なぜウェーハは丸いのですか?

なぜウェーハは丸いのですか?

なぜウェーハはPAM-厦門円形? 製造工程で丸みを帯びていると判断したためです。 例として、シリコンウェーハの製造プロセスを取り上げます。精製された高純度ポリシリコンは、シード上でスピン成長します。 多結晶シリコンが溶けたらるつぼ(水晶るつぼ)に入れ、種結晶をるつぼに入れて一定速度で回転させて上に引き上げると、溶けたシリコンが円筒状のシリコンインゴットに成長します。種結晶の方向。 この方法は、単結晶チョクラルスキー法としても知られるCZ法(チョクラルスキー)です。 以下に示すように:

メルトプル​​プロセス

図1.ウェーハのメルトプル​​プロセス

次に、シリコンインゴットはダイヤモンドワイヤーによってシリコンウェーハに切断されます。

シリコンインゴットをシリコンウェーハにカット

図2.インゴットをウェーハにカット

粉砕等を行った後、次の工程を行うことができます。 単結晶チョクラルスキー法での回転引っ張りにより、シリコンインゴットの円筒形状が決まり、ウェーハの円形形状が決まります。

厳密に言えば、ウェーハは丸くない。 下の写真を注意深く見ると、ウェーハが純粋に円形ではない場合がありますが、いくつかの均一なノッチとエッジがあります。 これは主に、装置によるウェーハの位置決めを容易にするためであり、この方法でのみ、CPUコアを製造および切断するときに方向をより適切に決定することができます。 実際、ウェーハはチップ全体の製造の基盤としてのみ存在し、レゴのビルディングブロックを使用して集積回路スタックを層ごとに覆うようなものです。

ウエハーノッチウェーハフラット

図3.ウェーハノッチ図4.ウェーハフラット

PAM-厦門は提供することができますシリコンウェーハフラットまたはノッチ付き。

powerwaywafer

詳細については、メールでお問い合わせください。 [email protected][email protected].

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