InP wafer
PAM-XIAMEN propose des plaquettes VGF InP (phosphure d'indium) de qualité primaire ou de test, notamment à faible dopage, de type N ou semi-isolantes. La mobilité de la plaquette InP est différente selon le type, faiblement dopé > = 3 000 cm2/Vs, type N > 1 000 ou 2 000 cm2 V.s (dépend de différentes concentrations de dopage), type P : 60 +/- 10 ou 80 +/- 10 cm2/Vs (dépend de différentes concentrations de dopage en Zn) et semi-insultant > 2 000 cm2/Vs, l'EPD de Le phosphure d'indium est normalement inférieur à 500/cm2.
- Description
Description
plaquette InP
PAM-XIAMEN, l'un des principaux fournisseurs de plaquettes InP, propose des plaquettes InP à semi-conducteurs composés -Indium Phosphidequi sont cultivés par LEC (Liquid Encapsulated Czochralski) ou VGF (Vertical Gradient Freeze) en tant que qualité épi-prête ou mécanique avec type n, type p ou semi-isolant. L'orientation de la plaquette InP (111) ou (100) est disponible. Et les dopants peuvent être du soufre, du Sn (étain), du zinc ou des douanes. La marque laser spécifiée au dos de la plaquette InP avec le plat principal. L'orientation avec un léger angle de déviation est disponible, telle que (100)0,075° vers [110]]±0,025°.
Le phosphure d'indium (InP) est un semi-conducteur binaire composé d'indium et de phosphore. Il possède une structure cristalline cubique à faces centrées (« mélange de zinc »), identique à celle du GaAs et de la plupart des semi-conducteurs III-V. Le phosphure d'indium peut être préparé à partir de la réaction du phosphore blanc et de l'iodure d'indium [clarification nécessaire] à 400 °C, également par combinaison directe des éléments purifiés à haute température et pression, ou par décomposition thermique d'un mélange d'un composé de trialkylindium et de phosphure. Les plaquettes de phosphure d'indium sont utilisées dans l'électronique haute puissance et haute fréquence [citation nécessaire] en raison de la vitesse électronique supérieure par rapport aux semi-conducteurs les plus courants, le silicium et l'arséniure de gallium. La taille de la plaquette InP que nous pouvons proposer est de 2", 3" et 4", et l'épaisseur de la plaquette InP sera de 350 ~ 625 um.
Voici la spécification détaillée :
| Article | Caractéristiques | |||
| Dopant | Type N | Type N | Type P | Type SI |
| Type de conduction | faiblement dopé | Soufre | Zinc | fer |
| Diamètre de plaquette | 2″ | |||
| Orientation de la plaquette | (100)±0.5° | |||
| Épaisseur de plaquette | Min : 325 Max : 375 | |||
| Longueur plate principale | 16±2mm | |||
| Longueur plate secondaire | 8±1mm | |||
| Concentration de transporteur | 3×1016cm-3 | (0,8-6)x1018cm-3 | (0,6-6)x1018cm-3 | N / A |
| Mobilité | (3,5-4)x103cm2/V | (1,5-3,5)x103cm2/V | 50-70×103cm2/V | >1000cm2/Vs |
| Résistivité | N / A | N / A | N / A | N / A |
| DEP | <1000cm-2 | <500cm-2 | <1×103cm-2 | <5×103cm-2 |
| TTV | <10um | |||
| ARC | <10um | |||
| CHAÎNE | <12um | |||
| Marquage au laser | à la demande | |||
| Finition de surface | P/E, P/P | |||
| Prêt pour l'épi | oui | |||
| Emballer | Conteneur ou cassette pour une seule plaquette | |||
Spécifications de la plaquette InP de type P 2″
| Article | Paramètre | UdM |
| Matériel | InP | |
| Type de conduite/dopant | SCP/Zn | |
| Grade | Prime | |
| Diamètre: | 50,5 ± 0,4 | millimètre |
| Orientation: | (100)±0.5° | |
| Angle d'orientation : | / | |
| Épaisseur: | Min : 325 Max : 375 | euh |
| Concentration de transporteur : | Min : 0,6E18 Max : 3E18 | cm-3 |
| Résistivité: | Min:/ Max:/ | ohm.cm |
| Mobilité: | Min:/ Max:/ | cm-2/V.sec |
| EPD : | Moy<:1000 Max<:/ | cm-2 |
| TTV : | Max:10 | euh |
| TIR : | Max:10 | euh |
| ARC: | Max:10 | euh |
| Chaîne: | Max:15 | euh |
| Option plate : | E.J. | |
| Orientation plate principale : | (0-1-1) | |
| Longueur à plat primaire : | 16 ± 1 | millimètre |
| Orientation plate secondaire : | (0-11) | |
| Longueur plate secondaire : | 7 ± 1 | millimètre |
| Surface : | Face 1 : polie Face 2 : gravée | |
| Arrondi des bords | 0,25 (conforme aux normes SEMI) | mmR |
| Nombre de particules : | / | |
| Emballer | récipient individuel rempli de N2 | |
| Prêt pour l'épi | Oui | |
| Marquage au laser | Grand plat arrière | |
| Remarque: | Les spécifications spéciales seront discutées séparément | |
Spécification de la plaquette InP 3″
| Article | Caractéristiques | |||
| Dopant | Type N | Type N | Type P | Type SI |
| Type de conduction | faiblement dopé | Soufre | Zinc | fer |
| Diamètre de plaquette | 3″ | |||
| Orientation de la plaquette | (100)±0.5° | |||
| Épaisseur de plaquette | 600±25um | |||
| Longueur plate principale | 16±2mm | |||
| Longueur plate secondaire | 8±1mm | |||
| Concentration de transporteur | ≤3×1016cm-3 | (0,8-6)x1018cm-3 | (0,6-6)x1018cm-3 | N / A |
| Mobilité | (3,5-4)x103cm2/V | (1,5-3,5)x103cm2/V | 50-70×103cm2/V | >1000cm2/Vs |
| Résistivité | N / A | N / A | N / A | N / A |
| DEP | <1000cm-2 | <500cm-2 | <1×103cm-2 | <5×103cm-2 |
| TTV | <12um | |||
| ARC | <12um | |||
| CHAÎNE | <15um | |||
| Marquage au laser | à la demande | |||
| Finition de surface | P/E, P/P | |||
| Prêt pour l'épi | oui | |||
| Emballer | Conteneur ou cassette pour une seule plaquette | |||
Spécification de la plaquette InP 4″
| Article | Caractéristiques | |||
| Dopant | Type N | Type N | Type P | Type SI |
| Type de conduction | faiblement dopé | Soufre | Zinc | fer |
| Diamètre de plaquette | 4″ | |||
| Orientation de la plaquette | (100)±0.5° | |||
| Épaisseur de plaquette | 600±25um | |||
| Longueur plate principale | 16±2mm | |||
| Longueur plate secondaire | 8±1mm | |||
| Concentration de transporteur | ≤3×1016cm-3 | (0,8-6)x1018cm-3 | (0,6-6)x1018cm-3 | N / A |
| Mobilité | (3,5-4)x103cm2/V | (1,5-3,5)x103cm2/V | 50-70×103cm2/V | >1000cm2/Vs |
| Résistivité | N / A | N / A | N / A | N / A |
| DEP | <1000cm-2 | <500cm-2 | <1×103cm-2 | <5×103cm-2 |
| TTV | <15um | |||
| ARC | <15um | |||
| CHAÎNE | <15um | |||
| Marquage au laser | à la demande | |||
| Finition de surface | P/E, P/P | |||
| Prêt pour l'épi | oui | |||
| Emballer | Conteneur ou cassette pour une seule plaquette | |||
Spécification de la plaquette InP dopée S de 6″
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Plaquette monocristalline InP de 6 pouces (150 mm)(PAM07282026) |
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| Paramètre | Évaluer |
| Diamètre | 150 ± 0,3 mm |
| Épaisseur | 675 ± 25 um |
| Méthode de croissance | VGF |
| Grade | Qualité supérieure (prêt pour l'Epi) |
| Dopant | S |
| Orientation | (100)0,075°vers <110>±0,05° |
| Angle d'orientation | 225 |
| Entailler | [010] ±2° |
| Profondeur d'encoche | 1,00-1,25 mm |
| Angle d'encoche | 89°-95° |
| CC | (2-8)E18/cm³ |
| Résistivité | N / A |
| Mobilité | ≥1000cm²/v·s |
| EPD-AVE | ≤2000/cm² |
| TTV | ≤10um |
| TIR | ≤10um |
| Arc | ≤15um |
| Chaîne | ≤15um |
| Marquage au laser | Face avant près de l'encoche |
| Face avant | Brillant |
| Face arrière | Brillant |
| Nombre de particules | N / A |
Test PL (Photoluminescence) dePhosphure d'IndiumTranche
Nous mesurons les plaquettes InP par Peak Lambda, Peak int et FWHM, la cartographie des spectres est la suivante :

À propos de l'application InP Wafer
En tant que nouveau type de matériau semi-conducteur composé, la part de marché des plaquettes InP augmente progressivement. En raison des excellentes propriétés du phosphure d'indium, les performances des dispositifs de source d'alimentation micro-ondes, des amplificateurs micro-ondes et des FET à grille fabriqués sur un matériau InP seront meilleures que celles fabriquées sur des matériaux à base d'arséniure de gallium existants. Les lasers à hétérojonction au phosphure d'indium sont également des sources lumineuses extrêmement prometteuses dans les communications par fibre optique.
La fabrication de plaquettes InP pour des dispositifs, tels que des dispositifs microélectroniques à ondes millimétriques croissantes et des matériaux de dispositifs optoélectroniques pour les communications par fibre optique, est largement utilisée. Avec l'amélioration continue des performances des appareils et la réduction de la taille des appareils, les exigences de qualité pour les plaquettes de phosphure d'indium sont de plus en plus élevées. Par conséquent, le processus de fabrication des plaquettes InP s’optimise progressivement.
Les valeurs typiques sont les données ci-dessous :
| Pic Lambda (nm) | Pic Int | FWHM(nm) |
| 1279.4 | 7.799 | 48.5 |
| 1279.8 | 5.236 | 44.6 |
Plaquette InP faiblement dopée
Phosphure d'indium semi-isolant de première qualité
Plaquette de phosphure d'indium de qualité factice
Couches de points quantiques InAs sur substrat InP
Fiche de données de sécurité de la plaquette de phosphure d'indium
Remarque:
Impossible d'exporter des plaquettes InP sans licence du ministère chinois du Commerce.







