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Plaquette de silicium épitaxiale
La plaquette épitaxiale de silicium (Epi Wafer) est une couche de monocristal de silicium épitaxial déposée sur une plaquette de silicium monocristallin (remarque : il est disponible pour développer une couche de couche de silicium polycristallin sur une plaquette de silicium monocristallin hautement dopée, mais il nécessite une couche tampon (telle que de l'oxyde ou du poly-Si) entre le substrat en Si massif et la couche de silicium épitaxiale supérieure.Il peut également être utilisé pour les transistors à couches minces.
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