Siliziumkarbid (SiC) ist ein Verbundhalbleitermaterial, das aus Kohlenstoff- und Siliziumelementen besteht, und wird Halbleitermaterial mit breiter Bandlücke genannt, da die Bandlücke größer als 2,2 eV ist.PAM-XIAMEN kann N-Typ- und halbisolierende SiC-Wafer liefern. Weitere Spezifikationen des SiC-Wafers finden Sie unterhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.

Wie werden SiC-Wafer hergestellt? Sie können dem Link folgenhttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgum das Video des Herstellungsprozesses anzusehen.

Verwenden Sie zunächst hochreines Siliziumpulver und hochreines Kohlenstoffpulver als Rohstoffe, um SiC-Einkristalle durch physikalischen Dampftransport (PVT) zu züchten.

Verwenden Sie zweitens eine Mehrdraht-Dicing-Ausrüstung, um SiC-Kristalle in dünne Scheiben mit einer Dicke von nicht mehr als 1 mm zu schneiden.

Drittens werden die Wafer durch Diamantaufschlämmung unterschiedlicher Partikelgröße auf die gewünschte Ebenheit und Rauhigkeit geschliffen.

Viertens werden SiC-Wafer einem mechanischen Polieren und einem chemisch-mechanischen Polieren unterzogen, um hochglanzpolierte SiC-Wafer zu erhalten.

Verwenden Sie dann optische Mikroskope und andere Instrumente, um die Dichte der Mikroröhrchen, die Oberflächenrauheit, den spezifischen Widerstand, die Verwerfung, den TTV, die Oberflächenkratzer und andere Parameter von SiC-Wafern zu ermitteln.

Schließlich werden die mit SiC polierten Wafer mit einem Reinigungsmittel und reinem Wasser gereinigt, um Oberflächenverunreinigungen wie Polierflüssigkeit zu entfernen, und dann werden die Wafer geblasen und durch ultrahochreines Stickstoffgas und eine Trocknungsmaschine getrocknet.

Verwenden Sie danach chemische Gasphasenabscheidung und andere Methoden, um epitaxiale SiC-Wafer auf Substraten zu erzeugen, und stellen Sie schließlich verwandte Geräte her.

Aufgrund ihrer überlegenen physikalischen Eigenschaften: hohe Bandlücke, hohe elektrische Leitfähigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, werden SiC-Wafer häufig in der 5G-Kommunikation, intelligenten Netzen, Fahrzeugen mit neuer Energie, Hochgeschwindigkeitszügen und anderen Bereichen eingesetzt und haben ein enormes Marktpotenzial.

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