوصة بعد الانتهاء من الصقل
Image Ra = 0.278 نانومتر بمساحة مسح تبلغ 5 × 5 ميكرومتر.
Image Ra = 0.466 نانومتر بمساحة مسح 15 × 15 ميكرومتر.
1.9 نتائج EDS للأفلام المصقولة
محتوى العناصر الموجودة على المنطقة المصقولة كلها كربون. لا يوجد تلوث معدني من لوحة التلميع.
1.10 نتائج XPS للأفلام المصقولة
2. رقائق وشرائح الماس ذات الدرجة الحرارية
يُظهر الماس أعلى موصلية حرارية بين جميع المواد. تصل الموصلية الحرارية إلى 2000 واط/م ك وهو أعلى بكثير من النحاس. لذلك، أصبحت الرقاقات والشرائح المقطوعة بالأسلاك الماسية أكثر وأكثر شيوعًا في الإدارة الحرارية مثل المبددات الحرارية، والمبددات الحرارية، والتعدين المزخرف بالطباعة الحجرية، والعزل الكهربائي بين المعدن العلوي والسفلي، وشقوق تخفيف الضغط للتركيب بدون إجهاد، وما إلى ذلك.
موزعات الحرارة الماسية CVD بأشكال مختلفة، والمعلمات النموذجية هي كما يلي:
| بند | القيمة |
| قطر | 80 مم، أو حجم صغير مثل 5*5 مم2 |
| سمك المتاحة | 0.3MM |
| تحمل السماكة | ﹢/- 0.02 مم |
| عملية | العاصمة قوس البلازما |
| بناء | متعدد البلورات |
| التركيب الكيميائي | 100٪ ج |
| كثافة | 3.52 جم / سم مكعب |
| نسبة بواسون | 0.1 |
| معامل يونج | 1000-1100 جيجا |
| توصيل حراري | ج> 1000 وات/م ك، ب> 1300 وات/م ك، أ> 1800 وات/م ك |
| قوة الشد | > 350 كجم/مم2 |
| صلابة فيكرز | 7000 ~ 10000 كجم / مم² |
| قوة الضغط | 110 ج |
| الاستقرار الحراري | 800 |
| مقاومة التآكل (نسبة التآكل) | 100,000 ~ 200,000 |
| الاستقرار الكيميائي | غير قابلة للذوبان في القلويات والأحماض |
| الانتهاء من السطح مصقول | ＜ 50 نانومتر |
| الانتهاء من السطح ملفوف | ＜ 0.5 ميكرومتر |
3. رقاقة الماس من الدرجة البصرية
تُستخدم رقائق الألماس الضوئية كنافذة لمقسمات شعاع الأشعة تحت الحمراء، وعدسات التحليل الطيفي تيراهيرتز وجراحة ليزر ثاني أكسيد الكربون، ونوافذ بروستر للتطبيقات متعددة الأطياف مثل ليزر الإلكترون الحر، أو ليزر الأشعة تحت الحمراء متعدد الأطوال الموجية، أو أنظمة تيراهيرتز البصرية، لوحدات الانعكاس الكلي الموهنة ) التحليل الطيفي للخلايا السائلة الماسية. فيما يلي ورقة البيانات الخاصة برقاقة الماس في المستوى البصري للرجوع إليها:
| معلمة | رقاقة الماس من الدرجة البصرية | ||
| حجم | (3 ~ 50) ± 1 مم | ||
| سماكة | (100~600)±30 أم | ||
| عملية السطح | مصقول على كلا الجانبين | ||
| خشونة | أ <5 نانومتر | ب <10 نانومتر | C <30 نانومتر |
يوضح الرسم البياني التالي معدل نقل الركيزة الماسية من الدرجة البصرية:
معدل نقل رقاقة الماس
المصدر: بام شيامن
لمزيد من المعلومات، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني[email protected]و[email protected]