4インチエピタキシャルシリコンウェーハ

4インチエピタキシャルシリコンウェーハ

PAM XIAMEN offers 4″ Epitaxial Silicon Wafer. If necessary, we can do SRP (spreading resistance profile) test for you.

アイテム パラメーター スペック ユニット
1 成長方法 CZ  
2 直径 100 +/- 0.5 ミリ
3 タイプ-ドーパント P-ボロン  
4 抵抗率 0.002 – 0.003 オームセンチメートル
5 抵抗率の半径方向の変動 <10 %
6 結晶方位 <111> 4 +/- 0.5 程度
7 プライマリフラット 方向付け セミ 程度
長さ セミ ミリ
8 セカンダリフラット 方向付け セミ 程度
長さ セミ ミリ
9 厚さ 525 +/- 25 ミクロン
10 TTV ≦10 ミクロン
11 ≦40 ミクロン
12 ワープ ≦40 ミクロン
13 前面 磨かれた  
14 裏側 エッチング
5000 +/- 10%Angstoms SiO2
15 表面の外観 引っかき傷、かすみ、エッジチップ、オレンジピール、欠陥、汚染なし
16 エッジプロファイル エッジの丸め  
17 粒子(>0.3μm) N / A ea / wf
18
19 エピレイヤー1 Nフォス
20 抵抗率 3.8 – 5.2 オームcm
21 厚さ 29.0 – 35.0 ええと
 
22 エピレイヤー2 Nフォス
23 抵抗率 0.0014 – 0.0026 オームcm
24 厚さ 36.0 – 44.0 ええと

 

The SRP graph below shows the resistance and thickness of epilayers:

SRP of silicon epi layer

詳細については、次のアドレスにメールを送信してください。sales@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com

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