パターン化された半導体ウェーハの洗浄中の微細構造内の表面相互作用と汚染物質輸送のコンピュータモデリング
表面相互作用と汚染物質のコンピュータモデリング ハイライト • マイクロ/ナノトレンチの表面からの汚染物質除去のダイナミクスがシミュレートされます。 • トレンチは長方形で、1 つまたは 2 つの異なる材料でできています。 • モデルではさまざまな拡散率と表面特性が考慮されます。 • マルチマテリアルのトレンチでは、洗浄のダイナミクスは積層順序に大きく依存します。 • ダイナミクスには 2 つのレジームがある [...]