بطاقة - نشر بسكويت الويفر

عيوب غير عادية ناتجة عن نشر الرقائق: التشخيص والآليات وكيفية التمييز بين الإخفاقات ذات الصلة

عيوب غير عادية ناتجة عن نشر الرقاقة: التشخيص والآليات وكيفية التمييز بين الإخفاقات ذات الصلة في عملية نشر الرقاقة ، لوحظت أعطال غير عادية وتم التحقيق في أسبابها الجذرية. إلى جانب حالات الفشل الكلاسيكية والمعروفة ، تم العثور على آليات الفشل التالية. ESD-ESD (ESDFOS) ، الناجم عن قطرات الماء المشحونة و [...]