12″ Test Grade Silicon Wafer
PAM-XIAMEN ofrece obleas de silicio desnudas de 300 mm (12 pulgadas) simuladas, grado de prueba, tipo n o tipo p. En comparación con otros proveedores de obleas de silicio, Powerway Wafer ofrece un servicio profesional con precios competitivos.
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Descripción del Producto
PAM-XIAMEN ofrece oblea de silicio de prueba tipo P o tipo N de 300 mm (12 pulgadas). El espesor de la oblea de prueba de silicio es de 775 ± 25 μm. En comparación con otros proveedores de obleas de silicio, Powerway Wafer ofrece un servicio profesional con precios competitivos.
1. Especificación de la oblea de silicio de prueba
| Parámetros | Valor |
| tipo de lingote | Cultivado según el método Czochralski. |
| Diámetro, mm | 300 ± 0,2 |
| dopante | B (boro) |
| Tipo de conductividad | P |
| Oxígeno máximo, ANTIGUO-PPMA | 40 |
| Carbono, PPMA | 1 |
| Prueba de orientación del cristal de oblea de silicio | <100> |
| Desviación de la orientación superficial predeterminada del plano cristalino, grados | 1 |
| Resistividad de volumen, Ohm · cm | 10-40 |
| Muesca primaria | Sí |
| Ubicación de la muesca | 110 |
| Tamaño de muesca, mm | 2,3 |
| Forma de muesca | V |
| Espesor de la oblea, micras | 775±25 |
| Tipo de marcado | Láser |
| Ubicación del marcado láser de silicio | parte trasera |
| Perfil de borde | por SEMI T/4 |
| Arañazos en la parte delantera | ausente |
| Pulido frontal | si |
| Pulido de la parte trasera | si |
| Cambio total en el espesor de la oblea (TTV), micrómetros | 5 |
| Deflexión (WARP), micras | 60 |
| El número de partículas en una superficie mayor de 0,09 micrones. | 50 |
| Contenido superficial de aluminio, E10AT/CM2 | 1 |
Requisitos de embalaje:
| Parámetros | |
| Tipo de embalaje | MW300GT-A |
| Material del contenedor interior | Polietileno |
| Material de embalaje exterior | Aluminio |
| Número de piezas en un paquete | 25 |
| Reutilizabilidad | si |
2. Pruebe el uso de obleas de silicio
Las obleas de silicio de más de 150 mm se clasifican en obleas de prueba mecánicas (ficticias) y obleas de prueba de proceso, y los estándares de la industria de obleas de silicio de prueba se encuentran en los siguientes estándares SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International, una asociación global de semiconductores que ofrece equipos, materiales y servicios para fabricación mundial de semiconductores, fotovoltaicos (PV), LED, MEMS y pantallas planas (FPD), así como micro y nanotecnologías).
3.Acerca del grado de prueba de oblea de silicio
Sin embargo, diferentes aplicaciones han requerido diferentes parámetros para la oblea de prueba mecánica o de proceso:
Obleas de silicio de grado de prueba de proceso
Process Silicon Wafer Test Grade, se llama Monitor wafer, que es para el monitoreo de procesos y algunas aplicaciones de procesamiento en la fabricación de obleas. La fábrica de obleas también utiliza obleas de prueba de monitorización para evaluar la limpieza del equipo, respaldar la medición de partículas o evaluar la contaminación metálica, etc.
Oblea de silicio ficticia
La oblea de silicio ficticia, también llamada oblea de prueba de grado mecánico, sirve para probar equipos únicamente en cuanto a características dimensionales y estructurales de la oblea, que se utiliza para realizar pruebas de manejo de automatización de equipos, maratones de confiabilidad y pruebas de software, y evaluar el rendimiento de interoperabilidad del hardware de manejo de obleas.
Además, las fábricas de obleas de silicio utilizan obleas de prueba de silicio de grado mecánico para procesar aplicaciones de desarrollo que no son sensibles a partículas ni defectos.
Obleas de silicio de grado de partículas de prueba
Las obleas de silicio de grado de partículas de prueba son para monitores de prueba de partículas para medir partículas de oblea para aplicaciones, como procesos CVD y ALD.
Según el estándar SEMI, las partículas de oblea de silicio deben ser <0,6 partículas@>0,125 μm/cm2 y <0,15 partículas@>0,25 μm/cm2 para procesos de 250 nm y uso de reglas de diseño de 130 nm, las obleas de 300 mm deben tener ≤60 LLS@>=90 nm. para proceso de 130 nm.
Obleas de silicio para fotolitografía o prueba de patrones
Pruebe las obleas de silicio para fotolitografía o la prueba de patrones se centra principalmente en los requisitos de variación del espesor de la oblea, TTV, WARP, BOW y planitud. Por ejemplo, un diseño de matriz de oblea de 250 nm, su correspondiente estándar SEMI M24: planitud por sitio (SFSR) de ≤ 0,2 μm en un tamaño de sitio de 25 x 25 mm.
Grado de hornoPruebaSilicioObleas
El semiconductor de oblea de prueba de grado de horno tiene requisitos estrictos para las características eléctricas, pero no un rendimiento estricto de las partículas.
La resistividad de la oblea de silicio de prueba de grado de horno debe ser superior a 1 ohmio cm y estar dopada de manera muy uniforme con una vida útil> = 200 us.
Además, en las obleas de grado de horno se controla estrictamente el contenido de oxígeno y carbono, así como el gradiente de resistividad radial.
Virgen Obleas de prueba
Las obleas de silicio de prueba virgen no se utilizan en la fabricación de semiconductores, sino para la monitorización del proceso de obleas según SEMI M8-93.
Oblea de silicio de grado solar
En comparación con la oblea de silicio de grado IC, la oblea de silicio de grado solar tiene requisitos más bajos.
su pureza es >=99,9999% mientras que la pureza en grado IC es >=99999999,99%
4. Preguntas frecuentes:
P:¿Cuál es la diferencia entre oblea de silicio Prime, Test y Dummy?
A:La oblea de silicio de primera calidad es la oblea de silicio de mejor calidad para la fabricación de obleas formales y la fotolitografía.
La oblea de silicio de prueba es la oblea de silicio para pruebas de equipos o gestión y pruebas de fábricas.
La oblea de silicio de grado ficticio es la oblea de silicio para la evaluación del proceso de producción o medida de seguridad en la línea de producción.
En comparación con la oblea de silicio de grado de prueba, los parámetros de la oblea de silicio de grado ficticio son mucho más fáciles o sueltos para probar equipos en busca de características estructurales y dimensionales de la oblea únicamente. Pero a veces no es tan estricto distinguir.
PAM-XIAMEN puede ofrecerle soporte tecnológico y de obleas.
Para obtener más información, por favor visite nuestro sitio web:https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,
envíenos un correo electrónico aventas@powerwaywafer.comypowerwaymaterial@gmail.com
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