Plaquette de verre

Plaquette de verre

Nous sommes l'un des principaux fournisseurs mondiaux de plaquettes de verre, fournissonsplaquettes de verre fines et ultra fineset des substrats constitués de différents matériaux, tels queBorofloat, silice fondue et quartz, BK7, chaux sodéeetc. pourMEMS, fibre optique AWG,Panneaux LCDetSubstrats OLEDapplication. Ces plaquettes sont toutes conformes aux normes SEMI, y compris les spécifications dimensionnelles, plates et d'encoche. Nous proposons également des spécifications personnalisées conçues pour vos besoins uniques, notamment les marques d'alignement, les trous, les poches, le profil des bords, l'épaisseur, la planéité, la qualité de la surface, la propreté ou tout autre détail essentiel à votre application, y compris les semi-conducteurs, la science médicale, les communications, les lasers, l'infrarouge, l'électronique, les instruments de mesure, l'armée et l'aérospatiale.

1. Spécifications de la plaquette de verre

Paramètre La mesure
Diamètre 2″, 4″, 6″, 8″, 10″
Tolérance dimensionnelle ±0,02μm
Épaisseur 0,12 mm, 0,13 mm, 0,2 mm, 0,25 mm, 0,45 mm
Tolérance d'épaisseur ±10μm
Variation d'épaisseur (TTV) < 0,01 mm
Platitude 1/10 vague/pouce
Rugosité de surface (RMS) <1,5 nm
Gratter et creuser 2 mai
La taille des particules <5μm
Arc/Chaîne <10μm
Pour la dimension personnalisée, veuillez nous contacter

 

2. Processus de plaquette de verre

Découpe de plaquettes :les plaquettes vierges sont prêtes grâce aux feuilles épaisses qui sont projetées à l'eau et les blocs sont sciés au fil

Bord au sol :le bord de la tranche est cylindrique mis à la terre sur la station de meulage de bord.

Rodage des plaquettes :la tranche est rodée jusqu'à l'épaisseur désignée.

Polissage des plaquettes :Le polissage de la plaquette lui confère la surface miroir ultra-plate nécessaire à la fabrication.

Nettoyage des plaquettes :il s'agit de l'élimination des impuretés chimiques et particulaires sans altérer ou endommager la surface de la plaquette ou le substrat sur plusieurs lignes de nettoyage.

Inspection des plaquettes :inspecter à différents niveaux de qualité dans les conditions d’éclairage appropriées dans la salle blanche de classe 100.

Emballage des plaquettes :Toutes les plaquettes sont emballées dans des conteneurs à plaquettes individuelles.

Transmission de la plaquette de verre

3. Transmission de la plaquette de verre

Plaquette de verre
Plaquette de verre

Plaquette de verre

Transmission de la plaquette de verre

4. Norme d'inspection des rayures et des fouilles pour les plaquettes de verre

Nous inspectons les lunettes pour détecter les rayures sous une lumière forte (source de lumière parallèle multi-angle) dans une pièce sombre.

Objectif de l'inspection: Pour déterminer s'il y a de fines rayures, des corps étrangers, des microbulles sur la surface du verre.

Contenu de l'inspection: Inspectez la présence de fines rayures sur la surface du verre

Source lumineuse de référence: Source de lumière parallèle multi-angle

Analyse: L'inspection des rayures fines et des corps étrangers sur la surface du verre.

Le verre est un objet hautement réfléchissant et la source de lumière parallèle multi-angle peut éclairer les fines rayures de manière claire et très uniforme.

Scratch/Dig : 60/40 signifie :

60 : largeur de rayure maximale autorisée (largeur 0,06 mm)

40 : diamètre de fouille maximum autorisé (diamètre 0,4 mm)

Pour en savoir plus sur le numéro de scratch ou de fouille, veuillez vous référer au tableau ci-dessous :

Numéro à gratter Maximum autorisé
Scratch Width
(mm)
  Numéro de fouille Maximum autorisé
Dig or Bubble Diameter
(mm)
120 0.12 120 1.2
80 0.08 80 0.8
60 0.06 60 0.6
50 0.05 50 0.5
40 0.04 40 0.4
30 0.03 30 0.3
20 0.02 20 0.2
But:
qualité de la surface du verre sur les composants optiques

Définitions :
Scratch : Tout marquage ou déchirure de la surface du verre.
Creuser : Une petite tache rugueuse sur la surface du verre semblable à des piqûres en apparence.
Une bulle est considérée comme une fouille.

Procédure:
La qualité de la surface doit être spécifiée par un nombre tel que 60/40. La deuxième colonne concerne la largeur maximale d'une rayure, mesurée en microns. La colonne 4 indique le diamètre maximum autorisé pour une fouille en centièmes de millimètre. Ainsi, comme le montre le tableau ci-dessous, une qualité de surface de 60/40 permettrait une largeur de rayure de 0,06 mm et un diamètre de fouille de 0,4 mm. La taille d'un défaut doit être mesurée à l'aide d'un comparateur optique.

 

Pour plus d'informations, veuillez nous contacter par email à[email protected]et[email protected].


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