GaAs (Gallium Arsenide) Wafers

Als führender GaAs-Substratlieferant stellt PAM-XIAMEN Epi-fähiges GaAs (Galliumarsenid)-Wafersubstrat her, einschließlich halbleitendem n-Typ, halbleitendem C-dotiertem und p-Typ mit erstklassiger und Dummy-Qualität. Der spezifische Widerstand des GaAs-Substrats hängt von den Dotierstoffen ab. Si-dotiert oder Zn-dotiert beträgt (0,001–0,009) Ohm.cm, C-dotiertes beträgt >=1E7 Ohm.cm. Die Kristallorientierung des GaAs-Wafers sollte (100) und (111) sein. Für die (100)-Ausrichtung kann es um 2°/6°/15° abweichen. Der EPD von GaAs-Wafern beträgt normalerweise <5000/cm2 für LED oder <500/cm2 für LD oder Mikroelektronik.

Beschreibung

(Galliumarsenid) GaAs-Wafer

PAM-XIAMEN entwickelt und produziert Verbindungshalbleitersubstrate – Galliumarsenidkristalle und -wafer. Wir haben fortschrittliche Kristallwachstumstechnologie, Vertical Gradient Freeze (VGF) und GaAs-Wafer-Herstellungsverfahren eingesetzt, eine Produktionslinie vom Kristallwachstum über das Schneiden, Schleifen bis hin zur Polierverarbeitung eingerichtet und einen Reinraum der Klasse 100 für die Reinigung und Verpackung von GaAs-Wafern gebaut. Zu unseren GaAs-Wafern gehören 2 bis 6 Zoll große Ingots/Wafer für LED-, LD- und Mikroelektronikanwendungen. Wir sind stets bestrebt, die Qualität der aktuellen GaAs-Wafer-Substrate zu verbessern und großformatige Substrate zu entwickeln. Die angebotenen GaAs-Wafergrößen sind 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll und 6 Zoll groß und die Dicke sollte 220–700 µm betragen. Darüber hinaus ist der Preis für GaAs-Wafer bei uns wettbewerbsfähig.

1. GaAs-Wafer-Spezifikationen

1,1 (GaAs)GalliumarsenidWafer für LED-Anwendungen

Artikel Spezifikationen Bemerkungen
Leitungstyp SC / n-Typ SC/p-Typ mit Zn-Dotierung verfügbar
Wachstumsmethode VGF  
Dotierstoff Silizium Zn verfügbar
Wafer-Durchmesser 2, 3 und 4 Zoll Barren oder As-Cut verfügbar
Kristallorientierung (100) 2 & deg;/6°/15° aus (110) Andere Fehlorientierung verfügbar
VON EJ oder US  
Trägerkonzentration (0,4~2,5)E18/cm3  
Widerstand bei RT (1,5~9)E-3 Ohm.cm  
Mobilität 1500~3000cm2/V.sek  
Ätzgrubendichte <5000 / cm2  
Laserbeschriftung auf Anfrage  
Oberflächenfinish P / E oder P / P  
Dicke 220 ~ 450um  
Bereit für die Epitaxie Ja  
Paket Einzelner Waferbehälter oder Kassette

 

1,2 (GaAs)GalliumarsenidWafer für LD-Anwendungen

Artikel Spezifikationen Bemerkungen
Leitungstyp SC / n-Typ  
Wachstumsmethode VGF  
Dotierstoff Silizium  
Wafer-Durchmesser 2, 3 und 4 Zoll Barren oder Rohschnitt verfügbar
Kristallorientierung (100) 2 & deg;/6°/15°aus (110) Andere Fehlorientierung verfügbar
VON EJ oder US  
Trägerkonzentration (0,4~2,5)E18/cm3  
Widerstand bei RT (1,5~9)E-3 Ohm.cm  
Mobilität 1500~3000 cm2/V.sek  
Ätzgrubendichte <500 / cm2  
Laserbeschriftung auf Anfrage  
Oberflächenfinish P / E oder P / P  
Dicke 220 ~ 350um  
Bereit für die Epitaxie Ja  
Paket Einzelner Waferbehälter oder Kassette

 

1,3 (GaAs)GalliumarsenidHalbisolierende Wafer für mikroelektronische Anwendungen

Artikel Spezifikationen Bemerkungen
Leitungstyp isolierend  
Wachstumsmethode VGF  
Dotierstoff C dotiert  
Wafer-Durchmesser 2, 3 und 4 Zoll Barren verfügbar
Kristallorientierung (100)+/- 0,5°  
VON EJ, US oder Notch  
Trägerkonzentration n / A  
Widerstand bei RT >1E7 Ohm.cm  
Mobilität >5000 cm2/V.sec  
Ätzgrubendichte <8000 / cm2  
Laserbeschriftung auf Anfrage  
Oberflächenfinish P / P  
Dicke 350 ~ 675um  
Bereit für die Epitaxie Ja  
Paket Einzelner Waferbehälter oder Kassette

 

1,4 6″ (150 mm) (GaAs)GalliumarsenidHalbisolierende Wafer für mikroelektronische Anwendungen

Artikel Spezifikationen Bemerkungen
Leitungstyp Halbisolierend -
Grow-Methode VGF -
Dotierstoff C dotiert -
Typ N. -
Durchmesser (mm) 150 ± 0,25 -
Orientierung (100)0°±3,0° -
NOTCH-Ausrichtung ≤ 010 ≤ ± 2 ° -
KERBENtiefe (mm) (1-1,25)mm 89°-95° -
Trägerkonzentration Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam -
Spezifischer Widerstand (Ohm.cm) > 1,0 × 107 -
Mobilität (cm2/vs) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam -
Luxation Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam -
Dicke (µm) 675 ± 25 -
Kantenausschluss für Bogen und Kette (mm) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam -
Bogen (um) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam -
Warp (um) ≤20,0 -
TTV (um) ≤10,0 -
TIR (um) ≤10,0 -
LFPD (um) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam -
Polieren P/P Epi-Ready -

 

1,5 2″ (50,8 mm) LT-GaAs (Bei niedriger Temperatur gewachsenes Galiumarsenid) Wafer-Spezifikationen

Artikel Spezifikationen
Leitungstyp Halbisolierend
Grow-Methode VGF
Dotierstoff Sub:C dotiert / Epi:Undotiert
Typ N.
Durchmesser (mm) 150 ± 0,25
Orientierung (100)0°±3,0°
NOTCH-Ausrichtung ≤ 010 ≤ ± 2 °
KERBENtiefe (mm) (1-1,25)mm 89°-95°
Trägerkonzentration Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam
Spezifischer Widerstand (Ohm.cm) >1,0×107 oder 0,8-9 x10-3
Mobilität (cm2/vs) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam
Luxation Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam
Dicke (µm) 675 ± 25
Kantenausschluss für Bogen und Kette (mm) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam
Bogen (um) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam
Warp (um) ≤20,0
TTV (um) ≤10,0
TIR (um) ≤10,0
LFPD (um) Bitte wenden Sie sich an unser Vertriebsteam
Polieren P/P Epi-Ready
 
* Wir können auch Polykristall-GaAs-Stäbe mit 99,9999 % (6N) liefern.
* Polykristalliner GaAs-Wafer mit 7N-Reinheit ist verfügbar. Spezifikationen finden Sie unter:

2. GaAs-Wafer-Markt und Anwendung

Galliumarsenid ist ein wichtiges Halbleitermaterial. Es gehört zu den Verbindungshalbleitern der Gruppe III-V und der Zinkblende-Kristallgitterstruktur mit einer Gitterkonstante von 5,65×10-10m, einem Schmelzpunkt von 1237°C und einer Bandlücke von 1,4 Elektronenvolt. Galliumarsenid kann zu halbisolierenden hochohmigen Materialien verarbeitet werden, die zur Herstellung von Substraten für integrierte Schaltkreise, Infrarotdetektoren, Gammaphotonendetektoren usw. verwendet werden können. Da seine Elektronenmobilität fünf- bis sechsmal größer ist als die von Silizium, verfügt das SI-GaAs-Substrat über eine 5- bis 6-mal größere Elektronenmobilität wurden vor allem bei der Herstellung von Mikrowellengeräten und digitalen Hochgeschwindigkeitsschaltungen eingesetzt. Auf Galliumarsenid hergestellte Halbleiterbauelemente bieten die Vorteile hoher Frequenz, hoher Temperatur, Leistung bei niedrigen Temperaturen, geringem Rauschen und hoher Strahlungsbeständigkeit, wodurch der Markt für GaAs-Substrate wächst.

 

3. Das Testzertifikat des GaAs-Wafers kann bei Bedarf die folgende Analyse enthalten:

1/Oberflächenrauheit von Galliumarsenid einschließlich Vorder- und Rückseite (Nanometer).

2/Dotierungskonzentration von Galliumarsenid (cm-3)

3/EPD von Galliumarsenid (cm-2)

4/Mobilität von Gallium Arsendie (V.sec)

5/Röntgenbeugungsanalyse (Rocking-Kurven) von Galliumarsenid: Halbwertsbreite der Beugungsreflexionskurve

6/Niedertemperatur-Photolumineszenz (Emissionsspektren im Bereich 0,7–1,0 μm) von Galliumarsenid: Der Anteil der Exzitonen-Photolumineszenz im Emissionsspektrum des nahen IR-Bereichs bei einer Temperatur von 4 K oder 5 K und einer optischen Anregungsdichte von 1 W/cm2

7/Transmissionsrate oder Absorptionskoeffizient: Im Moment können wir den Absorptionskoeffizienten von einkristallinem undotiertem GaAs bei 1064 nm messen: <0,6423 cm-1, und dies entspricht einem Transmissionsminimum von 33,2 % für einen genau 6,5 mm dicken Rohling bei 1064 nm.

 

Anmerkung:
Die chinesische Regierung hat neue Beschränkungen für den Export von Galliummaterialien (wie GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs und GaSb) und Germaniummaterialien zur Herstellung von Halbleiterchips angekündigt. Ab dem 1. August 2023 ist der Export dieser Materialien nur noch erlaubt, wenn wir eine Lizenz des chinesischen Handelsministeriums erhalten. Wir hoffen auf Ihr Verständnis und Ihre Mitarbeit!