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パターン化された半導体ウェーハの洗浄中の微細構造内の表面相互作用と汚染物質輸送のコンピュータモデリング

表面相互作用と汚染物質のコンピュータモデリング ハイライト • マイクロ/ナノトレンチの表面からの汚染物質除去のダイナミクスがシミュレートされます。 • トレンチは長方形で、1 つまたは 2 つの異なる材料でできています。 • モデルではさまざまな拡散率と表面特性が考慮されます。 • マルチマテリアルのトレンチでは、洗浄のダイナミクスは積層順序に大きく依存します。 • ダイナミクスには 2 つのレジームがある [...]

半導体ウェーハ製造システムのスケジューリングのための分解ベースの分類済みアリコロニー最適化アルゴリズム

ウェハダイ表面を全数検査するためのテンプレートベースのビジョンシステムが開発されました。 設計目標には、最大 8 インチの部品で 1000 分の 2 インチという小さな欠陥を検出するという要件が含まれていました。 ウェハサイズ。 各ダイスは、[...]