قوالب الجاليوم
- وصف
وصف المنتج
الجاليوم قالب (نيتريد الغاليوم نموذج)
يتكون قالب GaN الخاص بـ PAM-XIAMEN من طبقات بلورية من نيتريد الغاليوم (GaN) ونتريد الألومنيوم (AlN) ونتريد الغاليوم الألومنيوم (AlGaN) ونتريد الغاليوم الإنديوم (InGaN) ، وهي عبارة عن طبقة إزالة على الياقوت ودرجة إلكترونية للتصنيع على أساس MOS الأجهزة. تتيح منتجات قالب جاليوم نيتريد من PAM-XIAMEN أوقات دورات epitaxy أقصر بنسبة 20-50٪ وطبقات جهاز فائق الجودة أعلى جودة هيكلية أفضل وموصلية حرارية أعلى ، والتي يمكن أن تحسن الأجهزة من حيث التكلفة والإنتاجية والأداء.
2 "(50.8mm)قوالب الجاليومتنضيد على الياقوت ركائز
بند | PAM-2inch و-غانت-N | PAM-2inch و-غانت-SI |
نوع التوصيل | N-نوع | شبه العازلة |
المقوي | Si doped or low doped | الحديد مخدر |
حجم | 2 "(50MM) ديا. | |
سماكة | 4um، 20um، 30um، 50um، 100um | 30um، 90um |
اتجاه | C-محور (0001) +/- 1 ° | |
المقاومة (300K) | <0.05Ω · سم | > 1 × 106Ω · سم |
خلع الكثافة | <1x108cm-2 | |
هيكل الركيزة | الجاليوم على الياقوت (0001) | |
صقل الأسطح | واحد أو ضعف الجانب المصقول، برنامج التحصين الموسع جاهزة | |
منطقة قابلة للاستخدام | ≥ 90٪ |
2 "(50.8mm) الجاليوم قوالب إبيتاز على الياقوت ركائز
بند | PAM-غانت-P | |
نوع التوصيل | P-نوع | |
المقوي | مخدر ملغ | |
حجم | 2 "(50MM) ديا. | |
سماكة | 5um من، 20um، 30um، 50um، 100um | |
اتجاه | C-محور (0001) +/- 1 ° | |
المقاومة (300K) | <1Ω · سم أو حسب الطلب | |
المقوي تركيز | 1E17 (سم 3) أو العرف | |
هيكل الركيزة | الجاليوم على الياقوت (0001) | |
صقل الأسطح | واحد أو ضعف الجانب المصقول، برنامج التحصين الموسع جاهزة | |
منطقة قابلة للاستخدام | ≥ 90٪ |
3 "(76.2mm) الجاليوم قوالب إبيتاز على الياقوت ركائز
بند | PAM-3INCH-غانت-N |
نوع التوصيل | N-نوع |
المقوي | Si doped |
منطقه الاستبعاد: | 5MM من القطر الخارجي |
سماكة: | 20um، 30um |
كثافة التفكك | <1x108cm-2 |
ورقة المقاومة (300K): | <0.05Ω · سم |
المادة المتفاعلة: | ياقوت أزرق |
اتجاه : | C-الطائرة |
سمك الياقوت: | 430um |
تلميع: | جانب واحد مصقول، برنامج التحصين الموسع جاهزة، مع الخطوات ذرية. |
طلاء المؤخر: | (العرف) ذات جودة عالية طلاء التيتانيوم، وسمك> 0.4 ميكرون |
التعبئة والتغليف: | معبأة بشكل فردي تحت الأرجون |
فراغ الغلاف الجوي مختوم في غرفة نظيفة فئة 100. |
3 "(76.2mm) الجاليوم قوالب إبيتاز على الياقوت ركائز
بند | PAM-3INCH-غانت-SI |
نوع التوصيل | شبه العازلة |
المقوي | الحديد مخدر |
منطقه الاستبعاد: | 5MM من القطر الخارجي |
سماكة: | 20um، 30um، 90um (20um هو الأفضل) |
كثافة التفكك | <1x108cm-2 |
ورقة المقاومة (300K): | > 106 ohm.cm |
المادة المتفاعلة: | ياقوت أزرق |
اتجاه : | C-الطائرة |
سمك الياقوت: | 430um |
تلميع: | جانب واحد مصقول، برنامج التحصين الموسع جاهزة، مع الخطوات ذرية. |
طلاء المؤخر: | (العرف) ذات جودة عالية طلاء التيتانيوم، وسمك> 0.4 ميكرون |
التعبئة والتغليف: | معبأة بشكل فردي في ظل فراغ الأرجون جو مختومة في الدرجة 100 غرفة نظيفة. |
4 ″ (100 مم) قوالب الجاليوم فوق المحاور على ركائز الياقوت
بند | PAM-4INCH-غانت-N |
نوع التوصيل | N-نوع |
المقوي | low doped |
سماكة: | 4um |
كثافة التفكك | <1x108cm-2 |
ورقة المقاومة (300K): | <0.05Ω · سم |
المادة المتفاعلة: | ياقوت أزرق |
اتجاه : | C-الطائرة |
سمك الياقوت: | – |
تلميع: | جانب واحد مصقول، برنامج التحصين الموسع جاهزة، مع الخطوات ذرية. |
التعبئة والتغليف: | معبأة بشكل فردي تحت الأرجون الغلاف الجوي |
فراغ مختومة في الدرجة 100 غرفة نظيفة. |
2 "(50.8mm) ألجان، InGaN، ن. إبيتاز على قوالب الياقوت: عرف
2”(50.8mm)AlN Epitaxy on Sapphire Templates
بند | PAM-AlNT-SI |
نوع التوصيل | شبه العازلة |
قطر | Ф 50.8mm ± 1MM |
سماكة: | 1000nm +/- 10٪ |
المادة المتفاعلة: | ياقوت أزرق |
اتجاه : | C-محور (0001) +/- 1 ° |
التوجه شقة | طائرة |
XRD FWHM من (0002) | <200 arcsec. |
صالحة للاستخدام المساحة بالمتر المربع | ≥90٪ |
تلميع: | لا شيء |
2 "(50.8mm)InGaN إبيتاز على قوالب الياقوت
بند | PAM-INGAN |
نوع التوصيل | – |
قطر | Ф 50.8mm ± 1MM |
سماكة: | 100-200nm، والعرف |
المادة المتفاعلة: | ياقوت أزرق |
اتجاه : | C-محور (0001) +/- 1O |
المقوي | في |
خلع الكثافة | ~ 108 سم 2 |
صالحة للاستخدام المساحة بالمتر المربع | ≥90٪ |
صقل الأسطح | واحد أو ضعف الجانب المصقول، برنامج التحصين الموسع جاهزة |
2 "(50.8mm) ألجان إبيتاز على قوالب الياقوت
بند | PAM-AlNT-SI |
نوع التوصيل | شبه العازلة |
قطر | Ф 50.8mm ± 1MM |
سماكة: | 1000nm +/- 10٪ |
المادة المتفاعلة: | ياقوت أزرق |
اتجاه : | C-الطائرة |
التوجه شقة | طائرة |
XRD FWHM من (0002) | <200 arcsec. |
صالحة للاستخدام المساحة بالمتر المربع | ≥90٪ |
تلميع: | لا شيء |
قالب GaN على الياقوت والسيليكون
2 "(50.8mm) الجاليوم على 4H أو 6H كربيد الركيزة
1) متوفرة عازلة Undoped الجاليوم أو عازلة ن.، | ||||
2)n-type(Si doped or low doped), p-type or semi-insulating GaN epitaxial layers available; | ||||
3) الهياكل الموصلة عمودية على نوع ن كربيد. | ||||
4) ألجان - 20-60nm سميكة، (20٪ -30٪ شركة)، مخدر سي العازلة؛ | ||||
5) طبقة الجاليوم نوع ن على 330μm +/- 25um سميكة 2 "رقاقة. | ||||
6) واحد أو ضعف الجانب المصقول، وبرنامج التحصين الموسع جاهز، رع <0.5um | ||||
7) القيمة النموذجية على XRD: | ||||
رقاقة ID | ID الركيزة | XRD (102) | XRD (002) | سماكة |
#2153 | X-70105033 (مع ن.) | 298 | 167 | 679um |
جانب واحد أو مزدوج مصقول ، جاهز epi ، Ra <0.5um |
6 "(150MM) ن الجاليوم على مصقول المزدوج الجانب الياقوت شقة
استهداف | تعليق | |
قطر الركيزة | 150 مم | +/- 0.15 مم |
سمك الركيزة | 1300 أم أو 1000um | +/- 25 أم |
ج-الطائرة (0001)، وزاوية offcut نحو متر الطائرة | 0.2 درجة | +/- 0.1 درجة |
واحد طول مسطح الأساسي | 47.5 مم | +/- 1 ملم |
التوجه شقة | طائرة | +/- 0.2 درجة |
مخدر سي ن الجاليوم سمك | 4 أم | +/- 5٪ |
تركيز سي في ن الجاليوم | 5e18 سم -3 | نعم |
ش-الجاليوم سمك | 1 أم | لا هذه الطبقة |
XRD منحنى هزاز (002) | <250 arcsec | <300 arcsec |
XRD منحنى هزاز (102) | <250 arcsec | <350 arcsec |
كثافة التفكك | <5e8 سم -2 | نعم |
السطح الجانبي الأمامي ، AFM (5 × 5 um2) Ra | <0.5 نانومتر، برنامج التحصين الموسع جاهزة | نعم |
الجانب الخلفي السطحية \ ه | 0،6-1،2 أم، الأرض الجميلة | نعم |
رقاقة الركوع | <100 أم | لا هذه البيانات |
ن الجاليوم المقاومة (300K) | <0.01 أوم-سم 2 | نعم |
مجموع تباين سمك | <25 أم | <10um |
كثافة عيب | عيوب الكلي (> 100 أم): <1 العيوب / رقاقة مايكرو (1-100 أم): <1 / CM2 | عيوب الكلي (> 100 أم): <10 العيوب / رقاقة مايكرو (1-100 أم): <10 / CM2 |
الليزر وسم | على مساعدات من الشقة رقاقة | نعم |
حزمة | وتعبئتها في فئة 100 غرفة البيئة النظيفة، في أشرطة من 25 جهاز كمبيوتر شخصى أو حاويات رقاقة واحدة، في جو من النيتروجين، انقر نقرا مختومة | نعم |
استبعاد حافة | <3 مم | نعم |
مساحة صالحة للاستخدام | > 90٪ | نعم |
هيدريد بخار المرحلة إبيتاز عملية (HVPE)
قالب GaN على الياقوت هو gتجذيفبواسطة عملية HVPE والتكنولوجيا لإنتاج أشباه الموصلات المركبة مثل GaN و AlN و AlGaN.قوالب GaN تستخدم في تطبيقات واسعة: نمو الأسلاك النانوية ، وإضاءة الحالة الصلبة ، والإلكترونيات الضوئية ذات الطول الموجي القصير ، وجهاز طاقة الترددات اللاسلكية.
في عملية HVPE، تتشكل نتريدات المجموعة الثالثة (مثل الجاليوم، ن.) عن طريق تفاعل كلوريدات الساخنة الغازية المعدنية (مثل GaCl أو AlCl) مع غاز الأمونيا (NH3). يتم إنشاء الكلوريدات المعدنية عن طريق تمرير غاز حمض الهيدروكلوريك الساخن على المجموعة الساخنة III المعادن. تتم جميع ردود الفعل في درجة حرارة الفرن تسيطر الكوارتز.
ملاحظة :
أعلنت الحكومة الصينية عن قيود جديدة على تصدير مواد الغاليوم (مثل GaAs، وGaN، وGa2O3، وGaP، وInGaAs، وGaSb) ومواد الجرمانيوم المستخدمة في صناعة رقائق أشباه الموصلات. اعتبارًا من 1 أغسطس 2023، لا يُسمح بتصدير هذه المواد إلا إذا حصلنا على ترخيص من وزارة التجارة الصينية. نأمل في تفهمكم وتعاونكم!
وسوف نقدم تقارير الاختبار، يرجى الرجوع إلى أدناه مثالا على ذلك:
المزيد من المنتجات:
غشاء رقيق GaN على قالب الياقوت (Al2O3)
الركيزة البلورية الأحادية AlN والقالب على الياقوت / السيليكون