12インチプライムグレードシリコンウェーハ

PAM-XIAMENプライムグレード、nタイプまたはpタイプの300mmベアシリコンウェーハ(12インチ)を提供します。 他のシリコンウェーハサプライヤーと比較して、Powerwayウェーハのシリコンウェーハの価格は、高品質で競争力があります。

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製品の説明

PAM-XIAMENは12インチプライムグレードシリコンウェーハを提供

PAM-XIAMENプライムグレード、nタイプまたはpタイプの300mmベアシリコンウェーハ(12インチ)を提供します。 他のシリコンウェーハサプライヤーと比較して、Powerwayウェーハのシリコンウェーハの価格は、高品質で競争力があります。 300mmシリコンウェーハは、従来の大口径シリコンウェーハよりもウェーハあたりの歩留まりが高くなります。 8インチ(200 mm)以上のサイズは、大型シリコンウェーハと呼ばれます。 大きなシリコンウェーハの生産技術は、面積の増加によるプロセスの複雑さの増加だけでなく、他の多くの制御要素に対するより高い要件でもあります。 例:ウェーハ内の酸素含有量とその半径方向の均一性、不純物制御、OISF制御など。欠陥制御、酸素析出制御、抵抗の定量化、ドーピング、および半径方向の均一性に対するシリコンウェーハ要件も高くなっています。 特にプライムグレードの300mmシリコンウェーハの場合、いくつかのパラメーターが非常に重要であり、瞬時に、ウェーハTTVは1.5um未満で、欠陥密度は〜0 / cm2です。 次のステップは、450mmシリコンインゴットまたはウェーハです。

 

パラメータ
インゴットの種類 チョクラルスキー法に従って成長
直径、mm 300±0,2
ドーパント B(ボロン)
導電型 P
Oxigen max、OLD-PPMA 40
カーボン、PPMA 1
結晶方位 <100>
結晶面の所定の面方位からの偏差、度 1
体積抵抗率、オーム・cm 8-12
一次ノッチ はい
ノッチ位置 110
ノッチサイズ、mm 2,3
ノッチフォーム V
ウェーハ厚、ミクロン 775±15
マーキングの種類 レーザ
マーキング場所 裏側
エッジプロファイル SEMI T / 4より
表面の傷 ありません
前面研磨 はい
裏面研磨 はい
ウェーハの厚さの総変化(TTV)、マイクロ 1,5
たわみ(WARP)、ミクロン 30
0.05ミクロンより大きい表面上の粒子の数 50
0.09ミクロンより大きい表面上の粒子の数 30
アルミニウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
カルシウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
クロムの表面含有量、E10AT / CM2 1
銅の表面含有量、E10AT / CM2 1
鉄の表面含有量、E10AT / CM2 1
カリウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
ナトリウムの表面含有量、E10AT / CM2 1
ニッケルの表面含有量、E10AT / CM2 1
亜鉛の表面含有量、E10AT / CM2 1

 

梱包要件:

パラメータ
包装の種類 MW300GT-A
内容器素材 ポリエチレン
外装材 アルミニウム
1パッケージの個数 25
再利用性 はい

 

よくある質問:

シリコン基板の場合のみ「0.09ミクロン50以上の表面の粒子数50」をご用意しております。

通常、粒子要件はシリコン基板です。

コンプライアンスを確保するために、確認していただけますか?

回答:

再確認:はい、表示された情報は正しいです。

 

PAM-XIAMENは、テクノロジーとウェーハサポートを提供します。

詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください。https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,

で、私達に電子メールを送りますsales@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com