PSS上のLEDウェーハをレーザーリフトオフで使用できるのはなぜですか?

PSS上のLEDウェーハをレーザーリフトオフで使用できるのはなぜですか?

一部の顧客は、レーザーリフトオフを使用してLEDを他の基板に転写するときに、パターン化されたサファイア基板上のLEDウェーハのこれらのパターンを心配しています。 PSSはレーザーを散乱させます。 実際、一部のお客様は、PSS forLLOで4インチのエピウェーハも使用しています。問題はありません。 それは理由です:

1.「レーザーリフトオフ」は、実際には下の画像の「NLレイヤー」によるものです。 NL層がGaN層の場合、一定の高温に加熱すると、GaNはGaと窒素に分解され、窒素が放出されます。当然、サファイアはエピタキシャル層から分離されます。
したがって、要点は、NL層がGaN層であるかどうかです(一部のメーカーは、AlN材料によるNL層を使用している場合、レーザーリフトオフできません)。
そして、NL層がGaN材料であることを確認します。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2.フラットサファイアのLEDウェーハと同じ機能であるPSS基板の裏面を研磨します。

 

 

 

詳細については、メールでお問い合わせください。victorchan@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com

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