Come viene prodotto il chip in carburo di silicio (SiC)? In generale, i chip sono prodotti semilavorati che sono stati tagliati da wafer.PAM-XIAMEN è in grado di offrire wafer SiC per la produzione di chip, ulteriori specifiche si prega di fare riferimentohttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. Ogni wafer integra centinaia di chip e ogni chip è costituito da migliaia di celle. Quindi, come fare una cella?

Primo passo: maschera per iniezione. Il wafer viene inizialmente pulito, viene depositato uno strato di pellicola di ossido di silicio e quindi viene formato un modello di fotoresist attraverso colla, esposizione e sviluppo uniformi. Infine il motivo viene trasferito alla maschera di incisione attraverso un processo di incisione.

Secondo passo: impianto ionico. Mettere il wafer mascherato in un impiantatore di ioni e impiantare ioni ad alta energia. Quindi, la maschera viene rimossa e ricotta per attivare gli ioni impiantati.

Terzo passo: fare la griglia. Uno strato di ossido di gate e uno strato di elettrodo di gate vengono depositati in sequenza sul wafer per formare una struttura di controllo a livello di gate.

Quarto passaggio: creare uno strato di passivazione. Viene depositato uno strato dielettrico con buone proprietà isolanti per prevenire la rottura tra gli elettrodi.

Quinto passaggio: realizzazione di elettrodi drain-source. I fori vengono aperti sullo strato di passivazione e il metallo viene spruzzato per formare elettrodi drain-source.

Quando viene applicata una tensione positiva tra l'elettrodo drain-source e l'elettrodo gate-source, il canale si apre, gli elettroni fluiscono dalla sorgente allo scarico e una corrente scorre dallo scarico alla sorgente.

È stato fabbricato un dispositivo di alimentazione di base (una cella).

I chip SiC possono migliorare efficacemente l'efficienza del lavoro, ridurre la perdita di energia, ridurre le emissioni di carbonio, migliorare l'affidabilità del sistema, ridurre il volume e risparmiare spazio.

Fare clic sul collegamento per guardare il breve video della produzione del chip SiC:https://youtu.be/8EyJApHZBJ8

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