Silicon Nitrure Wafer Si3N4 Film mince par LPCVD
Silicon Nitrure Wafer Si3N4 Film mince par LPCVD
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| Numéro de plaquette | Taille de la plaquette | À la côté poli | Type / orientation | SI3N4 épaisseur | Épaisseur de tranche (UM) | Résistivité (ohm.cm) | Quantité (PC) |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n1 | 2″ | DSP, les deux SI3N4 | N100 | 200nm | 400 ± 15 | 3-6 | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n2 | 2″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 200nm | 400 ± 15 | <0,0015 | 24 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n3 | 2″ | Si3n4 avec cu | 48,8 * 3 mm | — | — | — | 1 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n4 | 3″ | DSP, les deux SI3N4 | — | 150 nm | — | — | 2 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n5 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 40 nm | 500 ± 10 | <0,02 | 2 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n6 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | N100 | 50 nm | 510-540 | 2-4 | 9 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N7 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | Type P | 50 nm | 200 ± 10 | <0,02 | 5 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N8 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 95 nm | 525±15 | 1-10 | 22 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n9 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 100 nm | 500 ± 10 | <0,05 | 7 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n10 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | P100 | 200 ± 20 nm | 300 ± 10 | 5-10 | 50 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n11 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | N100 | 100 nm | 200 ± 15 | 1-15 | 19 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n12 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | P100 | 150 nm | 500 ± 25 | 10-20 | 1 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N13 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 200nm | 525 ± 25 | 10-20 | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n14 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | Type P | 200nm | 500 ± 10 | <0,05 | 15 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N15 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | N100 | 800 nm （830 nm） | 400 ± 10 | 0.01-0.02 | 2 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N16 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | P100 | 300 nm | 300 ± 20 | 0.01-0.02 | 6 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N17 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 800 nm （830 nm） | 475-525 | 0.01-0.02 | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N18 | 6″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 120 nm | 510 ± 10 | 6-8 | 45 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n19 | 6″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 100 nm | 625 ± 15 | — | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n20 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 1um | 500 ± 10 | 0.08-0.01 | 50 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N21 | 6″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 120 nm | 625 ± 15 | 0.008-0.02 | 45 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N22 | 4″ | Ssp, simple si3n4 | P100 | 50 nm | 500 ± 10 | 0.04-0.5 | 11 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N23 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 525 ± 10 | 1-100 | 13 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N24 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 512 ± 15 | 1-1000 | 6 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N25 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 525 ± 20 | 1-50 | 9 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N26 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 500-550 | 1-30 | 10 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N27 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | N100 | 50 nm | 200 ± 15 | 1-15 | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N28 | 2″ | DSP, les deux SI3N4 | P100 | 1um | 500 ± 15 | 1-10 | 45 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N29 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 500 ± 15 | >2000 | 21 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # n30 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 525 ± 25 | 0-100 | 10 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N31 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 800 nm | 525 ± 25 | 6-8.5 | 13 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N32 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 100 nm | 500 ± 10 | > 10 | 20 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N33 | 6″ | SSP, les deux SI3N4 | P100 | 20NMSIO2 + 120NMSI3N4 | 600 ± 25 | > 1 | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N34 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 330NMSIO2 + 120NMSI3N4 | 500 ± 20 | <0,1 | 25 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N35 | 4″ | DSP, les deux SI3N4 | P100 | 500 nm | 300 ± 10 | 0.1-0.3 | 45 |
| Pam-Xiamen-Wafer- # N36 | 4″ | SSP, les deux SI3N4 | N100 | 400 nm | 360-390 | 3-7 | 25 |
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