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熱衝撃を受けたサファイアウェーハの変形と破壊に対する異方性の影響

熱衝撃を受けたサファイアウェーハの変形と破壊に対する異方性の影響 この論文では、急速な熱負荷に対する R 面サファイアウェーハの応答に対する異方性の影響を研究します。有限要素法を使用して、内部の温度と応力分布を解析しました。