خدمات مسبك بسكويت الويفر

وصف المنتج

تقدم PAM-XIAMEN خدمات مسبك الويفر في تصنيع أشباه الموصلات.
شكرًا لتكنولوجيا معالجة أشباه الموصلات المتقدمة واستفد من خبراتنا في المنبع من الركيزة و expaxy ،
تعد PAM-XIAMEN أكثر تقنيات الرقاقات تقدمًا وخدمات المسبك لشركات fabless و IDMs والباحثين.
حاليًا لدينا منشأة تصنيع بسكويت الويفر 200 مم (فاب) للتصنيع الدقيق.

   Wafer Foundry Service

Prozessname	Wafergröße (Zoll)	Fähigkeit
Schrittphotolithographie	6	0,40 um
Kontaktierte Fotolithografie	2,4	3um
Trockenätzen	6	Tiefe 100 um (Si)，Metall, GaN
Nasse Bank	6,8	Metall, SiO 2, SiN, TEOS, Polysilicium
PECVD	6	SiN SiO2.TEOS
LPCVD	6	SiN, SiO2.Poly-Silizium
ALD	6	Al 2 O 3, AIN
Sputtern	6	Ti.Al, TiN, Ni, W. TiW.WN
Elektronenstrahl	4,6,8	Ti, Ni, Ag. Al.Ta, Cr Pt.Mo, Co.
الزرع	6	B (20 – 200 KeV, 1E13 – 115) .N
RTP	6	900C كحد أقصى.
Backofen	6	400C كحد أقصى.

 

قدرات خدمة المسبك لتصنيع الرقائق هي:

عملية معدنية تصل إلى 8 ″: معدنة الرقاقات مع Ti ، Ni ، Ag ، Pt ، Mo ، Al ، W ، Cr ، إلخ عن طريق نظام الرش أو نظام الشعاع الإلكتروني
عملية الحفر الجاف حتى 6 ″ بواسطة معدات النقش ALM أو SAMCO RIE أو ICP
عملية الفيلم: غشاء رقيق SiO2 و SiN و Al2O3 بواسطة PECVD و DF و LPCVD و ALD و Unitemp RTP.
4.عملية الطباعة الحجرية لـ 2/4/6: دقيقة. عرض الخط 0.4um بواسطة Nikon Stepper
الطباعة الحجرية الإسقاطية: قرص مضغوط 2um ، دقة 1um
معدات غرسات الأيونات (B +، BF2 +، P +، As +، Ar +، B ++، P ++) لـ 2/4/6 ″ بواسطة ULVAC

تتم عملية تصنيع الويفر لمعالجة الرقائق الخام إلى الرقائق النهائية.
تتضمن عملية تصنيع الرقائق التقليدية خطوات فردية للمقاومات ، والترانزستورات ، والموصلات ،
وغيرها من المكونات الإلكترونية المعالجة على رقاقة أشباه الموصلات.
يمكننا أن نقدم الطباعة الحجرية النانوية (الطباعة الحجرية الضوئية): تحضير السطح ، تطبيق مقاوم الضوء ، خبز ناعم ،
المحاذاة ، التعرض ، التطوير ، الخبز الصلب ، تطوير الفحص ، الحفر ، إزالة مقاوم الضوء (الشريط) ، الفحص النهائي.

Wafer Processing Service

خدمة التصنيع النانوي

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت:https://www.powerwaywafer.com/wafer-fabrication
ترسل لنا البريد الإلكتروني في [email protected] و [email protected]