اختبار رقاقة مراقبة رقاقة رقاقة الدمية

وصف

اختبار رقاقة مراقبة رقاقة رقاقة الدمية

باعتبارها شركة مصنعة للرقاقات الوهمية، تقدم PAM-XIAMEN رقاقة السيليكون الوهمية / رقاقة الاختبار / رقاقة المراقبة، والتي يتم استخدامها في جهاز الإنتاج لتحسين السلامة في بداية عملية الإنتاج وتستخدم لفحص التسليم وتقييم نموذج العملية. نظرًا لأن رقائق السيليكون الوهمية غالبًا ما تستخدم للتجربة والاختبار، فإن حجمها وسمكها يعدان من العوامل المهمة في معظم المناسبات. تتوفر الرقاقات الوهمية 100 مم، 150 مم، 200 مم، أو 300 مم.

 

1. اختبار قائمة الويفر

1.1 رقاقة اختبار مصقولة أحادية الجانب من النوع N (200 رقم)

SL. لا	غرض	مواصفات SCL
1	طريقة النمو	CZ
2	قطر الرقاقة	150 ± 0.5 ملم
3	سمك الرقاقة	675±25 ميكرومتر
4	اتجاه سطح الرقاقة	<100> ± 2 درجة
5	المقوي	الفوسفور
6	كثافة الخلع	أقل من 5000/سم2
8	المقاومة النوعية	4-7Ωسم
9	تباين المقاومة الشعاعية (الحد الأقصى)	15%
10	رتابة
10 أ	· القوس (الحد الأقصى)	60 ميكرون
10 ب	· النقل البري الدولي (الحد الأقصى)	6 ميكرون
10 ج	· تفتق (كحد أقصى)	12 ميكرون
10 د	· الاعوجاج (الحد الأقصى)	60 ميكرون
11	شقة أساسية
11 أ	· طول	57.5±2.5 ملم
11 ب	· توجيه	{110}±2° حسب معيار SEMI
11 ج	شقة ثانوية	حسب معيار SEMI
12	تشطيب السطح الأمامي	مرآة مصقولة
13	الأعلى. جزيئات بحجم ≥0.3 ميكرومتر	30
14	· الخدوش والضباب ورقائق الحواف وقشر البرتقال والعيوب الأخرى	لا شيء
15	السطح الخلفي	خالية من الأضرار محفورة
16	متطلبات التعبئة	يجب أن تكون مختومة بالفراغ في بيئة الفئة "10" في عبوة مزدوجة الطبقة. يجب شحن الرقاقات في Fluorware ORION TWO شاحني الرقاقات أو ما يعادلها مصنوعة من مادة البولي بروبيلين فائقة النظافة

 

1.2 رقاقة اختبار مصقولة مزدوجة الجانب من النوع N (عدد 150)

SL. لا	بند	مواصفات SCL
1	طريقة النمو	CZ
2	قطر الرقاقة	150 ± 0.5 ملم
3	سمك الرقاقة	675±25µm
4	اتجاه سطح الرقاقة	<100> ± 2 درجة
5	المقوي	الفوسفور
6	كثافة الخلع	أقل من 5000/سم2
8	المقاومة النوعية	4-7Ωسم
9	تباين المقاومة الشعاعية (الحد الأقصى)	15%
10	رتابة
10 أ	· القوس (الحد الأقصى)	60 ميكرون
10 ب	· النقل البري الدولي (الحد الأقصى)	6 ميكرون
10 ج	· تفتق (كحد أقصى)	12 ميكرون
10 د	· الاعوجاج (الحد الأقصى)	60 ميكرون
11	شقة أساسية
11 أ	· طول	57.5±2.5 ملم
11 ب	· توجيه	{110}±2° حسب معيار SEMI
11 ج	شقة ثانوية	حسب معيار SEMI
12	تشطيب السطح الأمامي	مرآة مصقولة
13	الأعلى. جزيئات بحجم ≥0.3 ميكرومتر	30
14	·         Scratches, Haze, Edge Chips,	لا شيء
	Orange Peel & Other defects
15	السطح الخلفي	مرآة مصقولة
16	متطلبات التعبئة	Should be vacuum sealed in Class ’10’
		environment in double layer packing.
		Wafers should be shipped in Fluorware
		ORION TWO wafer shippers or equivalent
		make made from ultra clean polypropylene

 

1.3 Monitor Wafer / رقاقة وهمية

Monitor / Dummy Silicon wafer

قطر الرقاقة	Polished	Wafer Surface	سمك الرقاقة	المقاومة النوعية	Particle
		Orientation
4 "	1 side	100/111	250-500μm	0-100	0.2μm≤qty30
6″	1 side	100	500-675μm	0-100	0.2μm≤qty30
8″	1 side	100	600-750μm	0-100	0.2μm≤qty30
12″	2 side	100	650-775μm	0-100	0.09μm≤qty100

 

1.4 REGENERATED 200mm WAFERS

Item#	PARAMETER	Units	Value	Notes
1	Growth Method		CZ
2	Orientation		1-0-0
3	المقاومة النوعية	Ωм.см	1-50
4	Type / dopant		р,n/
			Boron, Phosphorus
5	Thickness	мкм	1гр. – 620,
			2гр. – 650
			3гр. – 680
			4гр. – 700
			5гр. – 720
6	GBIR (TTV	мкм	1-3гр. <30,
			4-5гр. <20
7	GLFR (TIR	мкм	<10
8	Warp	мкм	<60
9	Bow	мкм	<40
10	Metal contamination	1/см2	<3E10
11	Front surface		Polished
12	Front surface visual:
	Haze, Scratches, Stains, Spots		none
	Orange Peel		none
	Cracks, Craters		none
13	Front Side LPD:			يجب ألا يقل عدد الرقائق ذات قيمة المعلمة المذكورة عن 80% من الدفعة،
	< 0.12 متر		<100
	<0,16 متر		<50
	<0,20 متر		<20
	<0,30 متر		<10

 

1.5 رقاقة السيليكون Coinroll

المواصفات: 12 بوصة، سيليكون عاري، سمك> 750um، شق، خدش طفيف وبقع سنقوم بمعالجة مياه IPA، DI بتقنية Ultra sonic. (PAM171117-SI)

2. تعريف الرقاقة الوهمية

رقاقة وهمية(وتسمى أيضًا برقائق الاختبار) عبارة عن رقاقة وهمية من Si تستخدم بشكل أساسي للتجربة والاختبار وتختلف عن الرقاقات العامة للمنتج. وبناءً على ذلك، يتم تطبيق الرقاقات المستصلحة في الغالب على شكل رقائق من الدرجة الوهمية (رقائق الاختبار).

في كل عملية، يتم قياس سمك الفيلم، ومقاومة الضغط، ومؤشر الانعكاس، ووجود الكرة والدبابيس باستخدام رقاقة Si وهمية (رقاقة اختبار). كما تُستخدم الرقائق الوهمية (رقائق الاختبار) لقياس حجم النموذج والتحقق من العيوب وما إلى ذلك في الطباعة الحجرية.

مراقبة الرقائقهي رقائق السيليكون العارية التي سيتم استخدامها في حالة الحاجة إلى إجراء تعديل في كل خطوة إنتاج قبل إنتاج IC الفعلي. على سبيل المثال، عندما يتم تحديد شروط كل عملية، مثل حالة قياس تحمل الجهاز ضد (اختلاف) سمك الركيزة، يتم استخدام رقائق السيليكون ذات اللفائف المعدنية لرقائق المباعد كبديل للرقائق عالية المستوى وعالية القيمة. علاوة على ذلك، يتم استخدامها أيضًا لغرض المراقبة في العملية جنبًا إلى جنب مع رقائق المنتج. تعد رقائق المراقبة من مواد الرقاقة الضرورية التي لا تقل أهمية عن الرقائق الأساسية للمنتج. يطلق عليها أيضًا اسم رقائق الاختبار والرقائق الوهمية.

لمزيد من تفاصيل المنتج أو إذا كانت لديك المواصفات المطلوبة، يرجى الاتصال بنا على [email protected] أو [email protected].

رقائق السيليكون درجة الاختبار-1

رقائق السيليكون الصف الاختبار-2

رقائق السيليكون درجة الاختبار-3

رقائق السيليكون درجة الاختبار-4

رقائق السيليكون الصف الاختبار-5

رقائق السيليكون درجة الاختبار-6

رقائق السيليكون درجة الاختبار-7

رقائق السيليكون درجة الاختبار-8

رقائق السيليكون درجة الاختبار-9

رقائق السيليكون بدرجة الاختبار-10

رقائق السيليكون درجة الاختبار-11

12 "سمك رقاقة السيليكون من الدرجة الوهمية 700-730um

12 "سمك رقاقة السيليكون من الدرجة الوهمية 650-700um