niobato de litio (LiNbO3) es un compuesto de niobio, de litio, y el oxígeno. Sus cristales individuales son un material importante para guías de onda ópticas, teléfonos móviles, sensores piezoeléctricos, moduladores ópticos y varios otros cristales applications.Single ópticos lineales y no lineales de niobato de litio que se puede cultivar utilizando el proceso de Czochralski. A Z-corte, de un solo cristal de litio niobato oblea. Después se cultiva un cristal, se corta en obleas de orientación diferente. orientaciones comunes son Z-corte, corte en X, Y de corte, y los cortes con ángulos rotados del eje anterior.
Powerway oblea Co., Limited se completa la implantación de iones y la molienda plataforma de proceso de división + y ofrece la implantación de obleas 3-6 pulgadas, unión, descamación.
Productos regulares | Estructura | Observación |
LNOI (50-1000nm espesor de la capa superior) |
Single-LN Cristal de película delgada SiO2(2 micras) LN sustrato (500μm) |
Gran diferencia de índice de refracción Aplicación: moduladores electro-ópticos, ópticos guías de ondas, resonadores, dispositivos SAW, dispositivos de memoria FRAM |
LN sobre el Si con SiO2 (50-1000nm espesor de la capa superior) |
Single-LN Cristal de película delgada SiO2 Si Sustrato (400 o 500μm) |
Gran diferencia de índice de refracción Integración con silicio Aplicación: moduladores electro-ópticos, ópticos guías de ondas, resonadores, dispositivos SAW, dispositivos de memoria FRAM |
LT enSi (5-50μm espesor de la capa superior) |
Single-Crystal LT película fina Si sustrato |
contacto directo Intergration con silicio dispositivos SAW: Aplicación |
LN sobre Si (5-50μm espesor de la capa superior) |
Single-LN Cristal de película delgada Si sustrato |
contacto directo Intergration con silicio dispositivos SAW: Aplicación |
LT sobre SiO2/Si (50-1000nm espesor de la capa superior) |
Single-Crystal LT película fina SiO2 Si sustrato |
El aumento de las propiedades piroeléctricos Aumento de la sensibilidad de los dispositivos piroeléctricos Aplicación: sensores piroeléctricos, dispositivos SAW |
MgO dopado LN (50-1000nm espesor de la capa superior) |
MgO dopado LN película fina SiO2 LN sustrato |
Resistente a demage óptico Capacidad de soportar alta intensidad de la luz Inclinación a la polarización de película fina Aplicación: moduladores electro-ópticos, la generación de Terahertz |
LN con electrodo (50-1000nm espesor de la capa superior) |
LN película fina SiO2 De electrodo o (100 nm) LN sustrato |
Solicitud: moduladores electro-ópticos Ópticos guías de ondas resonadores |
LN película fina de electrodo o SiO2 LN sustrato |
Solicitud: dispositivos SAW dispositivos de memoria FARM |
Especificación de los productos de la serie LNOI | |
Top LN capa funcional | |
Diámetro | 3″(76,2 mm)/4″(100 mm) |
Espesor | 50 ~ 1000nm |
índice de reflexión | no≈±2.2860 |
ne≈±2.2024 | |
Exclusión Edge | 5mm |
Orientación | Z, X, Y, Y-128 ° etc. |
Los huecos | <10 |
TTV | ± 5% |
capa de aislamiento | |
Método de preparación | PECVD, óxido térmico |
Espesor | 1000 ~ 4000nm |
Índice de reflexión | 1.46 ~ 1.48 |
TTV | ± 5% |
sustrato opcional | |
Si, LN, cuarzo, vidrio | |
Opcional electrodo en capa (por encima o debajo de SiO2 capa de aislamiento) | |
Material | Pt / Au |
rango de espesores | 100 ~ 400 nm |
Vea a continuación las especificaciones de detalle:
Piezoeléctrico LiNbO3 oblea
1. Requisitos generales LN cristal de la oblea: cristal piezoeléctrico
Orientación: Para ser conforme a lo solicitado ± 0,20, salvo que se especifique.
Diámetro: (1) Φ76.2 ± 0,5 mm (2) Φ100.0 ± 0,5 mm
Espesor: (1) 0,50 ± 0,05 mm (2) 0,35 ± 0,03 mm
Bow: ≤ 40um
Taper: ≤ 20um
posición plana Identificación y longitud es ser como sigue
Primaria plana Ubicación: debe ser de ± 0,20, salvo que se especifique.
Primary plana Longitud: (1) 22 ± 2 mm (2) 32 ± 2 mm menos que se especifique.
Secondary plana Longitud: (1) 10 ± 3 mm (2) 12 ± 3 mm menos que se especifique.
Superficie de alta calidad polaco:
Polaco superficie: espejo pulido 10-15A
Parte trasera polaco: bañado con GC240 o arena de diamante GC1000 y grabado.
Chips de borde: redondeo de bordes
Temperatura de Curie. : 1.142 ± 30 ° C
2. oblea individual Orientación Requisito "especial":
1) Orientación: 127.860Y ± 0,20
dirección plana primario: X-eje.
Secundaria plana: ninguno
640Y de corte
2) Orientación: 640Y ± 0,20
dirección plana primario: eje X
econdary plana: 1800 agujas del reloj desde el plano principal, si es necesario.
3) YZ-corte
Orientación: Y-eje ± 0,20
dirección plana primario: eje Z
Secondary Flat: eje X
oblea LiNbO3 3.Optical
Cristal Orientación: X, Z
Orientación Fluctuación: ± 0,30, se pulieron dos extremos de cristal.
Diámetro: 76,2 ± 0,5 mm
Longitud: 50 ~ 80 mm.
Curie Temp.1142 ± 20C
Orientación del primer plano de referencia: Según los requisitos ± 0,20.
Duración del primer plano de referencia: inspección de 22 ± 2 mm pulido.
Segundo plano de referencia: disponible, si es necesario, la duración será de 10 ± 3 mm
Apariencia: Libre de grietas, poros, la inclusión.
características 4.Optical:
gama transparente: 370-5000nm
Índice de refracción: (633 nm) no = 2,286 ne = 2,200
gradiente de refracción (633 nm) ≤5 × 10-5 / cm
Transmisividad (633 nm) ≥68%
índice Briefringence: △ n = no - ne≈0.08
Piezoelectrónicos cuarzo oblea
Requisitos 5.General cuarzo de la oblea:
Diámetro: (1) Φ76.2 ± 0,5 mm
Espesor: (1) 0,35 ± 0,05 mm (2) 0,40 ± 0,05 mm (3) 0.50 ± 0.05 mm
Bow: ≤ 40um
Taper: ≤ 20um
Orientación: Para ser conforme a lo solicitado ± 0,20, salvo que se especifique.
posición plana Identificación y longitud es ser como sigue:
Primaria plana Ubicación: debe ser de ± 0,20, salvo que se especifique.
Primaria plana Longitud: 22 ± 2 mm menos que se especifique.
Secondary plana Longitud: 10 ± 3 mm menos que se especifique.
Superficie de alta calidad polaco:
Polaco superficie: espejo pulido 10-15A
Parte trasera polaco: bañado con GC600 o arena de diamante GC1200 y grabado.
Chips de borde: redondeo de bordes
Semilla Ubicación: Ser dentro del centro de 6.5mm de la oblea o no es necesario.
Q Factor: geq 2 millones min.
6.Individual oblea Orientación Requisito "especial":
1) 360Y-cu
Orientación: 360Y ± 0,20
dirección plana primario: X-eje.
Flat secundario: Dos plana, 90 y 270 de plano theprimary si es necesario.
340Y de corte
2) Orientación: 340Y ± 0,20
dirección plana primario: eje X
Secundaria plana: 900 en sentido horario desde el piso principal, si es necesario.
42.750Ycut
3) Orientación: 42.750Y ± 0,20
dirección plana primario: eje X
7.lithium tantalato
1) Requisitos generales LT cristal de la oblea:
Diámetro: (1) Φ76.2 ± 0,5 mm (2) Φ100.0 ± 0,5 mm
Espesor: (1) 0,50 ± 0,03 mm (2) 0,40 ± 0,03 mm
Bow: ≤ 40um
Taper: ≤ 20um
Orientación: Para ser conforme a lo solicitado ± 0,20, salvo que se especifique.
posición plana Identificación y longitud es ser como sigue:
Primaria plana Ubicación: debe ser de ± 0,20, salvo que se especifique.
Primary plana Longitud: (1) 22 ± 2 mm (2) 32 ± 2 mm menos que se especifique.
Secondary plana Longitud: (1) 10 ± 3 mm (2) 12 ± 3 mm menos que se especifique.
8.Surface Calidad polaco:
Polaco superficie: espejo pulido 10-15A
Parte trasera polaco: bañado con arena GC1200 diamante y grabado.
Chips de borde: redondeo de bordes
Temperatura de Curie. : 605 ± 30 ° C
oblea individual Orientación Requisito "especial":
1) 360Y de corte
Orientación: 360Y ± 0,20
dirección plana primario: X-eje.
Secundaria plana: ninguno
2) 420Y de corte
Orientación: 420Y ± 0,20
dirección plana primario: X-eje.
Secondary Flat: 1800 agujas del reloj desde el plano primario si se requiere.
X-1120Ycut
Orientación: eje X ± 0,20
dirección plana primario: + 1120Y
9.Piezoelectronic cuarzo oblea
Requisitos Generales de cuarzo de la oblea:
Diámetro: (1) Φ76.2 ± 0,5 mm
Espesor: (1) 0,35 ± 0,05 mm (2) 0,40 ± 0,05 mm (3) 0.50 ± 0.05 mm
Bow: ≤ 40um
Taper: ≤ 20um
Orientación: Para ser conforme a lo solicitado ± 0,20, salvo que se especifique.
posición plana Identificación y longitud es ser como sigue:
Primaria plana Ubicación: debe ser de ± 0,20, salvo que se especifique.
Primaria plana Longitud: 22 ± 2 mm menos que se especifique.
Secondary plana Longitud: 10 ± 3 mm menos que se especifique.
10.Surface Calidad polaco:
Polaco superficie: espejo pulido 10-15A
Parte trasera polaco: bañado con GC600 o arena de diamante GC1200 y grabado.
Chips de borde: redondeo de bordes
Semilla Ubicación: Ser dentro del centro de 6.5mm de la oblea o no es necesario.
Q Factor: geq 2 millones min.
oblea individual Orientación Requisito "especial":
1) 360Y-cu
Orientación: 360Y ± 0,20
dirección plana primario: X-eje.
Flat secundario: Dos plana, 90 y 270 de plano theprimary si es necesario.
2) 340Y de corte
Orientación: 340Y ± 0,20
dirección plana primario: eje X
Secundaria plana: 900 en sentido horario desde el piso principal, si es necesario.
3) 42.750Ycut
Orientación: 42.750Y ± 0.20
dirección plana primario: eje X
4) Otros disponibles, si es necesario
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