ZnOウェーハ

PAM XIAMENでは、高圧水熱法により成長させたアンドープまたはGaドープの単結晶ZnOウエハ基板を提供しています。ZnOウエハには主に六方晶系ウルツ鉱と立方晶系閃亜鉛鉱の2つの構造があり、当社が提供したのは六方晶系ウルツ鉱です。

1.ZnOウェーハの特性:

1.1 ZnO 単結晶基板の一般特性

純度重量%	> 99.99
不純物: wt%	Mg: < .0005 Al: < .0030 Si: 0.0030 Ti: .0010 Cu: < .0030 Fe: < 0.005 Ca: < .0005 Ag: < .0002
結晶構造	六角形: a= 3.252 å、c = 5.207 å
格子パラメータ	a=3.252Å c=5.313Å
成長方法	熱水
硬度	4mohスケール
密度	5.7g/cm3
融点	1975 ℃
比熱	0.125カロリー/グラム
熱電定数	1200 mV /oK @ 300 °C
熱伝導率	0.006 cal/cm/ok
熱膨張係数(CTE)	6.5 x 10^-6 /℃ (軸方向) 3.7 x 10^-6 /℃ (c 軸方向)
ゼーベック係数	0.006 カロリー/cm/K
伝送範囲	0.4 – 0.6 m > 2 mm で 50%
転位密度	<0001>面<100/cm2

 

2.0 標準基板

オリエンテーション	<0001>、<11-20>、<10-10>± 0.5o またはカスタム方向
研磨面	片面または両面EPI研磨、Ra < 5 Å
標準サイズ	5×5mm、10×10mm、20×20mm、25×25mm
厚さ	0.35mm、0.5mm、1.0mm
表面粗さ	Ra < 5A (AFM 表面粗さ測定)
表面研磨	片面研磨（SSP）または両面研磨（DSP）

 

2-1.アンドープ ZnO ウェーハ基板 - C プレート

ZnO (0001) 5x5x0.5mm、O面 1SP
ZnO (0001) 10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) 5x5x0.2mm、2sp
ZnO (0001) 5x5x0.5mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) 5x5x0.5mm、2sp
ZnO (000-1) 10x10x0.2 mm、1sp O 面研磨
ZnO (000-1) 10x10x0.5mm、1sp O 面研磨
ZnO (0001) 10x10x0.5mm、2sp
ZnO (000-1) 10x10x1.0 mm、1sp 酸素面研磨
ZnO (0001) 10x10x1.0 mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) 10x10x1.0 mm、2sp
ZnO (000-1) 20x20x0.2 mm、1sp O 面研磨
ZnO (000-1) 20x20x0.5mm、1sp O 面研磨
ZnO (0001) 20x20x0.5mm、2sp
ZnO (000-1) 20x20x1.0 mm、1sp 酸素面研磨
ZnO (0001) 20x20x1.0 mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) 20x20x1.0 mm、2sp
ZnO(0001) φ25.4 x0.5mm、両面研磨（Zn面エピ研磨）

2-2.アンドープ ZnO ウェーハ基板 - プレート

ZnO (11-20) A 面 5x5x0.5mm、1sp
ZnO (11-20) A 面 5x5x0.5mm、2sp
ZnO (11-20) A 面 10x10x0.5mm、1sp
ZnO (11-20) A 面 10x10x1.0mm、1sp
ZnO (11-20) A 面 10x10x1.0mm、2sp
ZnO (11-20) A 面 10x10x0.5mm、2sp

2-3.アンドープ ZnO ウェーハ基板 - M プレート

ZnO (1-100) M 面 5x5x0.5mm、1sp
ZnO (1-100) M 面 5x5x0.5mm、2sp”
ZnO (1-100) M 面 10x10x0.5mm、1sp
ZnO (1-100) M 面 10x10x0.5mm、2sp

2-4.アンドープ ZnO ウェーハ — (10-10)

ZnO (10-10) 10x10x0.5mm、1sp
ZnO (10-10) 10x10x0.5mm、2sp

2-5. GaドープZnOウエハ

Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
Ga:ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨

ZnO (0001)、N+ タイプ、Ga ドープ、5x5x0.5mm、O 面 1SP
ZnO (0001)、N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001)、N+ タイプ、Ga ドープ、5x5x0.2mm、2sp
ZnO (0001) 、N+ タイプ、Ga ドープ、5x5x0.5mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、5x5x0.5mm、2sp
ZnO (000-1) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.2 mm、1sp O 面研磨
ZnO (000-1) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、1sp O 面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x0.5mm、2sp
ZnO (000-1) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x1.0 mm、1sp 酸素面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x1.0 mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、10x10x1.0 mm、2sp
ZnO (000-1) 20x20x0.2 mm、1sp O 面研磨
ZnO (000-1) N+ タイプ、Ga ドープ、20x20x0.5mm、1sp O 面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、20x20x0.5mm、2sp
ZnO (000-1) N+ タイプ、Ga ドープ、20x20x1.0 mm、1sp 酸素面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、20x20x1.0 mm、1sp Zn 面研磨
ZnO (0001) N+ タイプ、Ga ドープ、20x20x1.0 mm、2sp

3. ZnO ウェーハの抵抗率:

高純度のアンドープ ZnO 基板の場合、抵抗率は 100 ～ 500ohm.cm または (0.1 ～ 1)ohm.cm になります。成長プロセス方法が異なるため。 GaドープZnOウェーハの場合、抵抗率は(0.1~1)ohm.cmである必要があります。

 

 

 

詳細については、メールでお問い合わせください。ビクターちゃん@powerwaywafer.comと[email protected]