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エピタキシャルリフトオフプロセスガリウム砒素基板の再利用とフレキシブルエレクトロニクス用

エピタキシャルリフトオフプロセスは、ガリウムヒ素基板からIII–Vデバイスレイヤーを分離することを可能にし、基板を再利用することでIII–Vデバイスの高コストを回避するために広く研究されてきました。 従来のエピタキシャルリフトオフプロセスでは、基板をエピレディ状態に戻すためにいくつかの後処理が必要です。 ここに[...]

ヒ化ガリウム結晶ウェーハ中のヒ素の電量分析による決定

ヒ化ガリウム結晶ウェーハ中のヒ素の電量分析による測定ドープされていない半絶縁性ガリウムヒ素の化学量論における小さな変動の測定は、定電流電量分析を使用することによって達成できます。 ウェーハから採取したサンプルをHFでエッチングし、NaOH過酸化物溶液に溶解してから、クエン酸バッファーで処理します。 [...]