نيتريد PECVD

نيتريد PECVD

تقدم PAM XIAMEN نيتريد PECVD

نيتريد PECVD هو بديل لنتريد LPCVD عندما تكون درجات الحرارة المنخفضة مطلوبة. يستخدم نيتريد PECVD على نطاق واسع في الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) ومعالجة أشباه الموصلات ، وهو عبارة عن غشاء إجهاد شد يمكن استخدامه كطبقة تخميل أو للمساعدة في موازنة إجهاد الفيلم داخل كومة. يقلل نيتريد PECVD من إجهاد الفيلم الكلي. هذا يمنع التفكيك والتكسير الدقيق.

خدمة الأفلام السميكة PECVD Niride منخفضة الإجهاد متاحة أيضًا.

ترسيب PECVD

أكسيد قياسي
أكسيد الترسيب البطيء
أوكسي نيتريد مع معامل الانكسار المخصص
نيتريد قياسي
نيتريد منخفض الإجهاد

حول PECVD

ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما (PECVD) هو طريقة للتضخم في ترسيب البخار الكيميائي بواسطة الغاز المثير لتوليد بلازما منخفضة الحرارة لتعزيز النشاط الكيميائي للأنواع التفاعلية. يمكن أن تشكل هذه الطريقة أغشية صلبة عند درجات حرارة منخفضة. يظهر نظام LPCVD بالشكل أدناه:

هيكل تفاعل PECVD

هيكل تفاعل PECVD

على سبيل المثال ، يتم وضع مادة الأساس على الكاثود في غرفة تفاعل ، ويتم تغذية غاز التفاعل إلى ضغط أقل (1-600 باسكال) ، ويتم الاحتفاظ بالمصفوفة عند درجة حرارة معينة. يتم إنشاء تفريغ الوهج بطريقة معينة ، ويتأين الغاز الموجود بالقرب من سطح الركيزة ، ويتم تنشيط الغاز التفاعلي. في الوقت نفسه ، يحدث رشاش الكاثود على سطح الركيزة ، وبالتالي تحسين نشاط السطح. لا توجد التفاعلات الكيميائية الحرارية المعتادة على السطح فحسب ، بل توجد أيضًا تفاعلات كيميائية معقدة للبلازما. يتكون الفيلم المترسب تحت التأثير المشترك لهذين التفاعلين الكيميائيين. تشمل طرق تفريغ الوهج المثير بشكل أساسي: إثارة تردد الراديو ، وإثارة الجهد العالي بالتيار المستمر ، وإثارة النبض ، وإثارة الميكروويف.

تتمثل المزايا الرئيسية لترسب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما في أن درجة حرارة الترسيب منخفضة ، والتأثير على البنية والخصائص الفيزيائية للركيزة ضئيل ؛ سمك الفيلم وتوحيد التكوين جيدة ؛ هيكل الفيلم كثيف ، مع عدد قليل من الثقوب.

يمكن ترسيب أغشية مثل ثاني أكسيد السيليكون بواسطة PECVD على طبقات معدنية متصلة بنقاط انصهار أقل. بالإضافة إلى ذلك ، يتميز PECVD بمعدل ترسيب أسرع وتغطية أفضل للخطوات. يمكنه إيداع معظم الأفلام العازلة السائدة ، بما في ذلك بعض المواد المتقدمة منخفضة k ، والقناع الصلب ، إلخ.

بوويروايفير

لمزيد من المعلومات ، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني على victorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.

شارك هذا المنشور