12 "のシリコンウェーハ300ミリメートルTOX(Siの熱酸化ウエハ)

12インチシリコンウェーハ300mm TOX(Si熱酸化ウェーハ)

PAM-XIAMENは、300mmシリコンウェットまたはドライ熱酸化/二酸化ウェーハ(Si + SiO2)を提供します。

熱酸化物ウェーハまたは二酸化ケイ素ウェーハは、乾式または湿式酸化プロセスによって酸化ケイ素層を成長させたベアシリコンウェーハです。

 

  • 説明

製品の説明

PAM-XIAMENは12インチシリコンウェーハ300mm TOX(Si熱酸化ウェーハ)を提供

 

PAM-XIAMENは、300mmシリコンウェットまたはドライ熱酸化/二酸化ウェーハ(Si + SiO2)を提供します。

熱酸化物ウェーハまたは二酸化ケイ素ウェーハは、乾式または湿式酸化プロセスによって酸化ケイ素層を成長させたベアシリコンウェーハです。

CVD酸化物層と比較して、均一性が高く、緻密性が高く、絶縁耐力が高く、品質が優れています。

 

ドライ酸化シリコンウェーハ: 乾燥酸素酸化

シリコンは850-1200℃の温度で酸素と反応し、

酸化成長率は低いですが、品質は良いです、

したがって、MOS絶縁ゲートの成長に使用できます。 酸化物層は10nm〜300nmです。

 

湿式酸素酸化ウェーハ: 高温では、水蒸気を使用して

ファーネスチューブに入り、シリコンウェーハの表面に酸化物層を形成します。

湿式酸素酸化の密度は乾式酸素酸化の密度よりわずかに悪いですが、

しかし、湿式酸素酸化の利点は、成長速度が速いことです。

これは、500 nmを超える膜成長に適しています。 湿式酸化能力:100nm〜6um。

パラメータ
インゴットの種類 チョクラルスキー法に従って成長
直径、mm 300±0,2
ウェーハライフタイム、月 12
導電型 P
ドーパント B(ボロン)
Oxigen max、OLD-PPMA 40
カーボン、PPMA 1
エッジゾーンの除外、mm 3
結晶方位 <100>
与えられた結晶面、度からの面方位の偏差 0,5
体積抵抗率、オーム・cm 10-40
転位の数、cm-2 0
ポイントエッチング欠陥の数、cm-2 0
ポイント酸化欠陥の数、cm -2 500
ボリュームの最大鉄含有量、E10AT / CC 10
一次ノッチ はい
ノッチ位置 110
ノッチサイズ、mm 2,3
ノッチフォーム V
ウェーハ厚、ミクロン 775±25
マーキングの種類 レーザ
マーキング場所 裏側
エッジプロファイル SEMI T / 4による
フロントキズ ありません
総ウェーハ厚変化(TTV)、ミクロン 5
たわみ、ミクロン 60
ウェーハは厚さ、ミクロンに酸化されます 0,1-1
0.09ミクロンより大きい表面上の粒子の数 50
裏側の汚れ ありません
アルミニウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
カルシウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
クロムの表面含有量、E10AT / CM2 1
銅の表面含有量、E10AT / CM2 1
鉄の表面含有量、E10AT / CM2 1
カリウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
ナトリウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
ニッケルの表面含有量、E10AT / CM2 1
亜鉛の表面含有量、E10AT / CM2 1
平面度、ミクロンの精度の要件 0,3
平面度、mmを測定する際のエッジゾーンの除外 3

 

梱包要件:

パラメーター  
包装の種類 MW300GT-A
内容器素材 ポリエチレン
外装材 アルミニウム
1パッケージの個数 25
再利用性 はい

 

よくある質問:

MW300GT-Aのパッケージを添付の画像として受け入れるかどうか確認していただけますか?

回答:

はい、どうぞ。

300 mmシリコンウェーハ300mm TOX(Si熱酸化ウェーハ)用のMW300GT-Aのパッケージング

300 mmシリコンウェーハ300mm TOX(Si熱酸化ウェーハ)用のMW300GT-Aのパッケージング

 

 

 

 

 

 

 

 

300 mmシリコンウェーハ300mm TOX(Si熱酸化ウェーハ)用のMW300GT-Aのパッケージング

300 mmシリコンウェーハ300mm TOX(Si熱酸化ウェーハ)用のMW300GT-Aのパッケージング

 

 

 

 

 

 

 

 

PAM-XIAMENは、テクノロジーとウェーハサポートを提供します。

詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください。https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,

で、私達に電子メールを送りますsales@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com

 

絶縁酸化物を含む2インチ単結晶シリコンウェーハ

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