結晶太陽電池用の湿式化学不動態化ゲルマニウムウェーハの周囲安定性

表面パッシベーションは、太陽電池材料の少数キャリア寿命の評価および高効率太陽電池の製造において重要なステップとして認識されています。ゲルマニウム (Ge) 表面パッシベーションには、HF および HCl の希酸が使用されます。不動態化の有効寿命Geウェーハマイクロ波光伝導減衰（μ-PCD）測定によって評価されています。表面再結合速度、S、H 終端および Cl 終端の Ge 表面の速度は、それぞれ 23 cm/s と 37 cm/s です。空気への暴露に対する不動態化された Ge 表面の安定性も調べられています。 HCl で不動態化された Ge 表面は、HF で不動態化された表面よりも堅牢であることがわかりました。

図1。(a) 有効寿命、τ_EFF、および表面再結合速度、S(b) 不動態化されていない、H 不動態化、および Cl 不動態化された Ge ウェーハの少数キャリア寿命マッピング。

出典: 太陽エネルギー材料と太陽電池

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