Die Kanten und Kerben Siliziumscheibe wird in der Regel durch Diamantschleifen und die Schleifinduzierten Schäden unter der Oberfläche bewirkt Waferbruch und Partikelkontaminationsprobleme bearbeitet. Jedoch weisen die Kantenflächen und Kerb große Krümmung und spitze Ecken, so ist es schwierig, durch chemisch-mechanisches Polieren fertig zu werden. In dieser Studie wird ein Nanosekunde gepulster Nd: YAG-Laser wurde verwendet, um die Kante und die Kerbe eines bordotierten zu bestrahlen Einkristall-Siliziumwafer die zermahlungsinduzierte Schäden unter der Oberfläche zu erholen. Der Reflexionsverlust und die Änderung der Laserflußdichte wenn eine gekrümmte Oberfläche bestrahlt wurden geprüft und das Schaden-Recovery-Verhalten untersucht. Die Oberflächenrauhigkeit, Kristallinität und Härte der Laser gewonnen Region wurde unter Verwendung von Weißlicht-Interferometrie gemessen wird, Laser-Mikro Raman-Spektroskopie und Nanoindentierung, respectively. Die Ergebnisse zeigten, dass der beschädigte Bereich nach der Laserbestrahlung auf eine einkristalline Struktur mit nanometrischer Oberflächenrauhigkeit gewonnen wurde, und die Oberflächenhärte wurde ebenfalls verbessert. Diese Studie zeigt, dass Laser-Recovery ist ein vielversprechendes post-Schleifverfahren der Oberflächenintegrität der Kante zur Verbesserung und Incisura Siliziumscheibe.

Quelle: IOPscience

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