InSbのウェハ
PAM-アモイのInSbウエハを提供する - n型、p型、または異なる配向で半絶縁性（111）または（100）とエピ準備又は機械的グレードとしてLEC（液体封止チョクラルスキー）によって成長さアンチモン化インジウム。
- 説明
製品の説明
PAM-アモイのInSbウエハを提供しています - アンチモン化インジウム これはn型、p型、または異なる配向で半絶縁性（111）または（100）とエピ準備又は機械的グレードとしてLEC（液体封止チョクラルスキー）によって成長させます。
インジウムアンチモン（InSbの）は、要素インジウム（In）及びアンチモン（Sb）から製造された結晶性化合物です。 なお、赤外線カメラ、FLIRシステム、赤外線ホーミングミサイル誘導システム、赤外線天文学に含む赤外線検出器に使用されるIII-V族から狭ギャップ半導体材料です。 アンチモン化インジウム検出器は、1-5ミクロン波長の間に敏感です。 アンチモン化インジウムは、古い、単一の検出器では非常に一般的な検出器は、機械的熱画像システムをスキャンしました。 それは、強い光 - デンバーエミッタであるとして、別の用途は、テラヘルツ放射線源としてです。
| ウェーハの仕様 | |
| アイテム | 仕様書 |
| ウェーハの大口径 | 2 "50.5±0.5ミリメートル 3「76.2±0.4ミリメートル 4 "1000.0±0.5ミリメートル |
| 結晶方位 | 0.1°±2」（111）AorB 0.1°±3」（111）AorB 0.1°±4」（111）AorB |
| 厚さ | 2「625±25um 3「800or900、±25um 4「1000±25umの |
| プライマリフラット長 | 2「16±2ミリメートル 3「22±2ミリメートル 4「32.5±2.5ミリメートル |
| セカンダリフラット長 | 2「8±1ミリメートル 3「11±1ミリメートル 4「18±1ミリメートル |
| 表面仕上げ | P / E、P / P |
| パッケージ | エピレディ、シングルウエハ容器またはCFカセット |
| 電気・ドーピング仕様 | |||||
| 伝導型 | n型 | n型 | n型 | n型 | p型 |
| ドーパント | アンドープ | テルル | 低テルル | ハイテルル | Genmanium |
| EPDセンチ-2 | 2 "3" 4 "≤50 | 2 "≤100 | |||
| モビリティcm2当たりV-1s-1 | ≥4 * 105 | ≥2.5 * 104 | ≥2.5 * 105 | 指定されていない | 8000-4000 |
| キャリア濃度センチ-3 | 5 * 1013-3×1014 | （1-7）*1017 | 4 * 1014-2×1015 | ≥1 * 1018 | 5 * 1014-3×1015 |
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1）2 "（50.8ミリメートル）のInSb
オリエンテーション：（100）
タイプ/ドーパント：N /アンドープ
直径：50.8ミリメートル
厚さ：300±25μmで、500um
NC：<2E14a / cm 3で
ポーランド：SSP
2）2」（50.8ミリメートル）のInSb
オリエンテーション：（100）
タイプ/ドーパント：N /テ
直径：50.8ミリメートル
キャリア濃度0.8から2.1×10 15 cm -3で
厚さ：450 +/- 25ええと、525±25μmでの
EPD <200センチメートル-2
ポーランド：SSP
3）2」（50.8ミリメートル）のInSb
方位：（111）+ 0.5°
厚さ：450 +/- 50ええと
タイプ/ドーパント：N /アンドープ
キャリア濃度<5×10 ^ 14センチメートル-3
EPD <5×10 CM-2
表面粗さ：<15 A
ボウ/ワープ：<30ええと
ポーランド：SSP
4）2」（50.8ミリメートル）のInSb
方位：（111）+ 0.5°
タイプ/ドーパント：P / Geの
ポーランド：SSP
5）2」（50.8ミリメートル）のInSb
厚さ：525±25μmで、
オリエンテーション：[111A]は0.5℃、±します
タイプ/ドーパント：N /テ
RO =（0.020から0.028）オームcm、
NC =（4-8）E14cm-3 / ccで、
U =（4.05E5-4.33E5）cm2の/ Vsで、
EPD <100 / cm2の、
モビリティ：4E5cm2 / Vsで
一方の側縁。
0.1μmの（最終ポリッシュ）に研磨化学機械最終的な、：（A）の顔に
SB（B）顔<5μm以下に研磨化学機械最終（Lasermark）
注：ノースカロライナとモビリティは77ºKです。
ポーランド：SSP、DSP
6）2」（50.8ミリメートル）のGaSb
厚さ：525±25μmで、
オリエンテーション：0.5°±[111B]
タイプ/ドーパント：P /アンドープ; N /アンドープ
ポーランド：SSP、DSP
表面状態およびその他の仕様
アンチモン化インジウム（InSbの）ウェハはドーピング濃度と厚さの広い範囲と同様に切断、エッチング又は研磨仕上げを有するウェーハとして提供することができます。 ウェハは、高品質のエピ準備仕上げである可能性があります。
オリエンテーション仕様
ウェハの面方位は、三重軸X線回折装置を用いて+/- 0.5度の精度で供給されます。 基板はまた、成長面から任意の方向に非常に正確な誤配向を供給することができます。 利用可能なorientaitonは（100）、（111）、（110）または他の配向またはMIS度とすることができます。
梱包状態
研磨されたウェハ：個々に不活性雰囲気中の2つの外側の袋に密封しました。 必要に応じて、カセットの出荷台数）がご利用いただけます。
AS-カットウェハー：カセット出荷。 （リクエストに応じてご利用いただけグラシン袋）。
単語ウィキ
インジウムアンチモン（InSbの）ウェハ要素インジウム（In）及びアンチモン（Sb）から製造された結晶性化合物です。 これは、赤外線カメラを含む赤外線検出器で使用されるIII-V族、FLIRシステム、赤外線ホーミングミサイルguidancesystems、赤外線天文学におけるより狭いギャップ半導体材料です。 アンチモン化インジウム検出器は、1-5ミクロン波長の間に敏感です。 アンチモン化インジウムは、古い、単一の検出器では非常に一般的な検出器は、機械的熱画像システムをスキャンしました。 それは、強い光 - デンバーエミッタであるとして、別の用途は、テラヘルツ放射線源としてです。
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