PAM XIAMEN ofrece sustrato de oblea de ZnO monocristalino sin dopar o dopado con Ga, que se cultiva mediante un método hidrotermal a alta presión. Hay dos estructuras principalmente en oblea de ZnO: wurtzita hexagonal y blenda de zinc cúbica, lo que ofrecemos es wurtzita hexagonal.
1.Propiedades de la oblea de ZnO:
1.1 Propiedades generales del sustrato monocristalino de ZnO
| Pureza % en peso | > 99.99 |
| Impureza: % en peso | Mg: <.0005 Al: < .0030 Si: 0.0030 Ti: .0010 Cu: < .0030 Fe: < 0,005 Ca: < ,0005 Ag: < ,0002 |
| Estructura cristalina | Hexagonal: a= 3.252 å , c = 5.207 å |
| parámetros de red | a = 3.252Å c = 5,313 Å |
| Método de crecimiento | hidrotermal |
| Dureza | 4 escala moh |
| Densidad | 5,7g/cm3 |
| Punto de fusión | 1975 oC |
| Calor especifico | 0,125 cal/g |
| Constante termoeléctrica | 1200 mV /oK @ 300 oC |
| Conductividad térmica | 0,006 cal/cm/bien |
| Coeficiente de expansión térmica (CTE) | 6,5 x 10^-6 /℃ a lo largo de un eje 3,7 x 10^-6 /℃ a lo largo del eje c |
| coeficiente de Seebeck | 0,006 Cal / cm / K |
| Rango de transmisión | 0,4 – 0,6 m > 50 % a 2 mm |
| densidad de dislocaciones | <0001> plano <100 / cm2 |
Sustrato estándar 2.0
| Orientación | <0001>, <11-20>, <10-10>± 0,5o u orientación personalizada |
| Superficie pulida | EPI pulido en uno o dos lados, Ra < 5 Å |
| Tamaño estándar | 5x5mm,10×10mm,20×20mm y 25×25mm |
| Espesor | 0,35 mm, 0,5 mm y 1,0 mm |
| Rugosidad de la superficie | Ra < 5A (medida de rugosidad superficial AFM) |
| pulido de superficies | Pulido de un solo lado (SSP) o pulido de dos lados (DSP) |
2-1. Sustratos de obleas de ZnO sin dopar: placa C
ZnO (0001) 5x5x0,5 mm, cara O 1SP
ZnO (0001) 10x10x0.5mm, 1sp Zn-Face Pulido
ZnO (0001) 5x5x0.2mm, 2sp
ZnO (0001) 5x5x0.5mm, 1sp Zn cara pulida
ZnO (0001) 5x5x0.5mm, 2sp
ZnO (000-1) 10x10x0,2 mm, 1sp O-face pulido
ZnO (000-1) 10x10x0.5mm, 1sp O-Face Pulido
ZnO (0001) 10x10x0,5 mm, 2 sp
ZnO (000-1) 10x10x1,0 mm, 1sp Oxygen-face pulido
ZnO (0001) 10x10x1,0 mm, 1sp Zn-face pulido
ZnO (0001) 10x10x1,0 mm, 2 sp
ZnO (000-1) 20x20x0,2 mm, 1sp O-face pulido
ZnO (000-1) 20x20x0.5mm, 1sp O-Face Pulido
ZnO (0001) 20x20x0,5 mm, 2 sp
ZnO (000-1) 20x20x1,0 mm, 1sp Oxygen-face pulido
ZnO (0001) 20x20x1,0 mm, 1sp Zn-face pulido
ZnO (0001) 20x20x1,0 mm, 2 sp
ZnO (0001) 25,4 diá. x0.5mm, doble cara pulida (Zn-face epi pulido)
2-2. Sustrato de oblea de ZnO sin dopar: una placa
ZnO (11-20) Plano A 5x5x0.5mm, 1sp
ZnO (11-20) plano A 5x5x0,5 mm, 2 sp
ZnO (11-20) plano A 10x10x0,5 mm, 1 sp
ZnO (11-20) plano A 10x10x1,0 mm, 1sp
ZnO (11-20) plano A 10x10x1,0 mm, 2 sp
ZnO (11-20) plano A 10x10x0,5 mm, 2v
2-3. Sustratos de obleas de ZnO sin dopar: placa M
ZnO (1-100) plano M 5x5x0.5mm, 1sp
ZnO (1-100) Plano M 5x5x0.5mm, 2sp”
ZnO (1-100) plano M 10x10x0,5 mm, 1sp
ZnO (1-100) plano M 10x10x0,5 mm, 2 sp
2-4. Oblea de ZnO sin dopar — (10-10)
ZnO (10-10) 10x10x0.5mm, 1sp
ZnO (10-10) 10x10x0,5 mm, 2 sp
2-5. Oblea de ZnO dopada con Ga
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
Ga:ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, cara de Zn 1sp pulida
ZnO (0001), tipo N+, dopado con Ga, 5x5x0,5 mm, cara O 1SP
ZnO (0001), tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, 1sp Zn-Face Pulido
ZnO (0001), tipo N+, dopado con Ga, 5x5x0,2 mm, 2 sp
ZnO (0001), tipo N+, dopado con Ga, 5x5x0,5 mm, 1sp Zn cara pulida
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 5x5x0,5 mm, 2 sp
ZnO (000-1) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,2 mm, 1sp O-face pulido
ZnO (000-1) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, 1sp O-Face Pulido
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x0,5 mm, 2 sp
ZnO (000-1) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x1,0 mm, 1 sp Oxygen-face pulido
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x1,0 mm, 1sp Zn-face pulido
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 10x10x1,0 mm, 2 sp
ZnO (000-1) 20x20x0,2 mm, 1sp O-face pulido
ZnO (000-1) tipo N+, dopado con Ga, 20x20x0,5 mm, 1sp O-Face Pulido
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 20x20x0,5 mm, 2 sp
ZnO (000-1) tipo N+, dopado con Ga, 20x20x1,0 mm, 1 sp Oxygen-face pulido
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 20x20x1,0 mm, 1sp Zn-face pulido
ZnO (0001) tipo N+, dopado con Ga, 20x20x1,0 mm, 2 sp
3. Resistividad de la oblea de ZnO:
Para sustratos de ZnO sin dopar de alta pureza, la resistividad puede ser de 100~500 ohm.cm o (0.1~1) ohm.cm. debido a diferentes métodos de proceso de crecimiento. Para la oblea de ZnO dopada con Ga, la resistividad debe ser (0,1~1) ohm.cm.
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