FWHM および XRD レポート - アモイパワーウェイ

FWHM および XRD レポート

FWHM および XRD レポート

テストレポートは、カスタムの説明と当社の最終ウェーハデータ間の適合性を示すために必要です。出荷前にウェーハの特性評価を装置で検査し、原子間力顕微鏡による表面粗さ検査、ローマン分光器による種類、非接触抵抗率検査装置による抵抗率、偏光顕微鏡によるマイクロパイプ密度、X線オリエンテーターによる配向などを検査し、要求を満たしていれば100クラスのクリーンルームで洗浄・梱包し、カスタムスペックと一致しない場合はウェーハを取り外します。

テストプロジェクト: FWHM および XRD プロジェクト

半値全幅 (FWHM) は、最大値の半分に等しい独立変数の 2 つの極値間の差によって与えられる関数の範囲を表します。言い換えれば、これは Y 軸上のこれらの点の間で測定されたスペクトル曲線の幅であり、最大振幅の半分です。

以下は、AlN テンプレートの FWHM と XRD の例です。

FWHM および XRD レポート — AlNテンプレートのFWHMとXRD

FWHM および XRD レポート — AlNテンプレートのFWHMとXRD

詳細については、当社の Web サイトをご覧ください。https://www.powerwaywafer.com,

にメールを送ってください[email protected] または [email protected].

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