Les plaquettes de diamant de PAM-XIAMEN sont des produits à l'échelle d'une plaquette qui sont utilisés pour exploiter l'énorme potentiel des matériaux diamantés, tels que les tests tribologiques, les applications de traitement uniques à l'échelle nanométrique et le développement de MEMS. Sur le marché actuel des plaquettes de diamant, il existe des plaquettes de diamant de trois qualités, des plaquettes de diamant de qualité microélectronique, des plaquettes et des tranches de diamant de qualité thermique et des plaquettes de diamant de qualité optique :

1. Plaquette de diamant de qualité microélectronique pour WaprèsFabrification

Les tranches peuvent être expérimentées avec les propriétés remarquables du diamant, et les spécifications, telles que la cohérence des performances, l'arc et l'épaisseur, répondent à celles du niveau de base de la tranche, ce qui peut faire en sorte que le tranchage des tranches de fil de diamant s'insère directement dans le processus de fonderie MEMS.

Le substrat composite préparé par le film de diamant mince/substrat hétérogène a non seulement les performances de conductivité thermique élevées du diamant, mais réduit également le coût du film de diamant épais, qui peut être directement utilisé pour le substrat épitaxial du matériau semi-conducteur à large bande interdite et le croissance des matériaux. Le facteur de dissipation thermique est directement pris en compte à partir du matériau épitaxial lui-même, qui est également une direction de développement majeure pour les dispositifs semi-conducteurs à l'avenir. Les matériaux de tranche semi-conductrice se développent tous dans les tranches de grande taille, ce qui nécessite que le matériau de tranche de monocristal de diamant soit de grande taille et de haute qualité. Dans le même temps, les excellentes performances de dissipation thermique peuvent améliorer les performances de l'appareil.

1.1 Spécification de la plaquette de diamant de qualité microélectronique

Plaquette de diamant polycristallin n ° 1

Plaquette de diamant	Diamant polycristallin
Procédé de croissance	MPCVD
Epaisseur wafer	0~500um+/-25um
Taille de la plaquette	1 cm * 1 cm; 2 pouces; Douane
Rugosité de surface	Ra < 1 nm
FWHM （D111）	0.354
Coefficient de dilatation thermique	1,3 × 10 ^ -6 K ^ -1
Conductivité thermique	>1000W/mK

 1.2 Flux de fabrication de la plaquette de diamant de qualité microélectronique

1,3 spectres XRD de plaquette de diamant CVD de 2 pouces

L'orientation primaire des facettes cristallines des films de diamant CVD est le plan (111).

1,4 spectres Raman de plaquette de diamant CVD de 2 pouces

Il n'y a qu'un seul pic de diamant à 1333,48 cm-1.

1,5 micrographies SEM ( × 1k) de la plaquette de diamant de 2 pouces après polissage grossier

1.6 Micrographies AFM de la tranche de diamant de 2 pouces après polissage grossier

Image Ra = 137 nm avec une zone de balayage de 5 x 5 μm2.

1,7 micrographies SEM (× 1k) de la plaquette de diamant polycristallin de 2 pouces après le polissage de finition

1.8 Micrographies AFM de la tranche de diamant de 2 pouces après le polissage de finition

Image Ra = 0,278 nm avec la zone de balayage de 5 x 5 μm2.

Image Ra = 0,466 nm avec une zone de balayage de 15 x 15 μm2.

1.9 Résultats EDS pour les films polis

Le contenu des éléments sur la zone polie est entièrement en carbone. Aucune contamination métallique de la plaque de polissage.

1.10 Résultats XPS pour les films polis

2. Plaquettes et tranches de diamant de qualité thermique

Le diamant présente la conductivité thermique la plus élevée parmi tous les matériaux. Sa conductivité thermique peut atteindre 2000 W/mK, ce qui est beaucoup plus élevé que celui du cuivre. Par conséquent, les plaquettes et les tranches coupées au fil de diamant deviennent de plus en plus populaires dans la gestion thermique en tant que dissipateurs thermiques, dissipateurs thermiques, métallisation à motifs lithographiques, isolation électrique entre la métallisation supérieure et inférieure, fentes anti-stress pour un montage sans contrainte, etc.

dissipateurs de chaleur de diamant CVD de différentes formes et les paramètres typiques sont les suivants:

Article	Valeur
Diamètre	80 mm, ou petite taille telle que 5 * 5 mm2
Épaisseur disponible	0.3mm
Tolérance d'épaisseur	﹢/-0.02mm
Processus	Plasma à arc DC
Structure	Polycristallin
Composition chimique	100% C
Densité	3,52 g / cm³
le coefficient de Poisson	0.1
Module d'Young	1000 à 1100 Gpa
Conductivité thermique	C> 1 000 W / mK, B> 1 ​​300 W / mK, A> 1 800 W / mK
Résistance à la traction	> 350 kg / mm²
Dureté Vickers	7 000 à 10 000 kg / mm²
Résistance à la compression	>110GPa
Stabilité thermique	800℃
Résistance à l'usure (rapport d'abrasion)	100 000 ~ 200 000
Stabilité chimique	Insoluble dans les alcalis et les acides
Finition de surface polie	<50 nm
Finition de surface rodée	<0,5 um

3. Plaquette de diamant de qualité optique

Les tranches de diamant de qualité optique sont utilisées comme fenêtre pour les séparateurs de faisceaux infrarouges, les lentilles pour la spectroscopie térahertz et la chirurgie au laser CO2, les fenêtres Brewster pour les applications multispectrales telles que les lasers à électrons libres, les lasers IR à longueurs d'onde multiples ou les systèmes optiques térahertz, pour les unités à réflexion totale atténuée ) spectroscopie, pour les cellules liquides en diamant. Vous trouverez ci-dessous la fiche technique de la plaquette de diamant au niveau optique pour votre référence :

Paramètre	Plaquette de diamant de qualité optique
Taille	(3~50)±1 millimètre
Épaisseur	(100~600)±30 um
Processus de surface	Poli des deux côtés
Rugosité	A<5 nm	B<10 nm	C<30nm

 

Le diagramme suivant montre le taux de transmission du substrat de diamant de qualité optique :

Taux de transmission de la plaquette de diamant

Source: PAM-XIAMEN

Dissipateur de chaleur en diamant

 

 

 

 

 

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