熱酸化またはウェット アンド ドライ熱酸化物 (Sio2) を施したシリコン ウエハー

熱酸化またはウェット アンド ドライ熱酸化物 (Sio2) を施したシリコン ウエハー

熱酸化または湿式および乾式熱酸化物 (SiO2) を備えたシリコンウェーハは在庫あり、酸化膜 (SiO2) はカスタム可能です

在庫はありますが、以下に限定されません。

ウェーハNo.c ウェーハサイズ 研磨/酸化面 タイプ/方向 ウェーハの厚さ(um) 酸化厚さ 抵抗率(Ω・cm) 数量(個)
PAM-厦門-ウエハース-#O01 1 " SSP、両方酸化 P100 525±10 300nm <0.005 290
PAM-厦門-ウエハース-#O02 2 " SSP、両方酸化 P100 500±20 3um 1-10 24
PAM-アモイ-ウェーハ-#O03 2 " DSP、両方酸化 N100 285±15 1um 1-10 50
PAM-アモイ-ウェーハ-#O04 2 " SSP、両方酸化 P100 430±10 300nm <0.005 5
PAM-厦門-ウエハース-#O05 3 " SSP、両方酸化 100 400±10 2um >10000 20
PAM-アモイ-ウェーハ-#O06 4 " SSP、両方酸化 100 400±10 2um >10000 25
PAM-厦門-ウエハース-#O07 4 " SSP、両方酸化 N111 435-465 2um(1.6um) 0.01-0.015 22
PAM-アモイ-ウェーハ-#O08 4 " SSP、単一酸化 P100 500±10 1um 3-8 21
PAM-厦門-ウエハース-#O09 4 " SSP、両方酸化 P111 525±15 500nm 0.001-0.009 18
パム-アモイ-ウェーハ-#O10 4 " SSP、単一酸化 100 400±10 500nm 3000-5000 23
パム-アモイ-ウェーハ-#O11 4 " DSP、両方酸化 N100 400±10 500nm 1-10 6
パム-アモイ-ウェーハ-#O12 4 " SSP、両方酸化 N100 500um 500nm 5-10 1
パム-アモイ-ウェーハ-#O13 4 " SSP、両方酸化 N100 500um 280nm/320nm 0.01-0.05 20
パム-アモイ-ウェーハ-#O14 4 " SSP、両方酸化 P100 700±10 300~310nm 0.001-0.002 18
パム-厦門-ウエハース-#O15 4 " SSP、両方酸化 P100 700±10 305±5nm乾燥酸素酸化 <0.1 54
パム-アモイ-ウェーハ-#O16 4 " DSP、両方酸化 100 525±10 200nm >10000 19
パム-厦門-ウエハース-#O17 4 " SSP、両方酸化 100 500±25 200nm >10000 3
パム-厦門-ウエハース-#O18 4 " SSP、両方酸化 P100 500±20 150nm <0.0015 3
パム-厦門-ウエハース-#O19 4 " SSP、両方酸化 P111 500um 50~80nm <0.05 2
パム-アモイ-ウェーハ-#O20 2 " DSP、両方酸化 100FZ 500±50 500±50nm 5000-8000 25
パム-アモイ-ウェーハ-#O21 6 " SSP、両方酸化 N100 510±15 200nm >6000 45
パム-厦門-ウエハース-#O22 6 " SSP、両方酸化 P111 645±25 500nm 5-25 16
パム-アモイ-ウェーハ-#O23 6 " DSP、単一酸化 100 650um 500nm >5000 15
パム-アモイ-ウェーハ-#O24 6 " SSP、両方酸化 P100 675±25 500nm 0.5-100 1
パム-厦門-ウエハース-#O25 6 " SSP、両方酸化 100 625±25 2um 23
パム-アモイ-ウェーハ-#O26 6 " SSP、両方酸化 N100 650±50 2.8um 0.1-100 50
パム-厦門-ウエハース-#O27 12 " DSP、両方酸化 P100 775±25 2um±10% 1-100 25
パム-厦門-ウエハース-#O28 8 " SSP、両方酸化 36
パム-厦門-ウエハース-#O29 4 " SSP、両方酸化 P100 500±25 310nm 0.01-0.09 12
PAM-アモイ-ウェーハ-#O30 4 " SSP、両方酸化 P100 515±15 315nm 0.008-0.012 16
パム-アモイ-ウェーハ-#O31 5 " SSP、両方酸化 N100 525±15 300nm以上 <0.005 33
パム-アモイ-ウェーハ-#O32 4 " SSP、単一酸化 P100 525±10 100nm 0.001-0.006 1
パム-厦門-ウエハース-#O33 6 " SSP、両方酸化 P100 675±25 8um±5% 10-20 48
パム-アモイ-ウェーハ-#O34 12 " DSP、両方酸化 120
パム-アモイ-ウェーハ-#O35 6 " SSP、両方酸化 625±25 2um 4
パム-アモイ-ウェーハ-#O36 3 " SSP、両方酸化 P100 375±25 280±20nm <0.005 29
パム-厦門-ウエハース-#O37 4 " SSP、両方酸化 100FZ 525±20 1um >100 7
パム-厦門-ウエハース-#O38 4 " SSP、両方酸化 N100 525±25 1um 0.008-0.02 13
パム-厦門-ウエハース-#O39 6 " DSP、両方酸化 P100 450±15 300nm >5000 27
パム-アモイ-ウェーハ-#O40 4 " SSP、両方酸化 N100 500±10 6um 1-10 11
パム-厦門-ウエハース-#O41 8 " SSP、両方酸化 P100 700(>650) 500nm 0.5-100 140
パム-厦門-ウエハース-#O42 8 " SSP、両方酸化 P100 725±25 300nm 1-100 15
パム-厦門-ウエハース-#O43 4 " SSP、両方酸化 N100 525±25 300nmドライ酸素酸化 0.001-0.005 25
パム-アモイ-ウェーハ-#O44 3 " SSP、両方酸化 100FZ 400±10 2um >10000 25
パム-厦門-ウエハース-#O45 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 270~280nm 0.01-0.02 1
パム-厦門-ウエハース-#O46 4 " SSP、両方酸化 P111 510-540 25nm 0.006-0.0075 25
パム-厦門-ウエハース-#O47 8 " SSP、両方酸化 700um 200nm~500nm 390
パム-厦門-ウエハース-#O48 8 " SSP、両方酸化 174
パム-厦門-ウエハース-#O49 2 " SSP、両方酸化 N111 400±15 290nm 0.01-0.02 20
パム-アモイ-ウェーハ-#O50 4 " SSP、単一酸化 P100 525±25 300nm 0.01-0.09 3
パム-厦門-ウエハース-#O51 4 " SSP、単一酸化 N100 525±20 305±5nm 0.01-0.02 10
パム-厦門-ウエハース-#O52 3 " SSP、両方酸化 N100 381±20 300nmドライ酸素酸化 <0.005 20
パム-厦門-ウエハース-#O53 4 " SSP、両方酸化 N100 450±25 280±20nm 0.01-0.02 56
パム-厦門-ウエハース-#O54 3 SSP、両方酸化 P100 380±20 90nmプロセス 1-10 18
パム-厦門-ウエハース-#O55 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 280nm >10000 23
パム-厦門-ウエハース-#O56 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 300nmドライ酸素酸化 0.001-0.005 5
パム-厦門-ウエハース-#O57 5 " SSP、両方酸化 N100 525±15 280nm <0.005 30
パム-厦門-ウエハース-#O58 5 " SSP、両方酸化 N100 525±25 280nm 0.001-0.005 25
パム-厦門-ウエハース-#O59 4 " SSP、単一酸化 N100 520±20 280±2nm 0.01-0.02 25
パム-アモイ-ウェーハ-#O60 4 " SSP、単一酸化 N100 450±25 300±5nm乾燥酸素酸化 0.01-0.02 19
パム-アモイ-ウェーハ-#O61 4 " SSP、単一酸化 N100 450±25 300±5nm 0.01-0.02 25
パム-厦門-ウエハース-#O62 4 " SSP、単一酸化 N100 520±20 283~290nm 0.01-0.02 25
パム-アモイ-ウェーハ-#O63 4 " SSP、単一酸化 N100 520±20 300~305nm 0.002-0.004 20
パム-厦門-ウエハース-#O64 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 100nm 1-10 17
パム-アモイ-ウェーハ-#O65 4 " SSP、単一酸化 N100 510±10 500nm 0.01-0.02 6
パム-厦門-ウエハース-#O66 4 " SSP、単一酸化 N100 525±25 100nm 0.002-0.004 4
パム-アモイ-ウェーハ-#O67 4 " DSP、両方酸化 N100 750±20 500nm 2-10 9
パム-厦門-ウエハース-#O68 4 " SSP、単一酸化 P100 500±10 100nm 3-8 19
パム-厦門-ウエハース-#O69 4 " SSP、単一酸化 P100 500±10 500nm 3-8 20
パム-厦門-ウエハース-#O70 2 " SSP、両方酸化 P100 675±20 285nm >10 25
パム-厦門-ウエハース-#O71 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 285nm 0.01-0.02 28
パム-厦門-ウエハース-#O72 8 " SSP、両方酸化 P100 725±25 500nm 0.1-100 68
パム-厦門-ウエハース-#O73 4 " DSP、両方酸化 P100 480±10 300nm 1-10 13
パム-厦門-ウエハース-#O74 5 " SSP、両方酸化 N100 600-650 285nm 0.003-0.005 100
パム-厦門-ウエハース-#O75 5 " SSP、両方酸化 N100 500-550 285nm <0.004 175
パム-厦門-ウエハース-#O76 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 275nm 0.001-0.005 25
パム-厦門-ウエハース-#O77 4 " SSP、両方酸化 P100 485±25 275nm 0.01-0.02 150
パム-厦門-ウエハース-#O78 4 " SSP、両方酸化 N100 525±25 90nmプロセス 0.002-0.004 91
パム-厦門-ウエハース-#O79 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 285nm 0.001-0.005 25
パム-アモイ-ウェーハ-#O80 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 271~282nm 0.01-0.02 50
パム-厦門-ウエハース-#O81 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 275nm 0.001-0.005 200
パム-厦門-ウエハース-#O82 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 273~282nm 0.001-0.005 50
パム-厦門-ウエハース-#O83 5 " SSP、単一酸化 N100 525±25 295~300nm 0.02 16
パム-厦門-ウエハース-#O84 6 " SSP、両方酸化 675±25 300nm 1-30 23
パム-厦門-ウエハース-#O85 4 " SSP、両方酸化 N100 475-525 100nm 0.01-0.02 125
パム-厦門-ウエハース-#O86 4 " SSP、両方酸化 N100 450um 280nm 0.02-0.025 100
パム-厦門-ウエハース-#O87 4 " SSP、両方酸化 P100 500±10 280nm <0.0015 75
パム-厦門-ウエハース-#O88 2 " SSP、両方酸化 N100 280±15 280nm <0.05 25
パム-厦門-ウエハース-#O89 2 " SSP、両方酸化 P100 400±15 280nm <0.0015 25
パム-厦門-ウエハース-#O90 3 " SSP、両方酸化 N100 381±20 280nm <0.005 95
パム-厦門-ウエハース-#O91 6 " SSP、両方酸化 P100 675±10 300nm 1-100 47
パム-厦門-ウエハース-#O92 6 " SSP、両方酸化 P100 675±25 300nm 10-20 2
パム-厦門-ウエハース-#O93 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 280nmドライ酸素酸化 0.01-0.02 100
パム-厦門-ウエハース-#O94 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 100nmドライ酸素酸化 0.001-0.002 100
パム-厦門-ウエハース-#O95 4 " SSP、単一酸化 P100 525±25 105nm 0.001-0.005 50
パム-厦門-ウエハース-#O96 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 280nm 0.001-0.005 25
パム-厦門-ウエハース-#O97 2 " SSP、両方酸化 P100 400±15 6um標準 1-5 25
パム-厦門-ウエハース-#O98 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 1um 0.001-0.005 70
パム-厦門-ウエハース-#O99 6 " SSP、両方酸化 P100 675um 200nm 1-50 119
パム-厦門-ウエハース-#O100 6 " SSP、両方酸化 P100 675um 300nm 1-50 75
パム-厦門-ウエハース-#O101 6 " SSP、両方酸化 N100 675±25 300nm 1-100 75
PAM-厦門-ウエハース-#O102 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 25nm 1-10 22
PAM-厦門-ウエハース-#O103 4 " SSP、両方酸化 P100 525±25 25nm 0.001-0.002 16
PAM-厦門-ウエハース-#O104 4 " SSP、単一酸化 P100 500±25 500nm 1-10 3
PAM-厦門-ウエハース-#O105 4 " SSP、両方酸化 N100 450±20 50nm 0.01-0.02 25
PAM-厦門-ウエハース-#O106 4 " SSP、両方酸化 N100 500um 290nm正味酸化物 0.01-0.02 100
PAM-厦門-ウエハース-#O107 4 " SSP、両方酸化 N100 525±20 50nm 0.01-0.02 1

 

 

二酸化物を含むシリコンウェーハには、次の 2 種類があります。 湿式酸化物: 当社の湿式熱酸化プロセスは、乾式熱酸化に期待されるのと同じレベルの品質を維持しながら、より厚い酸化物層を成長させるように設計されています。 ドライ酸化物: 当社の超高純度ドライ酸化プロセスは、より薄い酸化物を必要とするアプリケーションに利用でき、最高品質の膜が確実に得られるように設計されています。 お客様のご要望に合わせたカスタム仕様のご提案もさせていただきます。

熱酸化物はシリコンウェーハにどのように適用されますか?
Regularly there are three detail application:
1/Grown Dry Oxidation – By default dry oxide is grown on just one side of the wafer.
2/Wet Oxidation Grown – Wave guides technology and Silicon on Insulator wafers (SOI) can benefit greatly from our thick Thermal Oxide layers. We provide thermal oxide up to 15um in thickness. Grown on both sides of the wafers by default.
3/Deposited CVD – When you cannot oxidize Silicon, then you can use Chemical Vapor Deposition to deposit the oxide on top of your substrate.
What is Purpose of Growing Thermal Oxide Onto Silicon?
There are below five main purpose: Gate oxide; Masking material during doping; Providing protection for the conductors; Isolate devices from each other; A dielectric for a capacitor

酸化物の成長に影響を与える要因は何ですか?
There are following factors:Using dry oxidation (Oxygen gas) or wet oxidation steam;Pressure;Temperature;Lattice Orientation (oxide grows faster on (111) oriented wafers then (100) oriented silicon wafers;

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PAM-XIAMEN は、テクノロジーとウェーハサポートを提供できます。
for more information, please visit our website:https://www.powerwaywafer.com,
send us email at sales@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com

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