Come sono fatti i wafer di carburo di silicio?

Come sono fatti i wafer di carburo di silicio?

Il carburo di silicio (SiC) è un materiale semiconduttore composto composto da elementi di carbonio e silicio ed è chiamato materiale semiconduttore a banda larga perché la banda proibita è maggiore di 2,2 eV.PAM-XIAMEN può fornire wafer SiC di tipo N e semiisolanti. Maggiori specifiche del wafer SiC si prega di visitarehttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.

Come sono fatti i wafer di SiC? Puoi seguire il linkhttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgper guardare il video del processo di produzione.

In primo luogo, utilizzare polvere di silicio ad alta purezza e polvere di carbonio ad alta purezza come materie prime per far crescere cristalli singoli SiC mediante trasporto fisico del vapore (PVT).

In secondo luogo, utilizzare un'attrezzatura per cubetti multifilo per tagliare il cristallo SiC in fette sottili con uno spessore non superiore a 1 mm.

In terzo luogo, i wafer vengono macinati alla planarità e rugosità desiderate attraverso un impasto liquido diamantato di diverse dimensioni delle particelle.

In quarto luogo, i wafer SiC sono sottoposti a lucidatura meccanica e chimica meccanica per ottenere wafer SiC lucidati a specchio.

Quindi, utilizzare microscopi ottici e altri strumenti per rilevare la densità del microtubo, la rugosità superficiale, la resistività, la deformazione, il TTV, i graffi superficiali e altri parametri dei wafer SiC.

Infine, i wafer lucidati in SiC vengono puliti con detergente e acqua pura per rimuovere i contaminanti superficiali come il liquido di lucidatura, quindi i wafer vengono soffiati ed asciugati con azoto gassoso ad altissima purezza e una macchina essiccatrice.

Successivamente, utilizzare la deposizione chimica da vapore e altri metodi per generare wafer epitassiali SiC sui substrati e infine realizzare dispositivi correlati.

A causa delle sue proprietà fisiche superiori: intervallo di banda elevato, conducibilità elettrica elevata, conducibilità termica elevata, i wafer SiC sono ampiamente utilizzati nelle comunicazioni 5G, nelle reti intelligenti, nei veicoli di nuova energia, nei treni ad alta velocità e in altri campi e hanno un enorme potenziale di mercato.

Per ulteriori informazioni, si prega di contattarci e-mail avictorchan@powerwaywafer.com e powerwaymaterial@gmail.com.

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