12インチプライムグレードシリコンウェーハ
PAM-XIAMENプライムグレード、nタイプまたはpタイプの300mmベアシリコンウェーハ(12インチ)を提供します。 他のシリコンウェーハサプライヤーと比較して、Powerwayウェーハのシリコンウェーハの価格は、高品質で競争力があります。
- 説明
製品の説明
PAM-XIAMENは12インチプライムグレードシリコンウェーハを提供
PAM-XIAMENプライムグレード、nタイプまたはpタイプの300mmベアシリコンウェーハ(12インチ)を提供します。 他のシリコンウェーハサプライヤーと比較して、Powerwayウェーハのシリコンウェーハの価格は、高品質で競争力があります。 300mmシリコンウェーハは、従来の大口径シリコンウェーハよりもウェーハあたりの歩留まりが高くなります。 8インチ(200 mm)以上のサイズは、大型シリコンウェーハと呼ばれます。 大きなシリコンウェーハの生産技術は、面積の増加によるプロセスの複雑さの増加だけでなく、他の多くの制御要素に対するより高い要件でもあります。 例:ウェーハ内の酸素含有量とその半径方向の均一性、不純物制御、OISF制御など。欠陥制御、酸素析出制御、抵抗の定量化、ドーピング、および半径方向の均一性に対するシリコンウェーハ要件も高くなっています。 特にプライムグレードの300mmシリコンウェーハの場合、いくつかのパラメーターが非常に重要であり、瞬時に、ウェーハTTVは1.5um未満で、欠陥密度は〜0 / cm2です。 次のステップは、450mmシリコンインゴットまたはウェーハです。
パラメータ | 値 |
インゴットの種類 | チョクラルスキー法に従って成長 |
直径、mm | 300±0,2 |
ドーパント | B(ボロン) |
導電型 | P |
Oxigen max、OLD-PPMA | 40 |
カーボン、PPMA | 1 |
結晶方位 | <100> |
結晶面の所定の面方位からの偏差、度 | 1 |
体積抵抗率、オーム・cm | 8-12 |
一次ノッチ | はい |
ノッチ位置 | 110 |
ノッチサイズ、mm | 2,3 |
ノッチフォーム | V |
ウェーハ厚、ミクロン | 775±15 |
マーキングの種類 | レーザ |
マーキング場所 | 裏側 |
エッジプロファイル | SEMI T / 4より |
表面の傷 | ありません |
前面研磨 | はい |
裏面研磨 | はい |
ウェーハの厚さの総変化(TTV)、マイクロ | 1,5 |
たわみ(WARP)、ミクロン | 30 |
0.05ミクロンより大きい表面上の粒子の数 | 50 |
0.09ミクロンより大きい表面上の粒子の数 | 30 |
アルミニウムの表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
カルシウムの表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
クロムの表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
銅の表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
鉄の表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
カリウムの表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
ナトリウムの表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
ニッケルの表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
亜鉛の表面含有量、E10AT / CM2 | 1 |
梱包要件:
パラメータ | |
包装の種類 | MW300GT-A |
内容器素材 | ポリエチレン |
外装材 | アルミニウム |
1パッケージの個数 | 25 |
再利用性 | はい |
よくある質問:
シリコン基板の場合のみ「0.09ミクロン50以上の表面の粒子数50」をご用意しております。
通常、粒子要件はシリコン基板です。
コンプライアンスを確保するために、確認していただけますか?
回答:
再確認:はい、表示された情報は正しいです。
PAM-XIAMENは、テクノロジーとウェーハサポートを提供します。
詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください。https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,
で、私達に電子メールを送りますsales@powerwaywafer.comとpowerwaymaterial@gmail.com