InP wafer

PAM-XIAMEN propose des plaquettes VGF InP (phosphure d'indium) de qualité primaire ou de test, notamment à faible dopage, de type N ou semi-isolantes. La mobilité de la plaquette InP est différente selon le type, faiblement dopé > = 3 000 cm2/Vs, type N > 1 000 ou 2 000 cm2 V.s (dépend de différentes concentrations de dopage), type P : 60 +/- 10 ou 80 +/- 10 cm2/Vs (dépend de différentes concentrations de dopage en Zn) et semi-insultant > 2 000 cm2/Vs, l'EPD de Le phosphure d'indium est normalement inférieur à 500/cm2.

Description

plaquette InP

PAM-XIAMEN, l'un des principaux fournisseurs de plaquettes InP, propose des plaquettes InP à semi-conducteurs composés -Indium Phosphidequi sont cultivés par LEC (Liquid Encapsulated Czochralski) ou VGF (Vertical Gradient Freeze) en tant que qualité épi-prête ou mécanique avec type n, type p ou semi-isolant. L'orientation de la plaquette InP (111) ou (100) est disponible. Et les dopants peuvent être du soufre, du Sn (étain), du zinc ou des douanes. La marque laser spécifiée au dos de la plaquette InP avec le plat principal. L'orientation avec un léger angle de déviation est disponible, telle que (100)0,075° vers [110]]±0,025°.

Le phosphure d'indium (InP) est un semi-conducteur binaire composé d'indium et de phosphore. Il possède une structure cristalline cubique à faces centrées (« mélange de zinc »), identique à celle du GaAs et de la plupart des semi-conducteurs III-V. Le phosphure d'indium peut être préparé à partir de la réaction du phosphore blanc et de l'iodure d'indium [clarification nécessaire] à 400 °C, également par combinaison directe des éléments purifiés à haute température et pression, ou par décomposition thermique d'un mélange d'un composé de trialkylindium et de phosphure. Les plaquettes de phosphure d'indium sont utilisées dans l'électronique haute puissance et haute fréquence [citation nécessaire] en raison de la vitesse électronique supérieure par rapport aux semi-conducteurs les plus courants, le silicium et l'arséniure de gallium. La taille de la plaquette InP que nous pouvons proposer est de 2", 3" et 4", et l'épaisseur de la plaquette InP sera de 350 ~ 625 um.

Voici la spécification détaillée : 

Spécification de la plaquette InP 2″
Article Caractéristiques
Dopant Type N Type N Type P Type SI
Type de conduction faiblement dopé Soufre Zinc fer
Diamètre de plaquette 2″
Orientation de la plaquette (100)±0.5°
Épaisseur de plaquette Min : 325 Max : 375
Longueur plate principale 16±2mm
Longueur plate secondaire 8±1mm
Concentration de transporteur 3×1016cm-3 (0,8-6)x1018cm-3 (0,6-6)x1018cm-3 N / A
Mobilité (3,5-4)x103cm2/V (1,5-3,5)x103cm2/V 50-70×103cm2/V >1000cm2/Vs
Résistivité N / A N / A N / A N / A
DEP <1000cm-2 <500cm-2 <1×103cm-2 <5×103cm-2
TTV <10um
ARC <10um
CHAÎNE <12um
Marquage au laser à la demande
Finition de surface P/E, P/P
Prêt pour l'épi oui
Emballer Conteneur ou cassette pour une seule plaquette

 

Spécifications de la plaquette InP de type P 2″

Article Paramètre UdM
Matériel InP
Type de conduite/dopant SCP/Zn
Grade Prime
Diamètre: 50,5 ± 0,4 millimètre
Orientation: (100)±0.5°
Angle d'orientation : /
Épaisseur: Min : 325 Max : 375 euh
Concentration de transporteur : Min : 0,6E18 Max : 3E18 cm-3
Résistivité: Min:/ Max:/ ohm.cm
Mobilité: Min:/ Max:/ cm-2/V.sec
EPD : Moy<:1000 Max<:/ cm-2
TTV : Max:10 euh
TIR : Max:10 euh
ARC: Max:10 euh
Chaîne: Max:15 euh
Option plate : E.J.
Orientation plate principale : (0-1-1)
Longueur à plat primaire : 16 ± 1 millimètre
Orientation plate secondaire : (0-11)
Longueur plate secondaire : 7 ± 1 millimètre
Surface : Face 1 : polie Face 2 : gravée
Arrondi des bords 0,25 (conforme aux normes SEMI) mmR
Nombre de particules : /
Emballer récipient individuel rempli de N2
Prêt pour l'épi Oui
Marquage au laser Grand plat arrière
Remarque: Les spécifications spéciales seront discutées séparément

 

Spécification de la plaquette InP 3″

Article Caractéristiques
Dopant Type N Type N Type P Type SI
Type de conduction faiblement dopé Soufre Zinc fer
Diamètre de plaquette 3″
Orientation de la plaquette (100)±0.5°
Épaisseur de plaquette 600±25um
Longueur plate principale 16±2mm
Longueur plate secondaire 8±1mm
Concentration de transporteur ≤3×1016cm-3 (0,8-6)x1018cm-3 (0,6-6)x1018cm-3 N / A
Mobilité (3,5-4)x103cm2/V (1,5-3,5)x103cm2/V 50-70×103cm2/V >1000cm2/Vs
Résistivité N / A N / A N / A N / A
DEP <1000cm-2 <500cm-2 <1×103cm-2 <5×103cm-2
TTV <12um
ARC <12um
CHAÎNE <15um
Marquage au laser à la demande
Finition de surface P/E, P/P
Prêt pour l'épi oui
Emballer Conteneur ou cassette pour une seule plaquette

 

Spécification de la plaquette InP 4″

Article Caractéristiques
Dopant Type N Type N Type P Type SI
Type de conduction faiblement dopé Soufre Zinc fer
Diamètre de plaquette 4″
Orientation de la plaquette (100)±0.5°
Épaisseur de plaquette 600±25um
Longueur plate principale 16±2mm
Longueur plate secondaire 8±1mm
Concentration de transporteur ≤3×1016cm-3 (0,8-6)x1018cm-3 (0,6-6)x1018cm-3 N / A
Mobilité (3,5-4)x103cm2/V (1,5-3,5)x103cm2/V 50-70×103cm2/V >1000cm2/Vs
Résistivité N / A N / A N / A N / A
DEP <1000cm-2 <500cm-2 <1×103cm-2 <5×103cm-2
TTV <15um
ARC <15um
CHAÎNE <15um
Marquage au laser à la demande
Finition de surface P/E, P/P
Prêt pour l'épi oui
Emballer Conteneur ou cassette pour une seule plaquette

 

Spécification de la plaquette InP dopée S de 6″

Plaquette monocristalline InP de 6 pouces (150 mm)(PAM07282026)

Paramètre Évaluer
Diamètre 150 ± 0,3 mm
Épaisseur 675 ± 25 um
Méthode de croissance VGF
Grade Qualité supérieure (prêt pour l'Epi)
Dopant S
Orientation (100)0,075°vers <110>±0,05°
Angle d'orientation 225
Entailler [010] ±2°
Profondeur d'encoche 1,00-1,25 mm
Angle d'encoche 89°-95°
CC (2-8)E18/cm³
Résistivité N / A
Mobilité ≥1000cm²/v·s
EPD-AVE ≤2000/cm²
TTV ≤10um
TIR ≤10um
Arc ≤15um
Chaîne ≤15um
Marquage au laser Face avant près de l'encoche
Face avant Brillant
Face arrière Brillant
Nombre de particules N / A

 

Test PL (Photoluminescence) dePhosphure d'IndiumTranche

Nous mesurons les plaquettes InP par Peak Lambda, Peak int et FWHM, la cartographie des spectres est la suivante :

cartographie des spectres de la plaquette InP

 

À propos de l'application InP Wafer

En tant que nouveau type de matériau semi-conducteur composé, la part de marché des plaquettes InP augmente progressivement. En raison des excellentes propriétés du phosphure d'indium, les performances des dispositifs de source d'alimentation micro-ondes, des amplificateurs micro-ondes et des FET à grille fabriqués sur un matériau InP seront meilleures que celles fabriquées sur des matériaux à base d'arséniure de gallium existants. Les lasers à hétérojonction au phosphure d'indium sont également des sources lumineuses extrêmement prometteuses dans les communications par fibre optique.

La fabrication de plaquettes InP pour des dispositifs, tels que des dispositifs microélectroniques à ondes millimétriques croissantes et des matériaux de dispositifs optoélectroniques pour les communications par fibre optique, est largement utilisée. Avec l'amélioration continue des performances des appareils et la réduction de la taille des appareils, les exigences de qualité pour les plaquettes de phosphure d'indium sont de plus en plus élevées. Par conséquent, le processus de fabrication des plaquettes InP s’optimise progressivement.

Les valeurs typiques sont les données ci-dessous :

Pic Lambda (nm) Pic Int FWHM(nm)
1279.4 7.799 48.5
1279.8 5.236 44.6

 

Remarque:

Impossible d'exporter des plaquettes InP sans licence du ministère chinois du Commerce.