Sapphire&SiliconのGanテンプレート
Pam Xiamenは、Sapphire&SiliconでGanテンプレートを提供しています。
No.1:サファイアのドープガンテンプレート
1-1GAN(0001)テンプレート(n+、siドープ)サファイア、2インチx 5um、1sp
サファイアの1-2GAN(0001)テンプレート(n+、Siドープ)、2インチx 5um、2sp
1-3GAN(0001)サファイアのテンプレート(半挿入、Feドープ)、2インチx 2um、1sp
1-4SIドープガン(0001)サファイアN+タイプのテンプレート、4インチx 5ミクロン、1SP
サファイアの1-5mgドープP型Gan(0001)テンプレート10x10x 2ミクロン、1sp、ドーピング濃度:5e17/cc
1-6mgドープP型Gan(0001)サファイア2インチx 2ミクロン、1SP、ドーピング濃度:5e17/cc
1-7mgドープP型Gan(0001)Sapphire 2″ x 2 Micronのエピタキシャルテンプレート、2sp
No.2:サファイアの非表示ガンテンプレート
サファイアの2-1ガンテンプレート、Cプレーン5×5 mmx 5ミクロンの厚さ、1sp
サファイアの2-2ガンテンプレート、Cプレーン、10 x 10 mm x 5ミクロン、1SP
サファイアの2-3GANテンプレート、Mプレーン、10 x 10 mm x 5ミクロン、1SP
サファイアの2-4ガンテンプレート、Cプレーン、10×10 x0.5 mm、フィルム:厚さ5ミクロン
サファイアの2-5ガンテンプレート(C平面)、nタイプ、非視線、2インチx 5ミクロン、1SP
サファイアの2-6ガンテンプレート(C平面)、nタイプ、非視線、2インチx 5ミクロン、2sp
サファイアの2-7ガンテンプレート(C平面)、nタイプ、非視線、4インチx 5ミクロン - 生産グレード
No.3:シリコン上のGanテンプレート
2インチシリコンウェーハ、GANフィルム、Nタイプ、SI(111)基板上の非表示、2インチx 2um、1SPの3-1ガンテンプレート
2インチシリコンウェーハ、GANフィルム、Nタイプ、Si(111)基板上のSiドープ、2インチx 2um、1SPの3-2ガンテンプレート
2インチシリコンウェーハ、GANフィルム、Pタイプ、SI(111)基板上にドープされたMGの3-3GANテンプレート、2インチx 2um、1SP
2インチシリコンウェーハ、GANフィルムの3-4GANテンプレート、SI(111)基板上の半挿入、2インチx 2um、1SP
4インチシリコンウェーハ、GANフィルム、Nタイプ、SI(111)基板上の非表示、4インチx 2um、1SP上の3-5GANテンプレート
4インチシリコンウェーハ、GANフィルム、Nタイプ、Si(111)基板上のSiドープ、4インチx 2um、1SP上の3-6ガンテンプレート
4インチシリコンウェーハ、GANフィルム、Pタイプ、SI(111)基板上にドープされたMGの3-7GANテンプレート、4インチx 2um、1SP
4インチシリコンウェーハ、GANフィルムの3-8GANテンプレート、SI(111)基板上の半挿入、4インチx 2um、1SP
以下の例詳細な仕様がリストされています:
4″ dia、gan on silicon(gan on si)
寸法:100 +/- 0.1mm
Gan層の厚さ:2um
GAN層の導電率:nタイプ、siドープ。
構造:シリコン上のガン(111)。
ドーピング濃度:xxxcm-3
xrd(102)<xx arc.sec
xrd(002)<xx arc.sec
片側磨かれた、epi-ready、ra <0.5nm
パッケージ:クラス100のクリーンルーム環境、単一の容器、窒素雰囲気の下で詰め込まれています。
Ganテンプレートに関するFAQ
Q1:ガスで栽培されていますか?
:GAASでガンを栽培することはできませんが、シリコン、SIC、およびサファイアのガンになる可能性があります。
Q2:SICおよびSIのGan Tamplate EPI構造の場合、GanおよびAln Nucleation Layerで最大ドーピングレベルはどのようになりますか?
:ALN層:60-100NM、ドーピングレベル:1E16-1E19
Q3:サファイア基板上のガンウェーハの成長を開始する方法は?それは、表面にGA液滴がある成長の段階でさえ、Gan-on-Ganの成長のような量子ドットに変わりました。
:サファイアのガンをMOCVDによるサファイア側から栽培し、N顔はサファイアとつながります。
Q4:SapphireのP型(MGドープ)GANテンプレートのMGドーパントは活性化されましたか?それで、彼らは使用する準備ができていますか、それとも私たちはそれらを自分でアクティブにする必要がありますか?
:サファイアテンプレート上のGANのMGドーパントがアクティブ化されているため、アクティブ化する必要はありません。
詳細については、メールでお問い合わせください[email protected] と [email protected].