اختبار رقاقة مراقبة رقاقة رقاقة الدمية
باعتبارها شركة مصنعة للرقاقات الوهمية، تقدم PAM-XIAMEN رقاقة السيليكون الوهمية / رقاقة الاختبار / رقاقة المراقبة، والتي يتم استخدامها في جهاز الإنتاج لتحسين السلامة في بداية عملية الإنتاج وتستخدم لفحص التسليم وتقييم نموذج العملية. نظرًا لأن رقائق السيليكون الوهمية غالبًا ما تستخدم للتجربة والاختبار، فإن حجمها وسمكها يعدان من العوامل المهمة في معظم المناسبات. تتوفر الرقاقات الوهمية 100 مم، 150 مم، 200 مم، أو 300 مم.
- وصف
وصف المنتج
اختبار رقاقة مراقبة رقاقة رقاقة الدمية
باعتبارها شركة مصنعة للرقاقات الوهمية، تقدم PAM-XIAMEN رقاقة السيليكون الوهمية / رقاقة الاختبار / رقاقة المراقبة، والتي يتم استخدامها في جهاز الإنتاج لتحسين السلامة في بداية عملية الإنتاج وتستخدم لفحص التسليم وتقييم نموذج العملية. نظرًا لأن رقائق السيليكون الوهمية غالبًا ما تستخدم للتجربة والاختبار، فإن حجمها وسمكها يعدان من العوامل المهمة في معظم المناسبات. تتوفر الرقاقات الوهمية 100 مم، 150 مم، 200 مم، أو 300 مم.
1. اختبار قائمة الويفر
1.1 رقاقة اختبار مصقولة أحادية الجانب من النوع N (200 رقم)
SL. لا | غرض | مواصفات SCL |
1 | طريقة النمو | CZ |
2 | قطر الرقاقة | 150 ± 0.5 ملم |
3 | سمك الرقاقة | 675±25 ميكرومتر |
4 | اتجاه سطح الرقاقة | <100> ± 2 درجة |
5 | المقوي | الفوسفور |
6 | كثافة الخلع | أقل من 5000/سم2 |
8 | المقاومة النوعية | 4-7Ωسم |
9 | تباين المقاومة الشعاعية (الحد الأقصى) | 15٪ |
10 | رتابة | |
10 أ | · القوس (الحد الأقصى) | 60 ميكرون |
10 ب | · النقل البري الدولي (الحد الأقصى) | 6 ميكرون |
10 ج | · تفتق (كحد أقصى) | 12 ميكرون |
10 د | · الاعوجاج (الحد الأقصى) | 60 ميكرون |
11 | شقة أساسية | |
11 أ | · طول | 57.5±2.5 ملم |
11 ب | · توجيه | {110}±2° حسب معيار SEMI |
11 ج | شقة ثانوية | حسب معيار SEMI |
12 | تشطيب السطح الأمامي | مرآة مصقولة |
13 | الأعلى. جزيئات بحجم ≥0.3 ميكرومتر | 30 |
14 | · الخدوش والضباب ورقائق الحواف وقشر البرتقال والعيوب الأخرى | لا شيء |
15 | السطح الخلفي | خالية من الأضرار محفورة |
16 | متطلبات التعبئة | يجب أن تكون مختومة بالفراغ في بيئة الفئة "10" في عبوة مزدوجة الطبقة. يجب شحن الرقاقات في Fluorware ORION TWO شاحني الرقاقات أو ما يعادلها مصنوعة من مادة البولي بروبيلين فائقة النظافة |
1.2 رقاقة اختبار مصقولة مزدوجة الجانب من النوع N (عدد 150)
SL. لا | بند | مواصفات SCL |
1 | طريقة النمو | CZ |
2 | قطر الرقاقة | 150 ± 0.5 ملم |
3 | سمك الرقاقة | 675 ± 25 ميكرومتر |
4 | اتجاه سطح الرقاقة | <100> ± 2 درجة |
5 | المقوي | الفوسفور |
6 | كثافة الخلع | أقل من 5000/سم2 |
8 | المقاومة النوعية | 4-7Ωسم |
9 | تباين المقاومة الشعاعية (الحد الأقصى) | 15٪ |
10 | رتابة | |
10 أ | · القوس (الحد الأقصى) | 60 ميكرون |
10 ب | · النقل البري الدولي (الحد الأقصى) | 6 ميكرون |
10 ج | · تفتق (كحد أقصى) | 12 ميكرون |
10 د | · الاعوجاج (الحد الأقصى) | 60 ميكرون |
11 | شقة أساسية | |
11 أ | · طول | 57.5±2.5 ملم |
11 ب | · توجيه | {110}±2° حسب معيار SEMI |
11 ج | شقة ثانوية | حسب معيار SEMI |
12 | تشطيب السطح الأمامي | مرآة مصقولة |
13 | الأعلى. جزيئات بحجم ≥0.3 ميكرومتر | 30 |
14 | · الخدوش، الضباب، رقائق الحافة، | لا شيء |
قشر البرتقال وعيوب أخرى | ||
15 | السطح الخلفي | مرآة مصقولة |
16 | متطلبات التعبئة | ينبغي أن تكون مختومة بالفراغ في الفئة "10" |
البيئة في التعبئة طبقة مزدوجة. | ||
يجب أن يتم شحن الرقائق في Fluorware | ||
ORION TWO شاحني الرقاقات أو ما يعادلها | ||
مصنوعة من مادة البولي بروبيلين فائقة النظافة |
1.3 رقاقة المراقبة/رقاقة وهمية
مراقب/رقاقة سيليكون وهمية
قطر الرقاقة | مصقول | سطح الرقاقة | سمك الرقاقة | المقاومة النوعية | جسيم |
توجيه | |||||
4 " | 1 جانب | 100/111 | 250-500 ميكرومتر | 0-100 | 0.2μm<الكمية30 |
6 " | 1 جانب | 100 | 500-675 ميكرومتر | 0-100 | 0.2μm<الكمية30 |
8 " | 1 جانب | 100 | 600-750 ميكرومتر | 0-100 | 0.2μm<الكمية30 |
12 " | 2 جانب | 100 | 650-775 ميكرومتر | 0-100 | 0.09μm<الكمية100 |
1.4 رقائق متجددة مقاس 200 مم
غرض# | معامل | الوحدات | القيمة | الملاحظات |
1 | طريقة النمو | CZ | ||
2 | توجيه | 1-0-0 | ||
3 | المقاومة النوعية | أوم.سم | 1-50 | |
4 | النوع / منشط | ص،ن/ | ||
البورون، الفوسفور | ||||
5 | سماكة | مم | 1غ. – 620, | |
2غ. - 650 | ||||
3غ. - 680 | ||||
4غ. - 700 | ||||
5غ. - 720 | ||||
6 | جي بي آي آر (تلفزيون | مم | 1-3غ. <30، | |
4-5غ. <20 | ||||
7 | جلفر (تير | مم | <10 | |
8 | اعوجاج | مم | <60 | |
9 | قوس | مم | <40 | |
10 | التلوث بالمعادن | 1/سم2 | <3E10 | |
11 | السطح الأمامي | مصقول | ||
12 | السطح الأمامي مرئي: | |||
الضباب والخدوش والبقع والبقع | لا شيء | |||
قشر البرتقال | لا شيء | |||
الشقوق والحفر | لا شيء | |||
13 | الجانب الأمامي LPD: | يجب ألا يقل عدد الرقائق ذات قيمة المعلمة المذكورة عن 80% من الدفعة، | ||
< 0.12 متر | <100 | |||
<0,16 متر | <50 | |||
<0,20 متر | <20 | |||
<0,30 متر | <10 |
1.5 رقاقة السيليكون Coinroll
المواصفات: 12 بوصة، سيليكون عاري، سمك > 750 ميكرون، درجة، خدش طفيف وبقع سنقوم بمعالجة مياه IPA وDI بتقنية Ultra الصوتية. (PAM171117-SI)
2. تعريف الرقاقة الوهمية
رقاقة وهمية(وتسمى أيضًا برقائق الاختبار) عبارة عن رقاقة وهمية من Si تستخدم بشكل أساسي للتجربة والاختبار وتختلف عن الرقاقات العامة للمنتج. وبناءً على ذلك، يتم تطبيق الرقاقات المستصلحة في الغالب على شكل رقائق من الدرجة الوهمية (رقائق الاختبار).
في كل عملية، يتم قياس سمك الفيلم، ومقاومة الضغط، ومؤشر الانعكاس، ووجود الكرة والدبابيس باستخدام رقاقة Si وهمية (رقاقة اختبار). كما تُستخدم الرقائق الوهمية (رقائق الاختبار) لقياس حجم النموذج والتحقق من العيوب وما إلى ذلك في الطباعة الحجرية.
مراقبة الرقائقهي رقائق السيليكون العارية التي سيتم استخدامها في حالة الحاجة إلى إجراء تعديل في كل خطوة إنتاج قبل إنتاج IC الفعلي. على سبيل المثال، عندما يتم تحديد شروط كل عملية، مثل حالة قياس تسامح الجهاز ضد (اختلاف) سمك الركيزة، يتم استخدام رقائق السيليكون ذات اللفائف المعدنية لرقائق المباعد كبديل للرقائق عالية المستوى وعالية القيمة . علاوة على ذلك، يتم استخدامها أيضًا لغرض المراقبة في العملية جنبًا إلى جنب مع رقائق المنتج. تعد رقائق المراقبة من مواد الرقاقة الضرورية التي لا تقل أهمية عن الرقائق الأساسية للمنتج. يطلق عليها أيضًا اسم رقائق الاختبار والرقائق الوهمية.
لمزيد من تفاصيل المنتج أو إذا كانت لديك المواصفات المطلوبة، يرجى الاتصال بنا على luna@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com.
رقائق السيليكون درجة الاختبار-1
رقائق السيليكون الصف الاختبار-2
رقائق السيليكون درجة الاختبار-3
رقائق السيليكون درجة الاختبار-4
رقائق السيليكون الصف الاختبار-5
رقائق السيليكون درجة الاختبار-6
رقائق السيليكون درجة الاختبار-7
رقائق السيليكون درجة الاختبار-8
رقائق السيليكون درجة الاختبار-9
رقائق السيليكون بدرجة الاختبار-10
رقائق السيليكون درجة الاختبار-11
رقاقة سيليكون من الدرجة الوهمية مقاس 8 بوصات
12 "سمك رقاقة السيليكون من الدرجة الوهمية 700-730um
12 "سمك رقاقة السيليكون من الدرجة الوهمية 650-700um
12 درجة اختبار رقاقة السيليكون