Wie wird ein Chip aus Siliziumkarbid (SiC) hergestellt? Chips sind im Allgemeinen Halbzeuge, die aus Wafern geschnitten wurden.PAM-XIAMEN kann SiC-Wafer zur Herstellung von Chips anbieten, weitere Spezifikationen finden Sie unterhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. Jeder Wafer integriert Hunderte von Chips, und jeder Chip besteht aus Tausenden von Zellen. Also, wie baut man eine Zelle?
Erster Schritt: Injektionsmaske. Der Wafer wird zuerst gereinigt, eine Schicht aus Siliziumoxidfilm wird aufgebracht und dann wird ein Photoresistmuster durch gleichmäßigen Klebstoff, Belichtung und Entwicklung gebildet. Schließlich wird das Muster durch einen Ätzprozess auf die Ätzmaske übertragen.
Zweiter Schritt: Ionenimplantation. Legen Sie den maskierten Wafer in einen Ionenimplantierer und implantieren Sie hochenergetische Ionen. Dann wird die Maske entfernt und getempert, um die implantierten Ionen zu aktivieren.
Dritter Schritt: Erstellen des Gitters. Eine Gate-Oxidschicht und eine Gate-Elektrodenschicht werden nacheinander auf dem Wafer abgeschieden, um eine Steuerstruktur auf Gate-Ebene zu bilden.
Vierter Schritt: Herstellen einer Passivierungsschicht. Eine dielektrische Schicht mit guten Isoliereigenschaften wird abgeschieden, um einen Durchbruch zwischen den Elektroden zu verhindern.
Fünfter Schritt: Herstellung von Drain-Source-Elektroden. Löcher werden auf der Passivierungsschicht geöffnet und Metall wird gesputtert, um Drain-Source-Elektroden zu bilden.
Wenn eine positive Spannung zwischen der Drain-Source-Elektrode und der Gate-Source-Elektrode angelegt wird, öffnet sich der Kanal, Elektronen fließen von der Source zur Drain und ein Strom fließt von der Drain zur Source.
Ein grundlegendes Leistungsgerät (eine Zelle) wurde hergestellt.
SiC-Chips können die Arbeitseffizienz effektiv verbessern, Energieverluste reduzieren, Kohlenstoffemissionen reduzieren, die Systemzuverlässigkeit verbessern, Volumen reduzieren und Platz sparen.
Bitte klicken Sie auf den Link, um das kurze Video zur Herstellung von SiC-Chips anzusehen:https://youtu.be/8EyJApHZBJ8
Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte per E-Mail unter victorchan@powerwaywafer.com und powerwaymaterial@gmail.com.