Le carbure de silicium (SiC) est un matériau semi-conducteur composé composé d'éléments de carbone et de silicium, et est appelé matériau semi-conducteur à large bande interdite car la bande interdite est supérieure à 2,2 eV.PAM-XIAMEN peut fournir des plaques SiC de type N et semi-isolantes. Plus de spécifications de plaquette SiC s'il vous plaît visitezhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.
Comment sont fabriquées les tranches de SiC ? Vous pouvez suivre le lienhttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgpour regarder la vidéo du processus de fabrication.
Tout d'abord, utilisez de la poudre de silicium de haute pureté et de la poudre de carbone de haute pureté comme matières premières pour faire croître des monocristaux de SiC par transport physique de vapeur (PVT).
Deuxièmement, utilisez un équipement de découpe multi-fils pour couper le cristal SiC en fines tranches d'une épaisseur maximale de 1 mm.
Troisièmement, les tranches sont broyées à la planéité et à la rugosité souhaitées à travers une suspension de diamant de différentes tailles de particules.
Quatrièmement, les tranches de SiC subissent un polissage mécanique et un polissage mécano-chimique pour obtenir des tranches de SiC polies à surface miroir.
Ensuite, utilisez des microscopes optiques et d'autres instruments pour détecter la densité des microtuyaux, la rugosité de surface, la résistivité, la déformation, le TTV, les rayures de surface et d'autres paramètres des plaquettes de SiC.
Enfin, les tranches polies SiC sont nettoyées avec un agent de nettoyage et de l'eau pure pour éliminer les contaminants de surface tels que le liquide de polissage, puis les tranches sont soufflées et séchées par de l'azote gazeux ultra-pur et une machine de séchage.
Après cela, utilisez le dépôt chimique en phase vapeur et d'autres méthodes pour générer des tranches épitaxiales de SiC sur des substrats, et enfin fabriquer des dispositifs associés.
En raison de ses propriétés physiques supérieures : bande interdite élevée, conductivité électrique élevée, conductivité thermique élevée, les tranches de SiC sont largement utilisées dans les communications 5G, les réseaux intelligents, les véhicules à énergie nouvelle, les trains à grande vitesse et d'autres domaines, et ont un énorme potentiel de marché.
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