金属電極付きLNOI

金属電極付きLNOI

金属電極付きニオブ酸リチウム(LNOI)e

SiO2 層と LN 膜の間には金属電極層 (Au、Pt、Al またはその他の金属) があります。金属電極層と上部電極層との間のLN膜上に電場を印加することができる。圧電効果、強誘電体ドメインスイッチング効果、熱電効果に基づいて、この薄膜は、高周波、高帯域幅のRFフィルタ、低電力、高速の強誘電体メモリ、高感度赤外線検出器などの弾性表面波デバイス、メモリデバイスおよびセンサに応用されています。

単結晶ニオブ酸リチウム薄膜は、高速、広帯域、高密度、高効率の光回路や電子デバイスの開発にとって非常に重要です。

サイズ:3インチ

厚さ:300~700nm

方向:Z カット

構造は以下のとおりです。

ニオブ酸リチウム薄膜

電極

SiO2

ニオブ酸リチウム基板


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