PAM-XIAMEN kan tilbydeLED epitaksy wafersog er i stand til at tilbyde GaN-støberitjenester og -forsyninger til LED'er. GaN-støberitjenesterne omfatter OEM-vækstservice, COW-proces og forskellige testtjenester. Helt konkret som følger:
1. OEM Service – Tilpasset AlGaN-baseret Thin Film Epi Structure
Vi leverer 2, 4 tommer DUV-LED epitaksial wafer specialservice. Og bølgelængden af GaN epitaksial wafer fra vores GaN støberi er fra 265nm til 280nm.
Derudover er tilpasset betjening af 2&4 tommer AlGaN-baserede epitaksiale LED-strukturer tilgængelig. Heri er Al-sammensætningen af AlGaN epi-laget justerbar mellem 0 ~ 100%
2. GaN Chipstøberitjenester – COW-proces for blå, UVA og UVC LED-enheder
GaN-tjenester: COW-proces og enkelt OEM-service i vores støberi til blå, UVA og UVC LED-enheder inkluderer fotolitografi, reaktiv ionætsning (for GaN, AlN og AlGaN), reaktiv ionætsning (SiO2, Si3N4), PECVD (SiO2, Si3N4 ), elektronstrålefordampning (Au, Ni, Cr, Al, Ti), elektronstrålefordampning (ITO), hurtig udglødning, CMP (fortynding, slibning, polering) og etc.
2.1 Fotolitografi til GaN LED
Vi kan udføre 1μm præcisionsfotolitografi til GaN LED-wafere på 4 tommer og derunder, som kan styres præcist efter kundernes behov.
2.2 Inductively Coupled Plasma Etching (ICP) til GaN-baseret LED Epi
Vi er i stand til at udføre mønsterætsning for GaN, AlN og AlGaN materialer.
2.3 Reactive Ion Etching (RIE) for GaN Semiconductor Wafer
For tynde SiO2- og SiNx-film udføres mønsterætsning på GaN-wafers.
2.4 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) for GaN Epiwafere
For wafers 6 tommer og derunder udføres plasma-forstærket kemisk dampaflejring for at danne en ensartet, tæt og tykkelseskontrollerbar SiO2- eller SiNx-film på overfladen af GaN-epitaksi.
2.5 Elektronstrålefordampningsbelægning (E-Beam) på GaN Epitaxial Wafer
Ved at bombardere målet med elektronstråler fra en elektronkanon udføres ITO tyndfilmfordampning på GaN overfladen, materialet er Au, Ni, Cr, Al, Ti og så videre
Dampaflejring af tynde metalfilm såsom Ag og Pt.
2.6 Hurtig udglødning (RTA) af GaN tyndfilm
Baseret på dine proceskrav kan vores hurtige udglødning bruge forskellige gasser såsom N2 og O2 til at matche forskellige processer og indstille forskellige opvarmnings- og afkølingshastigheder, udglødningstemperaturer og udglødningstider for at legere og smelte metalelektroderne for at opfylde de elektriske krav i produktet.
3. GaN Test Service
Vi leverer testtjenester til GaN-wafere som nedenfor:
3.1 XRD-test af halvledertyndfilmmaterialer
ω-scanning af forskellige krystalplaner af 2-4 tommer halvleder tyndfilmmaterialer: gyngekurvetesten kan bruge det inverterede rumbilledprincip til at realisere den omvendte rumkortlægningsmåling, opnå sammensætningen og spændingen af de ternære legeringsmaterialer såsom AlGaN, og har også funktionerne til måling af filmtykkelse.
3.2 AFM-test for epiwafere
AFM-test har to tilstande: Tapping og Contact, som kan detektere overfladetopografien af materialer, udstyret med et C-AFM-modul, der er i stand til at sondere strømkanaler i materialer. Ved hjælp af KPFM-funktionen kan metalmaterialers arbejdsfunktion og halvledermaterialers overfladepotentiale testes. Ved hjælp af LFM-funktionen kan mikrodomænernes friktionskraft på overfladen af organiske materialer testes. Ved hjælp af MFM kan den magnetiske domænefordeling af prøven måles.
3.3 Epitaxial Wafer PL Spectrum Scanning Imager
Epitaxial wafer PL spectrum scanning imager kan være kompatibel under 6 tommer epitaxial wafer, testindholdet inkluderer: blå LED epitaxial wafer peak bølgelængde (WLP), dominant bølgelængde (WLD), spektral halvbredde (HW), integreret lysintensitet (INT) spidsintensitet (PI); epitaksial filmtykkelse og reflektivitet (PR); vise og udlæse gennemsnitsværdien af hver målt parameter (middelværdi), gennemsnitlig kvadratfejl (Std), standardafvigelsesrate (CV) og andre statistiske resultater, og grafisk vise kortfordelingen af hver parameter; måle vridningen af epitaksiale wafere.
3,4 Kelvin Probe Force Mikroskop
Atomkraftmikroskopet har KPFM-testfunktionen, som kan teste metalmaterialers arbejdsfunktion og halvledermaterialers overfladepotentiale.
Samtidig kan et lysassisteret testsystem installeres til at teste ændringerne i overfladepotentialet for halvlederenheder under belysningsforhold.
3.5 Høj- og lavtemperatur Hall-effekttest
Vi leverer højtemperatur Hall-måling af halvleder tyndfilmmaterialer, testtemperaturen er 90-700K, og magnetens magnetfeltstyrke er 0,5 T, den maksimale målte plademodstand er 10^11 ohm/sq, den minimale teststrøm er 1μA, DC-området er fra 1μA til 20 mA, og AC-tilstand er også tilgængelig (prøver med høj modstand kan ikke måles i AC-tilstand).
3.6 Deep Level Transient Spectrum
Højtemperatur dybt niveau transient spektroskopi og lys-assisteret dybt niveau transient spektroskopi testning leveres til at detektere halvledere Dybe energiniveauer og grænsefladetilstande af medium og spor urenheder og defekter. Det dybe niveau transient spektrum kan gives til at karakterisere halvlederbåndgabet. DLTS-spektrene af urenheder, dybe defektniveauer og grænsefladetilstande inden for distributionen med temperatur (dvs. energi).
3.7 Kvantetransporttest
Vi leverer kvantetransporttest ved lav temperatur og stærkt magnetisk felt, linjemagnetoresistenstest og Hall-test. Normalt er prøverne. Mål først den variable temperatur IV, og mål derefter magnetoresistensen. Magnetoresistivt måleområde er 0,1 ohm-100 ohm.
For III-V-halvledere kan Hall-test med lav temperatur og stærkt magnetfelt opnå prøvemobilitet og elektronkoncentrationsændringer med temperaturen. For mængdeprøver af sub-indeslutningseffekter såsom todimensionel elektrongas, kan lave varme og stærke magnetiske felter føre til Zeeman-spaltning, hvorved der observeres kvanteeffekter såsom SdH-oscillationer og transportegenskaber af forskellige underbånd (mobilitetselektronkoncentration Spend ) kan fås.
3.8 Analyse af elektriske parametre for halvledertyndfilmmaterialer og -strukturer
Giver elektrisk parameteranalyse af halvleder tyndfilm materialer og strukturer, DC Kilde måleenhed indikatorer: maksimal spænding 210V, maksimal strøm 100mA, maksimal effekt 2W; pulsmålerenhedsindikatorer: systempulsgeneratorfrekvens: 50MHz-1Hz; minimum pulsbredde: 10ns; maksimal pulsspænding: 80V, -40V-40V.
3.9 Tip Forbedret Raman-spektrometer
Giver mikro-område Raman test, ejer Neaspec tip-enhanced Raman spektrometer (TERS), med en rumlig opløsning på 10nm og øget Raman intensitet.
Den er mere end 1000 gange stærkere og kan måle nærfeltstyrken og bitsikkerheden af tredje orden eller mere.
3.10 Optisk test
Den optiske testplatform har 213, 266, 325, 532 og 633nm lasere og kan bruges til at måle materialer med forskellige emissionsbølgelængder. Spektrometret bruger iHR550-udstyr, opløsningen når 0,33nm, og opsamlingsbølgelængdeområdet dækker ultraviolette, synlige og infrarøde dele
Opitcal test kan måle bulkmaterialer og prøver i mikronstørrelse. Platformens spektroskopiske enhed er ikke-integreret og kan frit kombinere komponenter med forskellige funktioner for at opfylde forskellige testkrav, såsom måling af optisk polarisation, trykspektroskopi, lav temperatur og variabel effekt. Giv tidsopløst spektraltestning af halvleder tyndfilm materialer og strukturer. Ved at registrere ændringerne i spektret over tid, kan vi forstå de hændelser og processer, der opstår i den øjeblikkelige proces, for at opnå information, der ikke kan opnås i steady-state spektret (integreret spektrum). Målingen af bærerstrålingens levetid bruges til at opnå relevant information såsom levetiden af den exciterede tilstand, overgangssandsynlighed, kollisionstværsnit, reaktionshastighed og energioverførsel.
Remark：
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips. Starting from August 1, 2023, exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!
For mere information, kontakt os venligst e-mail påvictorchan@powerwaywafer.com og powerwaymaterial@gmail.com.