InP HBTエピウェーハ *S
HBTは、マイクロ波およびミリメートルの波動装置で広く使用されている技術です。これは、超高速、低ノイズ、高出力、高線形性などの利点があり、光ファイバー通信やワイヤレス通信などの電子システムに重要な用途があります。 HBTデバイスを準備するための主な材料システムは、インプエピタキシャル材料と化合物を含むリンに基づいています。InGaP/GaAs材料システムは、マイクロ波電力HBTデバイスを準備するための好ましい材料であり、INPベースの材料システムはミリ波HBTデバイスの主要な材料です。 PAM-XiamenはINP HBT(ヘテロ接合双極トランジスタ)EPIウェーハを栽培できます。次のEPI構造を参照してください。

1. InP HBT ウェーハ構造
| エピレイヤー | 材料 | 厚さ | ドーピング |
| キャップ層 | n+ InGaAs | 200nm | – |
| エミッタ | n+InP | – | – |
| ベース | p+ InGaAs | – | – |
| 複合コレクター | InGaAs/InGaAsP/InP | – | – |
| n+ InGaAs | – | ||
| 半絶縁性InP基板 |
- INGAASスペーサーとINGAAS四級層との複合コレクターを使用して、BCインターフェイスでの伝導バンドスパイクを排除し、それによりコレクターの電流ブロッキング効果を最小限に抑えます。
2. 物質系ヘテロ接合双極トランジスタ構造
HBTは、使用される基板材料に基づいて分類できます。一般的に言えば、3種類の基質があります:GAAS、SI、およびINP、GAASが最も成熟しています。表1は、HBTの準備に使用されるIII-V材料システムを示しています。
| 表1 HBTを準備するためのさまざまな材料システム | ||||
| 基板 | エミッタ | ベース | コレクタ | タイプ |
| GaAsの | AlGaAs | GaAsの | GaAsの | SHBT |
| AlGaAs | DHBT | |||
| インギャップ | GaAsの | GaAsの | SHBT | |
| インギャップ | DHBT | |||
| InP | InP | InGaAs | InGaAs | SHBT |
| InP | DHBT | |||
| InAlAs | InGaAs | InGaAs | SHBT | |
| InP | DHBT | |||
| InP | GaAsSb | InP | DHBT | |
INP HBT成長は、より広いバンドギャップを持つINP材料をエミッタとして使用し、BANDGAPとコレクターとして狭いバンドギャップを持つINGAAS材料を使用します。破壊電圧の要件に応じて、INGAAS材料またはINP材料を使用できます。前者は単一のヘテロ接合HBTと呼ばれ、後者は二重ヘテロ接合HBTと呼ばれ、後者はより高い分解電圧を持っています。
GAASと比較して、INP基質には次の利点があります。INGAASの特定の組成はINP格子と一致し、INGAASはGAASの約1.5倍高い電子移動度を持っています。さらに、GAASと比較して、INPとINGAAはガンマLとガンマXの谷の分離が大きく、より高い速度オーバーシュートを提供することができ、より高い電子速度とより高いFTをもたらします。
3. InP HBT アプリケーション
ローカルマルチポイント配信システム(LMDS)のミリ波トランシーバーは、INPテクノロジーの恩恵を受けます。 INP HBTテクノロジーは、これらのデジタルネットワークに高い効率と高い直線性能力を提供します。帯域幅の値により、これらのリンクの頻度は、より多くのスペクトルが利用可能になるにつれて増加し続けます。
携帯電話の電力増幅器には、高出力効率(PAE)、長いトークとスタンバイ時間の低い漏れ電流、堅牢な使用のための高い故障電圧、および低い実装コストなど、非常に厳しいパフォーマンス要件があります。 INP HBTパワーアンプは、GAAS HBTのパフォーマンスよりも優れたパフォーマンスを提供します。 GAAS HBTの実装と比較して、同等のマイクロ波パワーアンプは、INP HBTの実装がより大きな線形性を持っていることを実証しています。
INP HBTテクノロジーは、インターネットバックボーンブロードバンドデータ送信用のシングルチャネルSONET OC-768や40GBPSなど、高速光ファイバー回路に特に適しています。 INP HBTには、クロスインピーダンス増幅、ゲイン制御、クロックとデータの回復、モジュレータードライバー、高速MUX/DMUX機能など、いくつかの主要なフロントエンドコンポーネントブロックに利点があります。
調査または産業用アプリケーションのためにINP HBTウェーハが必要な場合は、メールにお問い合わせください[email protected] と [email protected].
