Was sind Silizium-Wafer-Flats?
PAM XIAMEN bietet Silizium-Wafer-Flats an
Denn Siliziumwafer sehen grundsätzlich gleich aus! In den Rand der Wafer werden Abflachungen geschnitten, damit Benutzer den Dotierstofftyp und die Ausrichtung des Wafers bestimmen können.
Nachfolgend finden Sie ein Beispiel für flache Spezifikationen für Siliziumwafer:
| Spec. | 2” | 3" | 100mm | 125mm | 150mm | 200mm | 300mm | |
| Durchmesser | 2.000+/-.015” | 3.000+/-.025” | 100 +/- 0,5 mm | 125 +/- 0,5 mm | 150 +/- 0,2 mm | 200 +/- 0,2 mm | 300 +/- 0,2 mm | |
| 50,8 +/- 0,38 mm | 76,2 +/- 0,63 mm | |||||||
| Dicken s | 0.011+/-.001” | 0,015 +/- 0,001 Zoll | 525+/-20 um bzw | 625 +/- 20um | 675+/-20um bzw | 725 +/- 20um | 775 +/- 20um | |
| 279+/-25um | 381+/-25um | 625 +/- 20um | 625 +/- 15 um | |||||
| Primäre flache Länge | 0,625 +/- 0,065 Zoll | 0,875 +/- 0,125 Zoll | 32,5 +/- 2,5 mm | 42,5 +/- 2,5 | 57,5 +/- 2,5 mm | Kerbe | Kerbe | |
| 15,88 +/- 1,65 mm | 22,22 +/- 3,17 mm | |||||||
| Sekundär y | 0,315 +/- 0,065 Zoll | 0,44 +/- 0,06 Zoll | 18,0 +/- 2,0 mm | 27,5 +/- 2,5 | 37,5 +/- 2,5 mm | |||
| Flache Länge | 8 +/- 1,65 mm | 11,18 +/- 1,52 mm | ||||||
| Lage der Hauptwohnung | {110}+/-1 Grad | {110}+/-1 Grad | {110}+/-1 Grad | {110}+/-1 Grad | {110}+/-1 Grad | {110}+/-1 Grad | {110}+/-1 Grad |
Aber Flats sind kein universeller Standard. Sie können jeden beliebigen Siliziumbarren bestellen und die Anlage jede Art von Flats aus dem Wafer schneiden lassen. P/Bor (100)-Siliziumwafer können also nur eine Abflachung haben.
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Xiamen Powerway Advanced Material Co., Ltd (PAM-XIAMEN) wurde 1990 gegründet und ist ein führender Hersteller von Halbleitermaterialien in China. PAM-XIAMEN entwickelt fortschrittliche Kristallwachstums- und Epitaxietechnologien, Herstellungsverfahren, technische Substrate und Halbleiterbauelemente. PAM-XIAMEN's Technologien ermöglichen eine leistungsfähigere und kostengünstigere Herstellung von Halbleiterwafern.
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