Enkelt krystal kvarts wafersubstrat til SAW-komponenter

Enkelt krystal kvarts wafersubstrat til SAW-komponenter

You can buy quartz wafer for SAW components from PAM-XIAMEN, which is a leading quartz wafer supplier in China. There are three common shapes of quartz wafers: round, square, SMT special or rod type (also square, but relatively small). When the orientation is different, its piezoelectric characteristics, elastic characteristics and strength characteristics will be different. The performance of the resonator is different when using quartz wafer substrates with different orientations to make.

Quartz Wafer

1. Quartz Wafer Specification

No. 1 Quartz Substrate (PAM210625-QUARTZ)

Diameter 100,0 mm ± 0,3 mm
Orienteringsflade (OF) 32 mm ± 2 mm
Tykkelse 500um ± 30um
Kantfasning Kantafrunding
Orientering
Overflade - skåret: 42,75 ° ST-skåret ± 0,2 °
Orienteringsflade (OF) Parallelt med X ± 0,2 °
Flathed
TTV ≤20um
LTV ≤2,0um inden for et område på 5 × 5 mm
PLTV ≥95% (3 mm fra kant undtaget)
SLØJFE -25um ≤Bue≤ + 25um
Overfladekarakteristika
Wafer bagside GC # 1000 lappet & ætset 0.2um≤Ra≤0.7um
andre
Frøplacering At være inden for centrum 3,0 mm fra waferen
Q-faktor ≥2 millioner

Bemærkninger : Andre specifikationer i henhold til kundens krav.

No. 2 Piezoquartz Black Wafer (PAM171219-PQ)

Orientation:Y-cut 36°
Diameter: 100mm
Thickness: 500um
Surface: mirror polished (SSP) Ra<=8A
Back side surface: Ra<=0,2

2. Single Crystal Quartz Properties

2.1 Quartz Crystal Properties

Kvartset, et meget vigtigt piezoelektrisk materiale, er råmateriale til fremstilling af kvartskrystalresonatorer. Dets vigtigste træk er, at dets atomer eller molekyler arrangeres regelmæssigt, hvilket afspejler symmetri af formen på en makroskopisk skala. Under virkningen af ​​et elektrisk felt genererer krystallen spænding og deformationer, hvorved der genereres mekanisk vibration og opnås en bestemt frekvens. Kvartskrystalresonatorer er fremstillet ved hjælp af dens inverse piezoelektriske effektegenskaber.

2.2 Egenskaber for kvartssubstrat

Kvartskrystal er i øjeblikket den mest anvendte krystal og er et vigtigt elektronisk materiale. Når en kvartsskive, der er skåret i en bestemt retning, udsættes for mekanisk belastning, genereres et elektrisk felt eller en ladning, der er proportional med spændingen. Dette fænomen kaldes den positive piezoelektriske effekt. Omvendt, når kvartskrystalskiven udsættes for et elektrisk felt, vil det frembringe en belastning, der er proportional med det elektriske felt. Dette fænomen kaldes den inverse piezoelektriske effekt. De positive og omvendte effekter kaldes samlet den piezoelektriske effekt. Enkelkrydsplade i kvarts har ikke kun piezoelektrisk effekt, men har også fremragende mekaniske, elektriske og temperaturegenskaber. Resonatorer, oscillatorer og filtre designet og produceret med enkeltkrystal kvartsskive har enestående fordele inden for frekvensstabilisering og frekvensvalg.

3. Produktionsproces for Z-cut og ST-cut Quartz Wafer

For at producere en kvartskrystalresonator med god ydeevne ud over et rimeligt design og fremragende råmaterialer vil produktionsprocessen for enkeltkrystal kvartssubstrat spille en afgørende rolle. De specifikke produktionstrin er som følger:

For det første sorteres de rå stykker. På grund af den store skærevinkelfejl i kvartsråstykkerne skal røntgenretningsinstrumentet bruges til vinkelsortering før grov behandling. Vælg derefter den rette vinkel på det rå stykke til forarbejdning i henhold til behovene, det vil sige klæbende strimler, skære frøkrystaller, afrunding og så videre.

Derefter udføres kvartssubstratslibningsprocessen, som generelt er opdelt i grovslibning, mellemslibning og finslibning. Grovslibning er hovedsageligt for at skære kvartsskivernes vinkel og tykkelse, mens mellemslibning og finslibning skal finjustere tykkelsen af ​​kvarts-enkeltkrystalskiven.

For at sikre overfladekvaliteten af ​​skiven og stabiliteten og pålideligheden af ​​krystallen under brug poleres kvartsskiven efter slibning og rengøres. Jo tykkere waferen er, desto større er indvirkningen på krystalets vibrationsydelse og modstand. Derfor er den dybe ætsningsmetode til at fjerne det løse overfladelag af enkeltkrystal kvartsskiver forårsaget af slibning mere effektiv.

Montering og dispensering er langsomt at anbringe kvartspladen med elektroden belagt mellem de to metalplader på båndstøtten. Lad de to metalplader med slots fastspænde kvartspladen, og påfør derefter belægningen på kontakten mellem elektroden og metalpladen. Det øverste lag af ledende lim bringer elektrodefilmen i kontakt med metalpladen gennem den ledende lim på kanten for at skabe en elektrisk forbindelse.

Frekvensmodulation er et nøgletrin i produktionen af ​​krystaloscillatorer, dvs. justering af resonansfrekvensen af ​​krystaloscillatoren for at imødekomme designkravene. Frekvensmodulationsmetoderne for forskellige typer krystaloscillatorer er forskellige. Metoderne er vakuumcoatingfrekvensmodulation og polering af waferfrekvensmodulation. Til produktion af krystaloscillatorer med lav teknisk merværdi og relativt høje omkostningskrav anvendes poleringsskivens frekvensmodulationsproces ofte.

Endelig udføres skalemballage, trykning og måling af færdige produkter.

4. Anvendelse og udvikling af kvartsplader

Elektroniske dele lavet af kvartsskivers fysiske egenskaber har høj frekvensstabilitet og bruges i vid udstrækning i digitale kredsløb, computere, kommunikation og andre områder. Quartz wafer skal tjene som en frekvenskilde og frekvensreference i elektroniske kredsløb.

Da omfanget af informationsindustrien og elektronikindustrien i forskellige lande fortsætter med at ekspandere, udvides anvendelsesområdet for krystaloscillatorer stadig, hvilket driver den kontinuerlige vækst i dets markedsskala. På nuværende tidspunkt har markedet en stor efterspørgsel efter højpræcisions-, højfrekvens-, højstabilitets- og krystaloscillatorprodukter med lav effekt. På samme tid, med udviklingen af ​​elektroniske produkter i retning af ultra-tynd, miniaturisering og funktionel integration, er krystaloscillatorprodukter også blevet opgraderet til miniaturisering, chip-type og integration. Derfor bør der være meget plads til forbedring af produktionsteknologien i kvartsskivebranchen.

powerwaywafer

For mere information, kontakt os venligst e-mail på victorchan@powerwaywafer.com og powerwaymaterial@gmail.com.

Del dette indlæg