熱酸化または湿式および乾式熱酸化物 (SiO2) を備えたシリコンウェーハは在庫あり、酸化膜 (SiO2) はカスタム可能です
在庫はありますが、以下に限定されません。
ウェーハNo.c | ウェーハサイズ | 研磨/酸化面 | タイプ/方向 | ウェーハの厚さ(um) | 酸化厚さ | 抵抗率(Ω・cm) | 数量(個) |
PAM-厦門-ウエハース-#O01 | 1 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±10 | 300nm | <0.005 | 290 |
PAM-厦門-ウエハース-#O02 | 2 " | SSP、両方酸化 | P100 | 500±20 | 3um | 1-10 | 24 |
PAM-アモイ-ウェーハ-#O03 | 2 " | DSP、両方酸化 | N100 | 285±15 | 1um | 1-10 | 50 |
PAM-アモイ-ウェーハ-#O04 | 2 " | SSP、両方酸化 | P100 | 430±10 | 300nm | <0.005 | 5 |
PAM-厦門-ウエハース-#O05 | 3 " | SSP、両方酸化 | 100 | 400±10 | 2um | >10000 | 20 |
PAM-アモイ-ウェーハ-#O06 | 4 " | SSP、両方酸化 | 100 | 400±10 | 2um | >10000 | 25 |
PAM-厦門-ウエハース-#O07 | 4 " | SSP、両方酸化 | N111 | 435-465 | 2um(1.6um) | 0.01-0.015 | 22 |
PAM-アモイ-ウェーハ-#O08 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 500±10 | 1um | 3-8 | 21 |
PAM-厦門-ウエハース-#O09 | 4 " | SSP、両方酸化 | P111 | 525±15 | 500nm | 0.001-0.009 | 18 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O10 | 4 " | SSP、単一酸化 | 100 | 400±10 | 500nm | 3000-5000 | 23 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O11 | 4 " | DSP、両方酸化 | N100 | 400±10 | 500nm | 1-10 | 6 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O12 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 500um | 500nm | 5-10 | 1 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O13 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 500um | 280nm/320nm | 0.01-0.05 | 20 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O14 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 700±10 | 300~310nm | 0.001-0.002 | 18 |
パム-厦門-ウエハース-#O15 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 700±10 | 305±5nm乾燥酸素酸化 | <0.1 | 54 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O16 | 4 " | DSP、両方酸化 | 100 | 525±10 | 200nm | >10000 | 19 |
パム-厦門-ウエハース-#O17 | 4 " | SSP、両方酸化 | 100 | 500±25 | 200nm | >10000 | 3 |
パム-厦門-ウエハース-#O18 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 500±20 | 150nm | <0.0015 | 3 |
パム-厦門-ウエハース-#O19 | 4 " | SSP、両方酸化 | P111 | 500um | 50~80nm | <0.05 | 2 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O20 | 2 " | DSP、両方酸化 | 100FZ | 500±50 | 500±50nm | 5000-8000 | 25 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O21 | 6 " | SSP、両方酸化 | N100 | 510±15 | 200nm | >6000 | 45 |
パム-厦門-ウエハース-#O22 | 6 " | SSP、両方酸化 | P111 | 645±25 | 500nm | 5-25 | 16 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O23 | 6 " | DSP、単一酸化 | 100 | 650um | 500nm | >5000 | 15 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O24 | 6 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675±25 | 500nm | 0.5-100 | 1 |
パム-厦門-ウエハース-#O25 | 6 " | SSP、両方酸化 | 100 | 625±25 | 2um | — | 23 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O26 | 6 " | SSP、両方酸化 | N100 | 650±50 | 2.8um | 0.1-100 | 50 |
パム-厦門-ウエハース-#O27 | 12 " | DSP、両方酸化 | P100 | 775±25 | 2um±10% | 1-100 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O28 | 8 " | SSP、両方酸化 | — | — | — | — | 36 |
パム-厦門-ウエハース-#O29 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 500±25 | 310nm | 0.01-0.09 | 12 |
PAM-アモイ-ウェーハ-#O30 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 515±15 | 315nm | 0.008-0.012 | 16 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O31 | 5 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±15 | 300nm以上 | <0.005 | 33 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O32 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 525±10 | 100nm | 0.001-0.006 | 1 |
パム-厦門-ウエハース-#O33 | 6 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675±25 | 8um±5% | 10-20 | 48 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O34 | 12 " | DSP、両方酸化 | — | — | — | — | 120 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O35 | 6 " | SSP、両方酸化 | — | 625±25 | 2um | — | 4 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O36 | 3 " | SSP、両方酸化 | P100 | 375±25 | 280±20nm | <0.005 | 29 |
パム-厦門-ウエハース-#O37 | 4 " | SSP、両方酸化 | 100FZ | 525±20 | 1um | >100 | 7 |
パム-厦門-ウエハース-#O38 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±25 | 1um | 0.008-0.02 | 13 |
パム-厦門-ウエハース-#O39 | 6 " | DSP、両方酸化 | P100 | 450±15 | 300nm | >5000 | 27 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O40 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 500±10 | 6um | 1-10 | 11 |
パム-厦門-ウエハース-#O41 | 8 " | SSP、両方酸化 | P100 | 700(>650) | 500nm | 0.5-100 | 140 |
パム-厦門-ウエハース-#O42 | 8 " | SSP、両方酸化 | P100 | 725±25 | 300nm | 1-100 | 15 |
パム-厦門-ウエハース-#O43 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±25 | 300nmドライ酸素酸化 | 0.001-0.005 | 25 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O44 | 3 " | SSP、両方酸化 | 100FZ | 400±10 | 2um | >10000 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O45 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 270~280nm | 0.01-0.02 | 1 |
パム-厦門-ウエハース-#O46 | 4 " | SSP、両方酸化 | P111 | 510-540 | 25nm | 0.006-0.0075 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O47 | 8 " | SSP、両方酸化 | — | 700um | 200nm~500nm | — | 390 |
パム-厦門-ウエハース-#O48 | 8 " | SSP、両方酸化 | — | — | — | — | 174 |
パム-厦門-ウエハース-#O49 | 2 " | SSP、両方酸化 | N111 | 400±15 | 290nm | 0.01-0.02 | 20 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O50 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 525±25 | 300nm | 0.01-0.09 | 3 |
パム-厦門-ウエハース-#O51 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 525±20 | 305±5nm | 0.01-0.02 | 10 |
パム-厦門-ウエハース-#O52 | 3 " | SSP、両方酸化 | N100 | 381±20 | 300nmドライ酸素酸化 | <0.005 | 20 |
パム-厦門-ウエハース-#O53 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 450±25 | 280±20nm | 0.01-0.02 | 56 |
パム-厦門-ウエハース-#O54 | 3 | SSP、両方酸化 | P100 | 380±20 | 90nmプロセス | 1-10 | 18 |
パム-厦門-ウエハース-#O55 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 280nm | >10000 | 23 |
パム-厦門-ウエハース-#O56 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 300nmドライ酸素酸化 | 0.001-0.005 | 5 |
パム-厦門-ウエハース-#O57 | 5 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±15 | 280nm | <0.005 | 30 |
パム-厦門-ウエハース-#O58 | 5 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±25 | 280nm | 0.001-0.005 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O59 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 520±20 | 280±2nm | 0.01-0.02 | 25 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O60 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 450±25 | 300±5nm乾燥酸素酸化 | 0.01-0.02 | 19 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O61 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 450±25 | 300±5nm | 0.01-0.02 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O62 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 520±20 | 283~290nm | 0.01-0.02 | 25 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O63 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 520±20 | 300~305nm | 0.002-0.004 | 20 |
パム-厦門-ウエハース-#O64 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 100nm | 1-10 | 17 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O65 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 510±10 | 500nm | 0.01-0.02 | 6 |
パム-厦門-ウエハース-#O66 | 4 " | SSP、単一酸化 | N100 | 525±25 | 100nm | 0.002-0.004 | 4 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O67 | 4 " | DSP、両方酸化 | N100 | 750±20 | 500nm | 2-10 | 9 |
パム-厦門-ウエハース-#O68 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 500±10 | 100nm | 3-8 | 19 |
パム-厦門-ウエハース-#O69 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 500±10 | 500nm | 3-8 | 20 |
パム-厦門-ウエハース-#O70 | 2 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675±20 | 285nm | >10 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O71 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 285nm | 0.01-0.02 | 28 |
パム-厦門-ウエハース-#O72 | 8 " | SSP、両方酸化 | P100 | 725±25 | 500nm | 0.1-100 | 68 |
パム-厦門-ウエハース-#O73 | 4 " | DSP、両方酸化 | P100 | 480±10 | 300nm | 1-10 | 13 |
パム-厦門-ウエハース-#O74 | 5 " | SSP、両方酸化 | N100 | 600-650 | 285nm | 0.003-0.005 | 100 |
パム-厦門-ウエハース-#O75 | 5 " | SSP、両方酸化 | N100 | 500-550 | 285nm | <0.004 | 175 |
パム-厦門-ウエハース-#O76 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 275nm | 0.001-0.005 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O77 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 485±25 | 275nm | 0.01-0.02 | 150 |
パム-厦門-ウエハース-#O78 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±25 | 90nmプロセス | 0.002-0.004 | 91 |
パム-厦門-ウエハース-#O79 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 285nm | 0.001-0.005 | 25 |
パム-アモイ-ウェーハ-#O80 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 271~282nm | 0.01-0.02 | 50 |
パム-厦門-ウエハース-#O81 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 275nm | 0.001-0.005 | 200 |
パム-厦門-ウエハース-#O82 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 273~282nm | 0.001-0.005 | 50 |
パム-厦門-ウエハース-#O83 | 5 " | SSP、単一酸化 | N100 | 525±25 | 295~300nm | 0.02 | 16 |
パム-厦門-ウエハース-#O84 | 6 " | SSP、両方酸化 | — | 675±25 | 300nm | 1-30 | 23 |
パム-厦門-ウエハース-#O85 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 475-525 | 100nm | 0.01-0.02 | 125 |
パム-厦門-ウエハース-#O86 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 450um | 280nm | 0.02-0.025 | 100 |
パム-厦門-ウエハース-#O87 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 500±10 | 280nm | <0.0015 | 75 |
パム-厦門-ウエハース-#O88 | 2 " | SSP、両方酸化 | N100 | 280±15 | 280nm | <0.05 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O89 | 2 " | SSP、両方酸化 | P100 | 400±15 | 280nm | <0.0015 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O90 | 3 " | SSP、両方酸化 | N100 | 381±20 | 280nm | <0.005 | 95 |
パム-厦門-ウエハース-#O91 | 6 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675±10 | 300nm | 1-100 | 47 |
パム-厦門-ウエハース-#O92 | 6 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675±25 | 300nm | 10-20 | 2 |
パム-厦門-ウエハース-#O93 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 280nmドライ酸素酸化 | 0.01-0.02 | 100 |
パム-厦門-ウエハース-#O94 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 100nmドライ酸素酸化 | 0.001-0.002 | 100 |
パム-厦門-ウエハース-#O95 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 525±25 | 105nm | 0.001-0.005 | 50 |
パム-厦門-ウエハース-#O96 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 280nm | 0.001-0.005 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O97 | 2 " | SSP、両方酸化 | P100 | 400±15 | 6um標準 | 1-5 | 25 |
パム-厦門-ウエハース-#O98 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 1um | 0.001-0.005 | 70 |
パム-厦門-ウエハース-#O99 | 6 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675um | 200nm | 1-50 | 119 |
パム-厦門-ウエハース-#O100 | 6 " | SSP、両方酸化 | P100 | 675um | 300nm | 1-50 | 75 |
パム-厦門-ウエハース-#O101 | 6 " | SSP、両方酸化 | N100 | 675±25 | 300nm | 1-100 | 75 |
PAM-厦門-ウエハース-#O102 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 25nm | 1-10 | 22 |
PAM-厦門-ウエハース-#O103 | 4 " | SSP、両方酸化 | P100 | 525±25 | 25nm | 0.001-0.002 | 16 |
PAM-厦門-ウエハース-#O104 | 4 " | SSP、単一酸化 | P100 | 500±25 | 500nm | 1-10 | 3 |
PAM-厦門-ウエハース-#O105 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 450±20 | 50nm | 0.01-0.02 | 25 |
PAM-厦門-ウエハース-#O106 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 500um | 290nm正味酸化物 | 0.01-0.02 | 100 |
PAM-厦門-ウエハース-#O107 | 4 " | SSP、両方酸化 | N100 | 525±20 | 50nm | 0.01-0.02 | 1 |
二酸化物を含むシリコンウェーハには、次の 2 種類があります。 湿式酸化物: 当社の湿式熱酸化プロセスは、乾式熱酸化に期待されるのと同じレベルの品質を維持しながら、より厚い酸化物層を成長させるように設計されています。 ドライ酸化物: 当社の超高純度ドライ酸化プロセスは、より薄い酸化物を必要とするアプリケーションに利用でき、最高品質の膜が確実に得られるように設計されています。 お客様のご要望に合わせたカスタム仕様のご提案もさせていただきます。
熱酸化物はシリコンウェーハにどのように適用されますか?
Regularly there are three detail application:
1/Grown Dry Oxidation – By default dry oxide is grown on just one side of the wafer.
2/Wet Oxidation Grown – Wave guides technology and Silicon on Insulator wafers (SOI) can benefit greatly from our thick Thermal Oxide layers. We provide thermal oxide up to 15um in thickness. Grown on both sides of the wafers by default.
3/Deposited CVD – When you cannot oxidize Silicon, then you can use Chemical Vapor Deposition to deposit the oxide on top of your substrate.
What is Purpose of Growing Thermal Oxide Onto Silicon?
There are below five main purpose: Gate oxide; Masking material during doping; Providing protection for the conductors; Isolate devices from each other; A dielectric for a capacitor
酸化物の成長に影響を与える要因は何ですか?
There are following factors:Using dry oxidation (Oxygen gas) or wet oxidation steam;Pressure;Temperature;Lattice Orientation (oxide grows faster on (111) oriented wafers then (100) oriented silicon wafers;
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PAM-XIAMEN は、テクノロジーとウェーハサポートを提供できます。
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