Plaquette de silicium de qualité supérieure 12″

Description

PAM-XIAMEN propose des tranches de silicium nu de 300 mm (12 pouces) de qualité supérieure, de type n ou de type p, et l'épaisseur de la tranche de silicium de 300 mm est de 775 ± 15. Comparé à d'autres fournisseurs de plaquettes de silicium, le prix des plaquettes de silicium de Powerway Wafer est plus compétitif et de meilleure qualité. Les tranches de silicium de 300 mm ont un rendement par tranche plus élevé que les tranches de silicium perméables de grand diamètre. Une taille supérieure ou égale à 8 pouces (200 mm) est appelée une grande plaquette de silicium. La technologie de production de grandes tranches de silicium entraîne non seulement une augmentation de la complexité du processus en raison de l'augmentation de la surface, mais également des exigences plus élevées en matière de nombreux autres facteurs de contrôle. Par exemple : la teneur en oxygène et son uniformité radiale dans la tranche, le contrôle des impuretés, le contrôle OISF, etc. Les exigences de la tranche de silicium en matière de contrôle des défauts, de contrôle de la précipitation de l'oxygène, de quantification de la résistance, de dopage et d'uniformité radiale sont également plus élevées. En particulier pour les tranches de silicium de 300 mm de première qualité, certains paramètres sont requis de manière critique, pour l'instant, le TTV de la tranche est inférieur à 1,5 um et la densité de défauts ~ 0/cm2. La prochaine étape est un lingot ou une plaquette de silicium de 450 mm.

 

1. Paramètres de la plaquette de silicium de 300 mm

Paramètres	Valeur (PAM210512-300-SIL)
Type de lingot	Cultivé selon la méthode Czochralski
Diamètre, mm	300 ± 0,2
Dopant	B (bore)
Type de conductivité	P
Oxygène max, OLD-PPMA	40
Carbone, PPMA	1
Orientation cristallographique	<100>
Écart par rapport à l'orientation de surface prédéterminée du plan cristallin, deg	1
Résistivité volumique, Ohm · cm	8-12
Encoche primaire	Oui
Emplacement de l'encoche	110
Taille de l'encoche, mm	2,3
Forme d'encoche	V
Épaisseur de la plaquette, microns	775 ± 15
Type de marquage	Laser
Emplacement du marquage	face arrière
Profil de bord	par SEMI T/4
Rayures sur la face avant	absent
Polissage de la face avant	oui
Polissage de la face arrière	oui
Changement total de l'épaisseur de la tranche (TTV), micromètres	1,5
Déflexion (WARP), microns	30
Le nombre de particules sur une surface supérieure à 0,05 micron	50
Le nombre de particules sur une surface supérieure à 0,09 micron	30
Teneur en surface de l'aluminium, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en calcium, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en chrome, E10AT/CM2	1
Teneur surfacique du cuivre, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en fer, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en potassium, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en sodium, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en nickel, E10AT/CM2	1
Teneur superficielle en zinc, E10AT/CM2	1

Exigences d'emballage :

Paramètres
Genre d'emballage	MW300GT-A
Matériau du conteneur intérieur	Polyéthylène
Matériau d'emballage extérieur	Aluminium
Nombre de pièces dans un paquet	25
Réutilisabilité	Oui

2.FAQ :

Q :Veuillez noter que nous proposons « Le nombre de particules sur une surface supérieure à 0,09 microns 50 » uniquement pour les substrats en silicium.

Normalement, les particules requises concernent un substrat en silicium.

Pour garantir la conformité, pourriez-vous s'il vous plaît vérifier ?

UN:Nous avons revérifié : Oui, les informations indiquées sont correctes.

 

PAM-XIAMEN peut vous offrir un support technologique et de plaquettes.

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