GaN系テンプレート

PAM-厦門のテンプレート製品(窒化ガリウム)GaNテンプレート、(窒化アルミニウム)の結晶層からなるAlNテンプレート、(窒化アルミニウムガリウム)のAlGaNテンプレートとサファイア上に堆積される(窒化インジウムガリウム)のInGaNテンプレート
  • 説明

製品の説明

GaN系(窒化ガリウム )テンプレート

PAM-厦門のテンプレート製品は、サファイア基板上に堆積された窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)及び窒化インジウムガリウム(InGaN)の結晶層からなります。 PAM-厦門のテンプレート製品は、より良い構造品質とコスト、歩留まり、およびパフォーマンスでデバイスを向上させることができ、より高い熱伝導率と、20から50パーセント短縮エピタキシーのサイクルタイムと高品質エピタキシャルデバイス層を有効にします。

2 "(50.8ミリメートル)GaN系テンプレートサファイア基板上のエピタキシー

アイテム PAM-2インチ・ガント-N PAM-2インチ・ガント-SI
伝導型 N型 半絶縁性
ドーパント Siがドープされた又は非ドープ 鉄ドープ
サイズ 2 "(50ミリメートル)DIA。
厚さ 4μmで、20umの、30um、50μmの、100um 30um、90um
方向付け C軸(0001)+/- 1°
抵抗率(300K) <0.05Ω・cmで > 1×106Ω・cmで
転位密度 <1x108cm-2
基板構造 サファイア上のGaN(0001)
表面仕上げ シングルまたはダブルサイドポリッシュ、エピレディ
使用可能エリア ≥90%

サファイア基板上の2 "(50.8ミリメートル)のGaNテンプレートエピタキシー

アイテム PAM-ガント-P
伝導型 P型
ドーパント Mgをドープしました
サイズ 2 "(50ミリメートル)DIA。
厚さ 5um、20umの、30um、50μmの、100um
方向付け C軸(0001)+/- 1°
抵抗率(300K) <1Ω・cm以下またはカスタム
ドーパント濃度 1E17(CM-3)、またはカスタム
基板構造 サファイア上のGaN(0001)
表面仕上げ シングルまたはダブルサイドポリッシュ、エピレディ
使用可能エリア ≥90%

 サファイア基板上の3 "(76.2ミリメートル)のGaNテンプレートエピタキシー

アイテム PAM-3インチ-GANT-N
伝導型 N型
ドーパント Siがドープされた又は非ドープ
除外ゾーン: 外径から5ミリメートル
厚さ: 20umの、30um
転位密度 <1x108cm-2
シート抵抗(300K): <0.05Ω・cmで
基板: サファイア
オリエンテーション : C面
サファイア厚さ: 430um
研磨: シングルサイド、ポリッシュエピレディ、原子ステップを持ちます。
裏面コーティング: (カスタム)高品質のチタンコーティング、厚さ>0.4μmで
パッキング: 個別にアルゴン下で詰め
クラス100のクリーンルームで密閉された雰囲気の真空。

サファイア基板上の3 "(76.2ミリメートル)のGaNテンプレートエピタキシー

アイテム PAM-3インチ・ガント-SI
伝導型 半絶縁性
ドーパント 鉄ドープ
除外ゾーン: 外径から5ミリメートル
厚さ: 20umの、30um、90um(20umのがベストです)
転位密度 <1x108cm-2
シート抵抗(300K): > 106 ohm.cm
基板: サファイア
オリエンテーション : C面
サファイア厚さ: 430um
研磨: シングルサイド、ポリッシュエピレディ、原子ステップを持ちます。
裏面コーティング: (カスタム)高品質のチタンコーティング、厚さ>0.4μmで
パッキング: 個別クラス100のクリーンルーム内に封入されたアルゴン雰囲気の真空下でパック。

4インチ(100mm)サファイア基板上のエピタキシャルGaNテンプレート

アイテム PAM-4インチ・ガント-N
伝導型 N型
ドーパント アンドープ
厚さ: 4μmで
転位密度 <1x108cm-2
シート抵抗(300K): <0.05Ω・cmで
基板: サファイア
オリエンテーション : C面
サファイア厚さ:
研磨: シングルサイド、ポリッシュエピレディ、原子ステップを持ちます。
パッキング: 個別にアルゴン雰囲気下で詰め
クラス100クリーンルーム内で真空シール。

2 "(50.8ミリメートル)のAlGaN、InGaN系、サファイア基板上のAlNエピタキシー:カスタム
サファイアテンプレート上の2インチ(50.8mm)AlNエピタキシー

アイテム PAM-AlNT-SI
伝導型 半絶縁性
直径 1ミリメートル±Фの50.8ミリメートル
厚さ: 1000nmの+/- 10%
基板: サファイア
オリエンテーション : C軸(0001)+/- 1°
オリエンテーションフラット 飛行機
XRD FWHM(0002) <200秒角。
使用可能な表面積 ≥90%
研磨: なし

2” (50.8ミリメートル)サファイア基板上のInGaNエピタキシー

アイテム PAM-InGaN系
伝導型
直径 1ミリメートル±Фの50.8ミリメートル
厚さ: 100-200nm、カスタム
基板: サファイア
オリエンテーション : C軸(0001)+/- 1O
ドーパント
転位密度 〜108センチメートル-2
使用可能な表面積 ≥90%
表面仕上げ シングルまたはダブルサイドポリッシュ、エピレディ

2” (50.8ミリメートル)サファイア基板上のAlGaNエピタキシー

アイテム PAM-AlNT-SI
伝導型 半絶縁性
直径 1ミリメートル±Фの50.8ミリメートル
厚さ: 1000nmの+/- 10%
基板: サファイア
オリエンテーション : C面
オリエンテーションフラット 飛行機
XRD FWHM(0002) <200秒角。
使用可能な表面積 ≥90%
研磨: なし

サファイアとシリコン上のGaNテンプレート

4H又は6H SiC基板上に2」(50.8ミリメートル)のGaN

1)アンドープGaNバッファまたはAlNバッファが利用可能です。
2)は、n型シリコン(Siドープ又はアンドープ)、p型または半絶縁性GaNエピタキシャル層を利用できます。
3)n型SiC上の垂直導電構造。
4)のAlGaN - 厚さ20-60nm、(20%-30%のAl)、Siはバッファをドープしました。
330μm+/- 25um厚の2” ウエハ上5)n型GaN層。
6)シングルまたはダブルサイド研磨、エピレディ、Raが<0.5μmで
XRDに7)の典型的な値:
ウェハID 基板ID XRD(102) XRD(002) 厚さ
#2153 X-70105033(AlNの付き) 298 167 679um
シリコン基板上の2 "(50.8ミリメートル)のGaN
1)GaN層の厚さ:約50nm、4μmで。
2)N型又は半絶縁性GaNが利用可能です。
3)シングルまたはダブルサイド研磨、エピレディ、Raが<0.5μmで

6」(150ミリメートル)のn-GaN上 両面研磨 フラットサファイア4H又は6H SiC基板上に2」(50.8ミリメートル)のGaN

ターゲット リマーク
基板直径 150ミリメートル +/- 0.15ミリメートル
基板の厚さ 1300 UMまたは1000um +/- 25ええと
c面(0001)、m面に向かってオフカット角度 0.2度 +/- 0.1度
シングル主要フラット長 47.5ミリメートル +/- 1ミリメートル
オリエンテーションフラット 飛行機 +/- 0.2度
Siドープn型GaNの厚さ 4ええと +/- 5%
n型GaN中のSi濃度 5E18センチ-3 はい
U型GaNの厚さ 1 UM この層なし
XRDロッキングカーブ(002) <250秒角 <300秒角
XRDロッキングカーブ(102) <250秒角 <350秒角
転位密度 <5E8センチ-2 はい
前面、AFM(5×5 um2)のRa <0.5nmで、エピレディ はい
裏面surfacの\電子 0.6から1.2ええと、細かい地面 はい
お辞儀ウェハ <100ええと このデータなし
n型GaN抵抗(300K) <0.01オーム-cm2 はい
総厚さの変化 <25ええと <10um
欠陥密度 マクロ欠陥(> 100 um):<1 /ウェーハマイクロ欠陥(1-100 um):<1 / cm2 マクロ欠陥(> 100 um):<10 /ウェーハマイクロ欠陥(1-100 um):<10 / cm2
レーザーマーキング ウェーハの裏面にフラット はい
パッケージ クラス100のクリーンルーム環境、25個のカセットまたはシングルウェーハコンテナー、窒素雰囲気下で二重シール はい
エッジ除外 <3ミリメートル はい
使用可能な表面積 > 90% はい

水素化物気相エピタキシー(HVPE)プロセス

HVPEプロセスと、GaN、AlN、AlGaNなどの化合物半導体の製造技術によって成長。 彼ら幅広いアプリケーションで使用されています:固体照明、短波長オプトエレクトロニクス、RFパワーデバイス。

HVPEプロセスでは、高温のガス状金属塩化物(GaClやAlClなど)とアンモニアガス(NH3)を反応させて、III族窒化物(GaN、AlNなど)を形成します。 金属塩化物は、高温のIII族金属上に高温のHClガスを通すことによって生成されます。 すべての反応は、温度制御された石英炉で行われます。

ここでは、例の下を参照してください、テストレポートを提供します:

AlGaNテンプレート構造レポート

FWHMとXRDレポート

AlN単結晶基板&テンプレート-4

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