12インチSiダミーウェーハ

12インチSiダミーウェーハ

PAM XIAMENは、12インチのSiダミーウェーハを提供しています。

表面:両面研磨;
厚さ≥750um;
Vノッチ(SEMISTD);
わずかな傷(汚れや重い/深い傷はありません);

Siダミーウェーハについて

ファブ内のさまざまなアプリケーションシナリオに応じて、シリコンウェーハは2つのカテゴリに分類できます。

1.研磨ウェーハ、エピタキシャルウェーハなどを含む半導体処理に直接使用されるプライムウェーハ。

2.モニターウェーハ、ダミーウェーハ/テストウェーハを含む、監視およびテスト用のシリコンウェーハ。

ウェーハ製造工程において、Siダミーウェーハは、安定性の監視、試験、維持に重要な役割を果たします。

シリコーンダミーグレードウェーハの主な機能は、その位置を占めることです。 特にファーネスチューブ(PVD / CVD /酸化拡散など)では、シリコンウェーハの特定のバッチにギャップが不足していると、気流の安定性と均一性に影響を与える可能性があります。 したがって、空孔を減らすために、いくつかのSiダミーグレードウェーハを追加する必要があります。

詳細については、次のアドレスにメールを送信してください。sales@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com

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