3.Definizioni di epitassia del carburo di silicio

3-1. Grandi difetti puntuali

3-1. Difetti puntiformi di grandi dimensioni Difetti che mostrano una forma chiara all'occhio non assistito e che hanno una larghezza > 50 micron. Queste caratteristiche includono punte, particelle aderenti, scheggiature e crateri. I difetti puntuali di grandi dimensioni distanti meno di 3 mm contano come un difetto.

3-2. Graffi

3-2. Graffi Scanalature o tagli sotto il piano superficiale del wafer aventi un rapporto lunghezza-larghezza maggiore di 5 a 1. I graffi sono specificati dal numero di graffi discreti moltiplicato per la lunghezza totale in diametro frazionario.

3-4. Passo Raggruppamento

3-4. Raggruppamento dei gradini Il raggruppamento dei gradini è visibile come uno schema di linee parallele che corrono perpendicolari al bemolle maggiore. Se presente, stimare la % dell'area specificata interessata.

3-5. Pulizia del retro

3-5. Pulizia del retro Verificata controllando il colore uniforme del retro del wafer. Nota che c'è una regione più scura vicino al centro di alcuni wafer drogati più alti. Pulizia del retro specificata come percentuale dell'area pulita.

3-6. Chip di bordo

3-6. Chip sui bordi Aree in cui il materiale è stato rimosso involontariamente dal wafer. Non confondere le fratture nella corona epi con i chip sui bordi.

3-8. Inclusioni 3C

3-8. 3C Inclusioni Regioni in cui il flusso è stato interrotto durante la crescita dello strato epi. Le regioni tipiche sono generalmente triangolari, anche se a volte si vedono forme più arrotondate. Contare una volta per occorrenza. Due inclusioni entro 200 micron contano come una.

3-9. Code di cometa

3-9. Code di comete Le code di comete hanno una testa discreta e una coda finale. Queste caratteristiche sono allineate parallelamente al bemolle maggiore. Di solito, tutte le code delle comete tendono ad avere la stessa lunghezza. Contare una volta per occorrenza. Due code di comete entro 200 micron contano come una.

3-10. Carote

3-10. Carote In apparenza simili alle code delle comete, tranne che sono più angolose e prive di una testa distinta. Se presenti, queste caratteristiche sono allineate parallelamente al bemolle maggiore. Di solito, le carote presenti tendono ad avere la stessa lunghezza. Contare una volta per occorrenza. Due carote entro 200 micron contano [...]