12「テストグレードシリコンウエハ

製品の説明

PAM-XIAMENは、300mmのPタイプまたはNタイプのテストシリコンウェーハ（12インチ）を提供します。 シリコンテストウェーハの厚さは775±25μmです。 他のシリコンウェーハサプライヤーと比較して、PowerwayWaferは競争力のある価格でプロフェッショナルなサービスを提供します。

1.テストシリコンウェーハの仕様

パラメータ	値
インゴットの種類	チョクラルスキー法に従って成長
直径、mm	300±0,2
ドーパント	B（ボロン）
導電型	P
Oxigen max、OLD-PPMA	40
カーボン、PPMA	1
シリコンウェーハの結晶方位をテストする	<100>
結晶面の所定の表面配向からの偏差、度	1
体積抵抗率、オーム・cm	10-40
一次ノッチ	はい
ノッチ位置	110
ノッチサイズ、mm	2,3
ノッチフォーム	V
ウェーハ厚、ミクロン	775±25
マーキングの種類	レーザ
シリコンレーザーマーキングの場所	裏側
エッジプロファイル	SEMI T / 4より
表面の傷	ありません
前面研磨	はい
裏面研磨	はい
ウェーハの厚さの総変化（TTV）、マイクロ	5
たわみ（WARP）、ミクロン	60
0.09ミクロンより大きい表面上の粒子の数	50
アルミニウムの表面含有量、E10AT / CM2	1

 

梱包要件：

パラメータ
包装の種類	MW300GT-A
内容器素材	ポリエチレン
外装材	アルミニウム
1パッケージの個数	25
再利用性	はい

 

2.シリコンウェーハの使用状況をテストする

150mmを超えるシリコンウェーハは、メカニカル（ダミー）テストウェーハとプロセステストウェーハに分類され、テストシリコンウェーハの業界標準は、次のSEMI標準（Semiconductor Equipment and Materials International、世界的な半導体協会が提供する機器、材料、およびサービス世界的な半導体、光起電（PV）、LED、MEMS、フラットパネルディスプレイ（FPD）、およびマイクロテクノロジーまたはナノテクノロジーの製造）。

3。シリコンウェーハ試験グレードについて

ただし、アプリケーションが異なれば、機械的またはプロセステストウェーハに異なるパラメータが必要になります。

プロセステストグレードのシリコンウェーハ

プロセスシリコンウェーハテストグレードは、モニタウェーハと呼ばれ、ウェーハ製造におけるプロセス監視および一部の処理アプリケーション用です。 ウェーハファブは、モニターテストウェーハを使用して、機器の清浄度を評価したり、粒子測定をサポートしたり、金属汚染を評価したりします。

ダミーシリコンウェーハ

ダミーシリコンウェーハは、メカニカルグレードテストウェーハとも呼ばれ、ウェーハの寸法および構造特性のみをテストします。これは、機器の自動化処理テスト、信頼性マラソン、およびソフトウェアテストを実行し、ウェーハ処理ハードウェアの相互運用性パフォーマンスを評価するために使用されます。

また、シリコンウェーハファブは、機械グレードのシリコンテストウェーハを使用して、粒子や欠陥に敏感でない開発アプリケーションを処理します。

粒子グレードのシリコンウェーハをテストする

Test Particle Grade Silicon Wafers is for particle test monitors to measure wafer particle for applications, like CVD and ALD process.

According to SEMI standard, Particle of silicon wafer must be < 0.6 particles@>0.125μm/cm2 and < 0.15 particles@>0.25μm/cm2 for 250nm process and 130nm Design Rule Usage, 300mm wafers must have ≤60 LLS@>=90nm for 130nm process.

フォトリソグラフィーまたはパターニングテスト用のシリコンウェーハ

フォトリソグラフィーまたはパターニングテスト用のシリコンウェーハのテストは、主にウェーハの厚さの変動、TTV、WARP、BOW、および平坦度の要件に焦点を当てています。 瞬時に、250nmウェーハダイ設計、それに対応するSEMI標準M24：サイトサイズ25 x 25mmで0.2μm以下のサイトあたりの平坦度（SFSR）。

炉グレード テストケイ素ウェーハ

炉グレードテストウェーハ半導体は、電気的特性を厳密に要求しますが、厳密な粒子性能は要求しません。

炉グレードのテストシリコンウェーハの抵抗率は1ohm.cmを超え、寿命> = 200usで非常に均一にドープされている必要があります。

また、炉グレードのウェーハは、酸素と炭素の含有量、および半径方向の抵抗率勾配が厳密に制御されています。

バージン テストウェーハ

バージンテストシリコンウェーハは、半導体製造では使用されませんが、SEMIM8-93に準拠したウェーハプロセス監視に使用されます。

ソーラーグレードシリコンウェーハ

ICグレードのシリコンウェーハと比較して、ソーラーグレードのシリコンウェーハは要件が低く、

その純度は> = 99.9999％ですが、ICグレードの純度は> = 99999999,99％です。

 

4. FAQ：

Q：プライム、テスト、ダミーシリコンウェーハの違いは何ですか？

A： プライムグレードのシリコンウェーハは、正式なウェーハ製造およびフォトリソグラフィーに最適なグレードのシリコンウェーハです。

テストシリコンウェーハは、機器テストまたはファブ管理およびテスト用のシリコンウェーハです。

ダミーグレードのシリコンウェーハは、製造工程の評価、または生産ラインでの安全対策のためのシリコンウェーハです。

テストグレードのシリコンウェーハと比較して、ダミーグレードのシリコンウェーハのパラメータは、ウェーハの寸法および構造特性のみのテスト機器の場合、はるかに簡単または緩いです。 しかし、時々区別することはそれほど厳密ではありません。

 

PAM-XIAMENは、テクノロジーとウェーハサポートを提供します。

詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください。 https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,

で、私達に電子メールを送ります sales@powerwaywafer.com と powerwaymaterial@gmail.com