Estructura de Epi basada en GaAs MOCVD cultivada para emisor de luz

Estructura de Epi basada en GaAs MOCVD cultivada para emisor de luz

Estructuras de alta calidad basadas en GaAs de PAM-XIAMEN, una de las principales fabricantes de obleas epitaxiales se proporcionan para la investigación, desarrollo y (potencialmente) posterior comercialización de emisores de luz de muy alta eficiencia para aplicaciones termofotónicas. En particular, los materiales de estructura de epi basados ​​en GaAs disponibles comercialmente se ofrecen con una vida útil prolongada (hasta un rango de microsegundos en estructuras de celosía InGaP / GaAs / InGaP) y una calidad constante. El material para una termografía de bloqueo se puede caracterizar mediante enfoques basados ​​en termometría eléctrica, óptica e infrarroja. Puedes ofrecer la estructura de tu Oblea de epi de GaAs personalizar. Para obtener más información sobre nuestras especificaciones, consulte lo siguiente:

Estructura Epi basada en GaAs

1. Estructura de la oblea epitaxial basada en GaAs para emisores de luz

PAMP16196-GAAS

Capa Materiales Concentración Espesor
1 Sustrato de GaAs tipo n pulido simple / sustrato de GaAs tipo p pulido doble
2 tampón p-GaAs No es crucial 100 nm
3 Capa de contacto de p-GaAs
4 p-AlAs
5 p-GaAs
6 n-GaAs
7 n-GaAs
8 n-AlAs
9 n-AlxGeorgia1-xComo
10 n-AlxGeorgia1-xComo
11 i-GaAs intrínseco
12 camaradaxGeorgia1-xComo
13 camaradaxGeorgia1-xComo
14 Capa de contacto de p-GaAs 20nm

 

2. Acerca del crecimiento epitaxial del diodo GaAs

Para la estructura epi de diodo, el método epi adoptado es MOCVD, no MBE. Nuestro objetivo es los materiales con la mayor eficiencia cuántica posible y las interfaces de capa más suaves posibles, por lo que podemos elegir el método de crecimiento MOCVD o MBE dependiendo de las capacidades de nuestros sistemas de crecimiento para proporcionar material de la mejor calidad.

Examinaremos la calidad del cristal mediante HR-XRD, mediremos la uniformidad de la resistencia de la hoja y el mapeo PL para las estructuras epitaxiales de GaAs.

Aquí están las asignaciones PL de obleas epitaxiales en un sustrato de GaAs tipo n & p:

PL de la estructura de GaAs tipo N

PL de la estructura de GaAs tipo N

PL de estructura de GaAs tipo P

PL de estructura Epi de GaAs de tipo P

3. Acerca del sustrato tipo P y tipo N para la estructura Epi basada en GaAs anterior

Con respecto a las depiladoras de GaAs enumeradas anteriormente, normalmente, la EPD del sustrato de tipo p es mayor que la del sustrato de tipo n. Entonces, para esta estructura de epi-capa, el sustrato de tipo n también se puede usar para el crecimiento de depiladoras. Si solo se describe a partir de la estructura del material, el sustrato tipo p es la elección lógica. Además, la epitaxia basada en GaAs está destinada a fabricar una estructura de doble diodo y evaluar la eficiencia cuántica de acoplamiento en los dispositivos fabricados. El grabado en húmedo se utiliza para la fabricación del dispositivo con casi todas las capas grabadas con la solución selectiva del cliente. Por lo tanto, a partir de la estructura del material y el proceso del dispositivo, el sustrato P de 0 grados con EPD inferior a 900 / cm2 es una buena opción.

Pero algunos de los clientes están interesados ​​en la eficiencia cuántica (QE) de los dispositivos; quieren ver el efecto de la EPD del sustrato en el rendimiento del dispositivo, lo que se puede lograr haciendo crecer la estructura epi de arseniuro de galio en un sustrato tipo N con una EPD presumiblemente más baja (menos de 100 / cm2). Si bien la posibilidad no es ideal ya que el sustrato ya no participa en la propagación de la corriente y las pérdidas resistivas aumentan un poco, debería estar bien para el propósito de la estructura de diodo doble debido a la capa gruesa de tipo p en la parte superior del sustrato. Por tanto, en este caso, se pueden usar GaAs (100) de sustrato de 15 grados y sustrato de tipo n de 0 grados. Si el sustrato n de 0 grados no tiene una EPD sustancialmente mayor o si simplifica el proceso de crecimiento epitaxial, el sustrato n de 0 grados sería ligeramente preferido.

PowerwayOblea

Para obtener más información, contáctenos por correo electrónico a [email protected] y [email protected].

Compartir esta publicacion