テストプロジェクト: マイクロパイプ密度

テストプロジェクト:マイクロパイプ密度

マイクロパイプは、単結晶基板内の結晶欠陥です。現在では、車載用パワー半導体デバイスや高周波通信デバイスなど、さまざまな産業で使用されるSiC基板に広く使用されています。

しかし、これらの材料の製造中に、結晶は内部および外部応力を受け、原子格子内の欠陥または転位の成長につながります。

試験装置：偏光顕微鏡

試験規格:

テスト結果: 0.1-100 個/cm²