Comment sont fabriquées les puces en carbure de silicium (SiC) ?

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Comment sont fabriquées les puces en carbure de silicium (SiC) ?

Comment est fabriquée la puce en carbure de silicium (SiC) ? D'une manière générale, les puces sont des produits semi-finis qui ont été découpés dans des wafers.PAM-XIAMEN peut proposer des plaquettes SiC pour la fabrication de puces, plus de spécifications, veuillez vous référer àhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. Chaque plaquette intègre des centaines de puces, et chaque puce se compose de milliers de cellules. Alors, comment faire une cellule ?

Première étape : masque d'injection. La plaquette est d'abord nettoyée, une couche de film d'oxyde de silicium est déposée, puis un motif de résine photosensible est formé par une colle, une exposition et un développement uniformes. Enfin, le motif est transféré sur le masque de gravure par un processus de gravure.

Deuxième étape : Implantation ionique. Placez la plaquette masquée dans un implanteur d'ions et implantez des ions à haute énergie. Ensuite, le masque est retiré et recuit pour activer les ions implantés.

Troisième étape : réalisation de la grille. Une couche d'oxyde de grille et une couche d'électrode de grille sont déposées séquentiellement sur la tranche pour former une structure de commande au niveau de la grille.

Quatrième étape : Réalisation d'une couche de passivation. Une couche diélectrique avec de bonnes propriétés isolantes est déposée pour empêcher le claquage entre les électrodes.

Cinquième étape : fabrication des électrodes drain-source. Des trous sont ouverts sur la couche de passivation et le métal est pulvérisé pour former des électrodes drain-source.

Lorsqu'une tension positive est appliquée entre l'électrode drain-source et l'électrode grille-source, le canal s'ouvre, des électrons circulent de la source vers le drain et un courant circule du drain vers la source.

Un dispositif d'alimentation de base (une cellule) a été fabriqué.

Les puces SiC peuvent améliorer efficacement l'efficacité du travail, réduire les pertes d'énergie, réduire les émissions de carbone, améliorer la fiabilité du système, réduire le volume et économiser de l'espace.

Veuillez cliquer sur le lien pour regarder la courte vidéo de fabrication de la puce SiC :https://youtu.be/8EyJApHZBJ8

powerwaywafer

Pour plus d'informations, veuillez nous contacter par e-mail à victorchan@powerwaywafer.com et powerwaymaterial@gmail.com.

2022-07-27

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