كيف تصنع رقائق كربيد السيليكون؟

كيف تصنع رقائق كربيد السيليكون؟

كربيد السيليكون (SiC) عبارة عن مادة مركبة من أشباه الموصلات تتكون من عناصر الكربون والسيليكون ، وتسمى مادة أشباه الموصلات ذات فجوة الحزمة العريضة لأن فجوة النطاق أكبر من 2.2 eV.يمكن أن توفر PAM-XIAMEN رقاقات SiC من النوع N وشبه عازلة. المزيد من مواصفات رقاقة SiC يرجى زيارةhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.

كيف تصنع رقائق SiC؟ يمكنك اتباع الرابطhttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgلمشاهدة الفيديو الخاص بعملية التصنيع.

أولاً ، استخدم مسحوق السيليكون عالي النقاء ومسحوق الكربون عالي النقاء كمواد خام لتنمية بلورات SiC المفردة عن طريق نقل البخار الفيزيائي (PVT).

ثانيًا ، استخدم معدات تقطيع متعددة الأسلاك لتقطيع بلورات SiC إلى شرائح رفيعة لا يزيد سمكها عن 1 مم.

ثالثًا ، يتم طحن الرقائق إلى التسطيح المطلوب والخشونة من خلال ملاط ​​الماس بأحجام مختلفة من الجسيمات.

رابعًا ، تخضع رقائق SiC للتلميع الميكانيكي والتلميع الكيميائي الميكانيكي للحصول على رقائق مصقولة من SiC بسطح المرآة.

بعد ذلك ، استخدم المجاهر الضوئية والأدوات الأخرى للكشف عن كثافة الأنابيب الدقيقة ، وخشونة السطح ، والمقاومة ، والتفاف ، و TTV ، وخدوش السطح وغيرها من معلمات رقائق SiC.

أخيرًا ، يتم تنظيف رقائق السليكون المصقولة بعامل تنظيف وماء نقي لإزالة الملوثات السطحية مثل سائل التلميع ، ثم يتم نفخ الرقاقات وتجفيفها بواسطة غاز النيتروجين عالي النقاء وآلة التجفيف.

بعد ذلك ، استخدم ترسيب البخار الكيميائي وطرق أخرى لتوليد رقاقات SiC فوق المحاور على ركائز ، وأخيراً صنع الأجهزة ذات الصلة.

نظرًا لخصائصها الفيزيائية الفائقة: فجوة النطاق العالية ، والموصلية الكهربائية العالية ، والتوصيل الحراري العالي ، تُستخدم رقائق SiC على نطاق واسع في اتصالات 5G ، والشبكات الذكية ، ومركبات الطاقة الجديدة ، والقطارات عالية السرعة وغيرها من المجالات ، ولديها إمكانات سوقية ضخمة.

لمزيد من المعلومات ، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني على victorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.

شارك هذا المنشور